Các bộ cảm biến nhiệt độ trong đo lường các đại lượng vật lý

Tr-ờng đại học vinh Khoa Vật lý ==== ==== Các cảm biến nhiệt độ đo l-ờng đại l-ợng Vật lý Khoá luận tốt nghiệp đại học ngành S- phạm vật lý Cán h-ớng dẫn khoá luận: TS.GVC Đoàn hoài sơn sinh viên thực hiện: Nguyễn Thị H-¬ng Líp: 47A - VËt lý Vinh - 2010 Lời mở đầu Kỹ thuật đo l-ờng - điều khiển đại có b-ớc phát triển nhảy vọt Đó nhờ kết hợp chặt chẽ lý thuyết đo l-ờng điều khiển đại với công cụ toán học tin học Quá trình tích hợp lĩnh vực hình thành tin học công nghiệp, lĩnh vực ®a ngµnh ®ã cã kü tht ®iƯn, ®iƯn tư, ®iỊu khiĨn, ®o l-êng vµ tin häc hoµ trén vµo phát triển cảm biến đóng vai trò quan trọng lĩnh vực đo l-ờng điều khiển Nguyên lý chung: Các kích thích từ môi tr-ờng đ-ợc cảm biến cảm nhận th-ờng đại l-ợng không điện chuyển đổi đại l-ợng thành đại l-ợng điện truyền thông tin hệ thống đo l-ờng - điều khiển, giúp ta nhận dạng, đánh giá giúp ta điều khiển biến đổi trạng thái Một số cảm biến có cấu trúc t-ơng đối đơn giản nh-ng xu h-ớng chung ngày triệt để khai thác thành tựu vật lý học đại, công nghệ điện tử tin học, lý thuyết điều khiển đại, nhằm tạo nên cảm biến thông minh linh hoạt Đó cảm biến đa chức năng, lập trình cho phép đo với độ nhạy độ xác cao, tự động thay đổi thang đo, bù ảnh h-ởng nhiễu, đo từ xa, tự động xử lý kết đo Các cảm biến ngày đ-ợc xem nh- sản phẩm đ-ợc sản xuất hàng loạt có mặt rộng rÃi thị tr-ờng Ngoài tên gọi thông dụng cảm biến, ng-ời ta gọi chúng đầu dò, hay Sensor (theo tiếng Anh), Captor (theo tiếng Pháp) Hiện có nhiều cảm biến ®-ỵc sư dơng réng r·i kü tht cịng nh- đời sống, nh-: cảm biến quang, cảm biến nhiệt độ, cảm biến vị trí di chuyển, cảm biến vận tốc gia tốc, cảm biến biến dạng, cảm biến lực ứng suất, cảm biến l-u l-ợng thể tích chất lỏng Trong tất đại l-ợng vật lý nhiệt độ đại l-ợng đ-ợc quan tâm nhiều nhiệt độ có vai trò định tới nhiều tính chất vật chất Một đặc điểm tác động nhiệt độ làm thay đổi cách liên tục đại l-ợng chịu ảnh h-ởng nó, thí dụ: ¸p st,thĨ tÝch cđa chÊt khÝ, sù thay ®ỉi pha hay điểm curie vật liêu từ tính Để chế tạo cảm biến nhiệt độ ng-ời ta sử dụng nhiều nguyên lý cảm biến khác nh-: nhiệt điện trở, nhiệt ngẫu, ph-ơng pháp quang dựa phân bố phổ xạ nhiệt đo dao động nhiệt; ph-ơng pháp đựa giản nở vật rắn, chất lỏng khí dựa tốc độ âm Bởi nghiên cứu khoa học, sản xuất, đời sống hàng ngày việc đo nhiệt độ việc cần thiết Nhận thức đ-ợc tầm quan trọng lựa chọn đề tài: "Các cảm biến nhiệt độ đo l-ờng đại l-ợng Vật lý" cho đề tài luận văn tốt nghiệp Nội dung luận văn gồm ba ch-ơng: Ch-ơng 1: Tìm hiểu tổng quan nguyên lý bản, đại l-ợng đo l-ờng cản biến Ch-ơng 2: Giới thiệu cảm biến nhiêt độ đ-ợc dùng đo l-ờng đại l-ợng Vật