Nghiên cứu phát triển cảm biến đo vận tốc góc dựa trên hiệu ứng dòng xả corona

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO BỘ QUỐC PHÒNG VIỆN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ QUÂN SỰ TRẦN VĂN NGỌC NGHIÊN CỨU PHÁT TRIỂN CẢM BIẾN ĐO VẬN TỐC GÓC DỰA TRÊN HIỆU ỨNG DÒNG XẢ CORONA LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT HÀ NỘI - 2021 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO BỘ QUỐC PHÒNG VIỆN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ QUÂN SỰ TRẦN VĂN NGỌC NGHIÊN CỨU PHÁT TRIỂN CẢM BIẾN ĐO VẬN TỐC GÓC DỰA TRÊN HIỆU ỨNG DÒNG XẢ CORONA Chuyên ngành: Kỹ thuật điện tử Mã số: 52 02 03 LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: PGS.TS Bùi Thanh Tùng GS TS Chử Đức Trình HÀ NỘI – NĂM 2021 i LỜI CAM ĐOAN Tôi cam đoan cơng trình nghiên cứu riêng tơi Các số liệu, kết nêu luận án trung thực chưa công bố cơng trình khác, liệu tham khảo trích dẫn đầy đủ Hà Nội, Ngày 26 tháng năm 2021 Tác giả luận án Trần Văn Ngọc ii LỜI CẢM ƠN Nghiên cứu sinh xin bày tỏ lịng kính trọng biết ơn sâu sắc đến Thầy giáo PGS.TS Bùi Thanh Tùng, Thầy giáo GS.TS Chử Đức Trình trực tiếp hướng dẫn, tận tình dìu dắt, bảo NCS trình học tập thực luận án Nghiên cứu sinh xin gửi lời cảm ơn đến PGS.TS Trần Cảnh Dũng, TS Đậu Thành Văn, TS Đinh Xuân Thiện, TS Phan Thanh Hịa có đóng góp q báu giúp đỡ nghiên cứu sinh hồn thành luận án Tơi xin chân thành cảm ơn Thầy Cô giáo, bạn sinh viên Bộ môn Vi điện tử – Vi hệ thống, Khoa Điện tử Viễn Thông Trường Đại học Công nghệ – Đại học Quốc gia Hà Nội giúp hồn thành nghiên cứu Tơi xin gửi lời cảm ơn đến Khoa Điện tử Viễn thông – Trường Đại học Cơng nghiệp Hà Nội; Phịng Điện – Trung tâm sửa chữa phương tiện đo – Cục Tiêu chuẩn Đo lường Chất lượng tạo điều kiện giúp đỡ phương tiện để tiến hành thí nghiệm Tơi xin chân thành cảm ơn Nhà khoa học cho tơi ý kiến đóng góp q báu Tơi xin chân thành cảm ơn Ban Giám đốc Viện Khoa học Cơng nghệ Qn sự, Phịng Đào tạo – Viện Khoa học Công nghệ Quân tạo điều kiện cho tơi hồn thành nhiệm vụ Tơi xin chân thành cảm ơn Đảng ủy, Thủ trưởng Viện Tên lửa; Đảng ủy, Thủ trưởng Viện Điện tử quan tâm, tạo điều kiện giúp đỡ đạt kết mong muốn Tôi xin chân thành cảm ơn đồng nghiệp Phịng Thí nghiệm Động lực học bay, Viện Tên lửa đồng hành với nghiên cứu sinh suốt trình thực luận án iii Nghiên cứu sinh muốn gửi lời cảm ơn đến gia đình, người thân bạn bè tạo điều kiện thời gian, động viên tinh thần giúp nghiên cứu sinh toàn tâm toàn ý vào thực luận án Hà Nội, Ngày 26 tháng năm 2021 Tác giả luận án Trần Văn Ngọc iv MỤC LỤC Trang LỜI CAM ĐOAN i LỜI CẢM ƠN ii MỤC LỤC .iv DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU, CHỮ VIẾT TẮT vii DANH MỤC CÁC BẢNG xiv DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ .xv MỞ ĐẦU Chương TỔNG QUAN VỀ CẢM BIẾN VẬN TỐC GÓC VÀ ĐỀ XUẤT NỘI DUNG NGHIÊN CỨU 1.1 Khái quát phép đo vận tốc góc .7 1.1.1 Đại lượng vận tốc góc 1.1.2 Cấu trúc phương tiện đo vận tốc góc 1.2 Các loại cảm biến đo vận tốc góc 10 1.2.1 Con quay học cổ điển 13 1.2.2 Con quay quang học 15 1.2.3 Cảm biến vận tốc góc vi điện tử 17 1.3 Cảm biến vận tốc góc dạng khí vấn đề nghiên cứu 19 1.3.1 Các nghiên cứu cảm biến vận tốc góc dạng khí nước 20 1.3.2 Các nghiên cứu cảm biến vận tốc góc dạng khí nước 25 1.3.3 Tạo luồng gió hiệu