lý Ch-ơng 3: Thực hành khảo sát phụ thuộc điện trở vào nhiệt độ Ch-ơng 1: Những nguyên lý đặc tr-ng đo l-ờng 1.1 Các định nghĩa đặc tr-ng chung - Đại l-ợng đầu vào (m) (đại l-ợng cần đo): đại l-ợng vật lý nhnhiệt độ, áp suất, ánh sáng, lực - Đại l-ợng đầu (s): đại l-ợng cần đo (m) sau tiến hành công đoạn thực nghiệm để đo m ta thu đ-ợc đại l-ợng điện t-ơng ứng đầu - Đặc tr-ng điện s hàm đại l-ợng cần đo s = f (m) (1.1) Đây dạng lý thuyết định luật vật lý biểu diễn hoạt động cảm biến - Cảm biến đ-ợc chế tạo cho có liên hệ tuyến tính biến thiên đầu vào m biến thiên đầu s: s = S m (1.2) S: độ nhạy m s Hình 1.1 Sự biến đổi đại l-ợng cần đo (m) đáp ứng (s) theo thời gian - Đ-ờng cong chuẩn: với loại giá trị đà biết m xác định giá trị s đầu dựng đ-ờng cong biểu thị phụ thuộc Khi từ đ-ờng cong chuẩn ta xác định mi s từ giá trị si - Yêu cầu thiết kế sử dụng cảm biến: Độ nhạy S không đổi, nghĩa phụ thuộc: si Giá trị đại l-ợng đo, tần số làm việc s Thời gian sử dụng (độ giá hoá) mi m mi tn ảnh h-ởng đại l-ợng vật lý khác môi tr-ờng xung quanh si - Phân loại cảm biến: Cảm biến tích cực: s nh- điện tích, nguồn hay dòng Hình 1.2 Đ-ờng cong chuẩn Cảm biến thụ động: s nh- điện dung, điện trở, độ tự cảm 1.2 Cảm biến tích cực a Hiệu ứng nhiệt điện Mục đích: Xác định nhiệt độ Nguyên lý: Giả sử đầu dây dẫn có chất hoá học khác đ-ợc hàn lại với thành mạch điện có nhiệt độ hai mối hàn T1 T2 sÏ xt hiƯn mét st ®iƯn ®éng e (T1, T2) Khi biết T1 (giả sử 0oC) (M1) T1 xác định đ-ợc T2 e T1 (M2) oC (M1) Hình 1.3 ứng dụng hiệu ứng nhiệt điện b Hiệu ứng hoả điện Mục đích: Đo thông l-ợng U xạ ánh sáng Nguyên lý: Thông l-ợng Hình 1.4: ứng dụng hiệu ứng hỏa điện sáng tình thể hỏa điện to thay đổi độ phân cực điện đo biến thiên điện áp hai cực tụ điện F c Hiệu ứng áp điện Mục đích: Xác định độ lớn lực học, đại l-ợng gây U F nên lực (áp suất, gia tốc) Hình 1.5 ứng dụng hiệu ứng áp điện Nguyên lý: td F   vËt lµm b»ng vËt liƯu áp điện biến dạng U F d Hiệu ứng cảm ứng điện từ Mục đích: Xác định tốc độ dịch chuyển vật Nguyên lý: Khung dây chuyển ®éng () B ec- ()  () B  e- Hình 1.6 ứng dụng hiệu ứng cảm ứng điện tõ e HiƯu øng quang ®iƯn Mơc ®Ých: øng dơng để chế tạo cảm biến quang Nguyên lý: Bức xạ ánh sáng (bức xạ điện từ nói chung) vật liệu Hạt dẫn tự thay đổi tính chÊt ®iƯn cđa vËt liƯu   g HiƯu øng quang phát xạ điện tử Mục đích: Đo đại l-ợng có liên quan đặc tr-ng quang Nguyên lý: vật liệu điện tử E dòng h Hiệu ứng quang điện chất bán dẫn Mục đích: Đo đại l-ợng quang, biến đổi thông tin chứa đựng ánh sáng thành tín hiệu điện Chuyển tiếp P-N E Nguyên lý: Cặp điện tử-lỗ trống UTX i Hiệu ứng quang - điện - từ Mục đích: Đo đại l-ợng quang, biến đổi thông tin chứa đựng ánh sáng thành tín hiệu điện (h 17) B U() Nguyên lý: Vật liệu bán dẫn B,      i B v H×nh 1.7 øng dơng hiƯu øng quang ®iƯn tõ k HiƯu øng Hall Mục đích: Xác định vị trí vật chuyển động Nguyên lý: Vật liệu dạng mỏng (th-ờng bán dẫn) có dòng i B, i   ch¹y qua  VH ( r )  r H×nh 1.8: øng dơng hiƯu øng Hall Cơ thể: Vật đ-ợc ghép nối học với nam châm thời điểm, vị trí nam châm xác định giá trị từ tr-ờng B góc t-ơng ứng Vì hiệu điện thể VH hàm phụ thuộc vào vị trí vật kh«ng gian: VH = kH IBsin  kH: HƯ số phụ thuộc vào vật liệu kích th-ớc hình học mẫu 1.3 Cảm biến thụ động Th-ờng đ-ợc chế tạo từ trở kháng có thông số chủ yếu nhạy với đại l-ợng cần đo Ngoài giá trị trở kháng phụ thuộc vào kích th-ớc hình học mẫu, tính chất ®iƯn cđa vËt liƯu nh- ®iƯn trë st , tõ thẩm, số điện môi Thông số hình học kích th-ớc trở kháng thay đổi cảm biến có phần tử chuyển động phần tử biến dạng Phụ thuộc vào chất vật liệu khác nhau, tính chất điện chúng nhạy với nhiều đại l-ợng Cụ thể, bảng 1.1 giới thiệu đại l-ợng cần đo khả làm thay ®ỉi c¸c tÝnh chÊt ®iƯn cđa vËt liƯu sư dơng để chế tạo cảm biến Bảng 1.1 Đại l-ợng cần đo Đặc tr-ng nhạy cảm Vật liệu sử dụng Nhiệt độ Điện trở suất, Kim loại Pt, Ni, Cu bán dẫn Bức xạ ánh sáng Điện trở suất, Thuỷ tinh Biến dạng Điện trở suất, Hợp kim Ni, Si pha tạp Độ từ thẩm Hợp kim sắt từ Vị trí (nam châm) Điện trở suất, Vật liệu từ điện trở: Bi, InSb Độ ẩm Điện trë st, Møc chÊt l-u  Licl H»ng sè ®iƯn môi, Al2D3, polime Hằng số điện môi, Chất l-u cách điện Trở kháng cảm biến thụ động thay đổi trở kháng d-ới tác dụng đại l-ợng cần đo xác định đ-ợc cảm biến thành phần mạch điện 1.4 Các đại l-ợng ảnh h-ởng Ngoài đại l-ợng cần đo tác động tới cảm biến thực tế có nhiều đại l-ợng khác gây tác động ảnh h-ởng tới tín hiệu đo Thí dụ: - Nhiệt độ làm thay đổi: đặc tr-ng điện, cơ, kích th-ớc cảm biến - áp suất, gia tốc, dao động: biến dạng ứng xuất số phần tử cấu thành cảm biến làm sai lệch tín hiệu đáp ứng Nh- (1.1) đ-ợc viết lại s = f (m, g1, g2 ) (1.4) Để rút giá trị m từ giá trị đo đ-ợc s cần phải: - Giảm ảnh h-ởng đại l-ợng g1, g2, tới møc thÊp nhÊt b»ng c¸ch sư dơng c¸c biƯn ph¸p: cách điện, chống rung - ổn định đại l-ợng mức biết tr-ớc chuẩn cảm biến ®iỊu kiƯn ®ã - Sư dơng s¬ ®å ghÐp nèi để bù trừ ảnh h-ởng đại l-ợng gây nhiễu 1.5 Mạch đo Định nghĩa: thiết bị đo (bao gồm cảm biến) cho phép xác định xác đại l-ợng cần đo điều kiện tốt Sơ đồ khối đơn giản: kích thích Bộ cảm biến đáp ứng Tuy nhiên thực tế cảm biến chịu tác động đại l-ợng ảnh h-ởng nên mạch đo th-ờng phức tạp 1.6 Sai số phép đo Sản phẩm phép ®o ®Ịu chøa ®ùng sai sè Sai sè lµ hiƯu giá trị thực giá trị đo đ-ợc Sai số phép đo đ-ợc đánh giá cách -ớc tính, đ-ợc giá trị thực đại l-ợng cần đo Phân loại sai số: sai sè hƯ thèng, sai sè ngÉu nhiªn a Sai số hệ thống - Sai số đo giá trị đại l-ợng chuẩn không - Sai số đặc tính cảm biến: - Sai số điều kiện chế độ sử dụng: - Sai số đo xử lý kết đo b Sai số ngẫu nhiên - Sai số tính không xác định đặc tr-ng thiết bị Sai số độ linh động thiết bị ( m) Sai số đọc số liệu e Từ tính sai số độ phân giải: (biến thiên nhỏ đo đ-ợc r m2 e2 đại l-ợng ®o) (1.5)  Sai sè trÔ - Sai sè tín hiệu nhiễu ngẫu nhiên: - Sai số đại l-ợng ảnh h-ởng: * Biện pháp giảm sai số ngẫu nhiên: - Bảo vệ mạch đo: ổn định nhiệt ®é, ®é Èm cđa mét tr-êng ®o, sư dơng gi¸ ®ì chèng rung, sư dơng bé tù ®éng ®iỊu chØnh, điện áp nguồn nuôi, chuyển đổi t-ơng tự - số - áp dụng chế độ vận hành c Tính trung thực, tính đắn độ xác - Khi đo lặp lại n lần giá trị đại l-ợng cần đo ta nhận đ-ợc kết m1, m2, , mn Giá trị trung bình sau n lần đo là: m= m1 + m2 + + m n n (1.6) - §é tản mạn n lần đo đ-ợc biểu diễn qua ®é lÖch :   m1 - m    m2 - m  n -1 10  + + m n - m  (1.7) Với khoảng l-ợng E R: điện trở chất bán dẫn T: nhiệt độ tuyệt ®èi cđa chÊt b¸n dÉn 3.3 Giíi thiƯu dơng thí nghiệm STT Tên thiết bị Mà số Sl Sensor-CASSY 524 010 CASSY Lab 524 200 Hép ngn ®iƯn 524 031 Hép nhiƯt ®é 524 045 C¶m biÕn nhiƯt ®é NiCr-Ni 666 193 Điện trở bán dẫn 586 82 Lò điện,230 V 555 81 Hộp nối an toàn 502 061 Cặp dây dẫn 50 cm 50145 10 M¸y tÝnh 47 SensorCASSY Hình 3.1 48 Hình 3.3 3.4 Chuẩn bị thí nghiệm 3.4.1 Lắp đặt Lắp đặt thí nghiệm nh- hình vẽ Hộp nhiệt độ (temperature box) đ-ợc cắm vào lối vào A Sensor-CASSY để đo nhiệt độ cảm biến nhiệt đ-ơc đặt lò nung điện Cắm đầu đo vào lỗ hía sau lò cho đầu đo gắn với điện trở Cắm hộp nguồn điện vào lối vào b để ghi điện trở Hình 3.4 3.4.2 Cài đặt phần mềm Cho đĩa phần mềm vào ổ CD máy tính 49 Chạy file Setup\Setup.exe Máy tính tiến hành cài đặt phần mềm, chon ngôn ngữ sử dụng (ví dụ English) danh mục ngôn ngữ Máy tính hiển thị địa (Intall on: C:\Program files\CASSY Lab) Nh- ta đà tiến hành cài đặt xong phần mềm 3.4.3 Chạy ch-ơng tr×nh Trong chän chän Trong hình làm việc CASSY Lab chọn F5 để cài đặt thiết bị Chọn chän Physics råi chän P7.2.2.1-2 Electrical conductivity of solids Ta đ-ợc tài liệu h-ớng dẫn thực hành thí nghiệm Bấm chuột vào đầu dòng load setting Trong hình setting, chọn để khai báo Sensor-CASSY: sensor CASSY nối vào cổng COM (hoặc COM 2,COM 3) cửa sổ ta nhấp chuột vàoCOM (hoặc COM 2,COM 3) t-ơng ứng chọn CASSY Sau xác nhận lại Trong cửa sổ setting chọn đặt lại thông số cđa c¸c hép nèi (Temperature box, Current supply box) cho phù hợp cách nhấp chuột vào vị trí Sensor-CASSY Đặt với Temperature box: Quantity: resistance RB Meas range: 170K.470K Đặt với Curent supply box: Quantity: Resestance RB1 Meas range: 0…… 300  Sau chän xong nhÊp chuét vµo 50 3.5 TiÕn hµnh thí nghiệm kết thí nghiệm 3.5.1 Tiến hành thí nghiệm - Để bắt đầu đo ta ấn phím F9 bàn phím nhấp vào núm có hình đồng hồ (mỗi cặp giá trị điện trở nhiệt độ đ-ợc ghi nhiệt độ tăng lên 5K) - Bật lò nung điện lên - Dừng phép đo cách ấn phím F9 nhiệt độ lên đến 470K (khoảng 2000 C) - Tắt lò nung để thay điện trở khác - Khi lò nung đà nguội, thay điện trở cần khảo sát vao lặplại phép đo nh- 3.5.2 Kết thí nghiệm a Khảo sát phụ thuộc điện trở Nicr-Ni vào nhiệt độ ta tăng dần nhiệt độ Sau tiến hành ba lần đo ta thu đ-ợc kết thí nghiệm đồ thị biểu thị phụ thuộc nh- hình 3.5 51 Nhận xét: Khi ta tăng dần nhiệt độ điện trở giảm Từ ta thấy hệ số nhiệt hợp chất có giá trị âm Kết hợp thực nghiệm lý thuyết ta tính đ-ợc giá trị trung bình 2k E sau lần đo ta tăng dần nhiệt độ đo: - Ta rút hệ số đồ thị: 1  2k   R    q    ln    E  T T0     R0    HÖ sè (K-1) LÇn LÇn 1 LÇn Trung Sai sè b×nh 2k E (10-19) 0,376 0,381 0,37 0,375 1,3 % b Khảo sát phụ thuộc điện trở Nicr-Ni vào nhiệt độ ta giảm dần nhiệt độ Sau tiến hành ba lần đo ta thu đ-ợc kết thí nghiệm đồ thị biểu thị sù phơ thc nh- h×nh 3.6 NhËn xÐt: Khi ta giảm dần nhiệt độ điện trở hợp chất tăng Ta tính đ-ợc giá trị trung bình hệ số 2k E sau lần đo: Hệ sè (K-1) LÇn LÇn LÇn Trung Sai sè b×nh 2k E (10-19) 0,373 0,379 0,372 52 0,374 1,3 % Kết hợp kết lần đo ta -ớc tính đ-ợc giá trị hệ sè 2k 1019  = 0,3745  4,8.10-8  E Hợp chất sử dụng có hệ số Sai số giá trị đo với giá trị thực 1,7% Kết xác! 53 2k 1019  = 0,368K-1  E - 54 55 KÕt luËn Luận văn với đề tài "Các cảm biến nhiệt độ đo l-ờng đại l-ợng Vật lý" đà đ-ợc trình bày cách có hệ thống Nội dung luận văn đà trình bày sở lý thuyết, nguyên lý đ-ợc dùng đo l-ờng, đặc biệt đo l-ờng nhiệt độ Luận văn đà giới thiệu đầy đủ cảm biến nhiệt độ đ-ợc dùng phổ biến đo l-ờng đại l-ợng Vật lý Luận văn đà tìm hiểu thực nghiệm thiết bị thí nghiệm có sử dụng cảm biến nhiệt độ phòng thí nghiệm đại c-ơng "Khảo sát phụ thuộc điện trở vào nhiệt độ" Tiến hành làm thí nghiệm khảo sát phụ thuộc điện trở hợp chất Nicr-Ni vào nhiệt độ Kết đà tìm đ-ợc hệ số 2k E Tuy đà cố gắng nh-ng khoá luận tránh khỏi đ-ợc thiếu sót, mong nhận đ-ợc góp ý thầy cô để khoá luận đ-ợc hoàn thiện 56 Tài liệu tham khảo Nguyễn Quốc Phô (chủ biên), Giáo trình cảm biến, Nxb Khoa học kỹ thuật Nguyễn Văn Hoà, Giáo trình đo l-ờng đại l-ợng điện không điện, Nxb Giáo dục Đặng Hùng, Vật lý kỹ thuật, Nxb giáo dục Lê Văn Danh, Phạm Th-ợng Hàn, Nguyễn Văn Hoà, Các cảm biến kỹ thuật đo l-ờng điều kiƯn www.vatlyvietnam.org www.bach-khoa.org 57 Mơc lơc Trang Lêi mở đầu Ch-ơng 1: Những nguyên lý đặc tr-ng đo l-ờng .3 1.1 Các định nghĩa đặc tr-ng chung 1.2 C¶m biÕn tÝch cùc .4 1.3 Cảm biến thụ động 1.4 Các đại l-ợng ảnh h-ởng 1.5 Mạch đo 1.6 Sai sè phÐp ®o 1.7 ChuÈn c¶m biÕn 11 1.8 Độ nhạy 12 1.9 §é tuyÕn tÝnh 13 1.10 §é nhanh - thời gian đáp ứng 14 1.11 Giới hạn sử dụng cảm biến .15 Ch-¬ng 2: Cảm biến nhiệt độ .16 2.1 Thang nhiƯt ®é 16 2.1.1 Thang ®o nhiƯt ®é tut ®èi 16 2.1.2 Thang Celsius 16 2.1.3 Thang Fahrenheit 17 2.2 Nhiệt độ đo đ-ợc nhiệt độ cần đo 17 2.2.1 Nhiệt độ đo đ-ợc 17 2.2.2 §o nhiệt độ lòng vật rắn 18 2.3 Cảm biến nhiệt điện trở 18 2.3.1 Độ nhạy nhiệt 18 2.3.2 §iƯn trë kim lo¹i 20 2.3.3 NhiƯt ®iƯn trë 23 58 2.3.4 §iÖn trë Silic 26 2.4 Cảm biến cặp nhiệt ngÉu 27 2.4.1 Đặc tr-ng chung - độ nhạy nhiệt 27 2.4.2 C¸c hiƯu øng nhiƯt ®iƯn 28 2.4.3 Ph-ơng pháp chế tạo sơ đồ đo, ph-ơng pháp đo .30 2.4.4 Các loại cặp nhiệt điện th-ờng đ-ợc sử dụng thực tế 32 2.5 Đo nhiệt độ §iot vµ Trazito .33 2.5.1 Đặc điểm chung - độ nhạy nhiệt 33 2.5.2 Quan hÖ nhiệt độ - điện áp 34 2.6 Cảm biến quang đo nhiệt ®é .35 2.6.1 Hoả kế xạ 35 2.6.2 Ho¶ kÕ quang häc 36 2.6.3 Hoả kế quang điện 37 2.7 NhiƯt kÕ ¸p st (¸p nhiƯt kÕ) 39 2.7.1 NhiƯt kÕ ¸p suÊt khÝ .40 2.7.2 NhiƯt kÕ ¸p st chÊt láng .40 2.8 C¶m biến siêu âm nhiệt độ 41 Ch-ơng 3: thực nghiệm - Khảo sát phụ thuộc điện trở vào nhiệt độ 44 3.1 Mơc ®Ých thÝ nghiƯm 44 3.2 C¬ së lý thuyÕt 44 3.3 Giíi thiƯu dơng thÝ nghiƯm 45 3.4 Chn bÞ thÝ nghiƯm 47 3.4.1 Lắp đặt 47 3.4.2 Cài đặt phần mềm 47 3.4.3 Chạy ch-ơng tr×nh 48 3.5 Tiến hành thí nghiệm kết thÝ nghiÖm 49 3.5.1 TiÕn hµnh thÝ nghiƯm 49 3.5.2 KÕt qu¶ thÝ nghiƯm 49 KÕt luËn 51 Tài liệu tham khảo .52 59 60 Lời cảm ơn Đầu tiên em xin chân thành cảm ơn thầy giáo Đoàn Hoài Sơn thầy giáo Nguyễn Thế Tân đà nhiệt tình h-ớng dẫn, giúp đỡ cho em hoàn thành đề tài Em xin gửi lời cảm ơn đến tất thầy cô giáo khoa Vật Lý đà giảng dạy giúp đỡ em suốt trình học tập tr-ờng Qua thời gian tìm hiểu để làm đề tài, em đà học hỏi đ-ợc nhiều kinh nghiệm quý báu, tích góp đ-ợc nhiều kiến thức mới, củng cố đ-ợc kiến thức cũ đà học Điều giúp cho em sau tr-ờng vững vàng công việc Một lần em xin cảm ơn tất ng-ời đà giúp đỡ tạo điều kiện tốt cho em hoàn thành đề tài! 61 ... tuyệt đối 2.2 Nhiệt độ đo đ-ợc nhiệt độ cần đo 2.2.1 Nhiệt độ đo đ-ợc Nhiệt độ đo đ-ợc cảm biến T phụ thuộc vào nhiệt độ môi tr-ờng Tx trình trao đổi nhiệt Để nâng cao độ xác phép đo cần phải giảm... có nhiều cảm biến ®-ỵc sư dơng réng r·i kü tht cịng nh- đời sống, nh-: cảm biến quang, cảm biến nhiệt độ, cảm biến vị trí di chuyển, cảm biến vận tốc gia tốc, cảm biến biến dạng, cảm biến lực... nồng độ pha tạp vào nhiệt độ nhiệt độ nhỏ 1200C, hệ số nhiệt độ d-ơng đo độ linh động hạt tải giảm mà nông độ chúng thực tế không đổi nhiệt độ lớn 1200C, hệ số nhiệt độ âm Quá trình hoá nhiệt