ứng dịng xả corona 27 1.3.4 Hướng nghiên cứu luận án 31 1.4 Kết luận chương .32 Chương ĐỀ XUẤT GIẢI PHÁP THIẾT KẾ CẢM BIẾN ĐO VẬN TỐC GÓC ỨNG DỤNG HIỆU ỨNG DÒNG XẢ CORONA 34 v 2.1 Bài toán tổng quát thiết kế cảm biến đo vận tốc góc dạng khí ứng dụng hiệu ứng dịng xả corona 34 2.1.1 Nguyên lý đo cảm biến vận tốc góc dạng khí 34 2.1.2 Xây dựng cấu trúc cảm biến vận tốc góc ứng dụng hiệu ứng dịng xả corona 37 2.1.3 Mơ q trình tạo gió ion độ lệch luồng gió ion 49 2.2 Xây dựng hàm biến đổi cảm biến vận tốc góc dạng khí 56 2.2.1 Xác định vận tốc luồng khí lệch 58 2.2.2 Hàm biến đổi cảm biến 59 2.3 Đáp ứng cảm biến 62 2.4 Kết luận chương .65 Chương NGHIÊN CỨU THỰC NGHIỆM CẢM BIẾN ĐO VẬN TỐC GÓC 66 3.1 Thực nghiệm chế tạo cảm biến đo vận tốc góc xây dựng hệ thống đo sử dụng cảm biến chế tạo 66 3.1.1 Thực nghiệm chế tạo cảm biến 66 3.1.2 Xây dựng hệ thống đo vận tốc góc .71 3.2 Một số kết thí nghiệm xác định đặc trưng cảm biến .78 3.2.1 Khảo sát dịng điện phóng tạo hiệu ứng dòng xả corona 78 3.2.2 Khảo sát luồng gió ion dây nhiệt điện trở 80 3.2.3 Khảo sát đường đặc tuyến điện áp – vận tốc góc cảm biến 84 3.3 Một số kết đo thực nghiệm kiểm chứng hệ thống đo sử dụng cảm biến chế tạo với thiết bị chuẩn 92 3.3.1 Cài đặt hệ thống thử nghiệm kiểm chứng 92 3.3.2 Kết thực nghiệm kiểm chứng cảm biến đo vận tốc góc với thiết bị chuẩn 94 3.4 So sánh với cảm biến vận tốc góc loại nghiên cứu .95 vi 3.5 Kết luận chương .96 KẾT LUẬN 98 DANH MỤC CƠNG TRÌNH KHOA HỌC ĐÃ CƠNG BỐ 100 TÀI LIỆU THAM KHẢO 102 vii DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU, CHỮ VIẾT TẮT Danh mục ký hiệu Ký hiệu A Hằng số h Ak Tổng diện Av Diện tích Diện tích a Gia tốc Gia tốc C B Hằng số h Nhiệt dun Nhiệt dun c D Hằng số m Toán tử d Độ lệch c dk Khoảng c Độ lệch lu _ ⃗⃗ Độ lệch lu Véc tơ điệ Điện áp tr xả corona Điện trườ Điện trườ viii Ký hiệu Điện áp nguồn nuôi cầu Ý nghĩa Đơn vị [V] Điện áp cảm biến [V] Sự thay đổi điện áp cầu điện trở [V] Lực Coriolis theo trục Z [N] Δf Vận tốc cảm biến quang [o/s] G(s) Đáp ứng cảm biến Hg Công suất nguồn điện cung cấp cho dây dẫn [W] HT Tốc độ trao đổi nhiệt với môi trường xung quanh [W] HA Tốc độ tích trữ lượng nhiệt [W] h Hệ số truyền nhiệt I Cường độ dòng điện phóng Cường độ dịng điện cấp đến nhiệt điện trở ℎ K Hằng số lò xo Hằng số lò xo theo trục Hằng số lò xo theo trục K k l ’ [] [W/m2 oC] [µA] [A] [N/m] [N/m] [N/m] Độ nhạy tĩnh thiết bị Hệ số phụ thuộc vào không gian khoảng cách điện cực [] [√ ] Khoảng cách từ vòi phun đến mặt phẳng đặt dây nhiệt điện trở [m] Chiều dài dây nhiệt điện trở [m] M Mơ men qn tính [kg.m2] 101 Hang Nguyen Thu, Ngoc Tran Van, Cuong Nguyen Nhu, Van Thanh Dau, An Nguyen Ngoc, Trinh Chu Duc, Tung Thanh Bui (2020), “Study on Thermal Convective Gas Gyroscope based on Corona Discharge Ion Wind and Coriolis Effect”, The 3rd Internationanl Conference on Engineering Research and Applications (ICERA 2020) 102 TÀI LIỆU THAM KHẢO Tiếng Việt Trần Bảo, Trần Quang Uy (2009), Cơ sở đo lường học, Nxb Giáo dục, Hà Nội Lê Văn Doanh, Phạm Thượng Hàn, Nguyễn Văn Hoà, Võ Thạch Sơn, Đào Văn Tân (2013), Các cảm biến kỹ thuật đo lường điều khiển, Nxb Khoa học kỹ thuật, Hà Nội Đào Mộng Lâm, Phạm Quang Minh, Phạm Nhật Quang (2010), Đo lường tham số động phản lực với phần mềm DasyLab Nxb Quân đội nhân dân, Hà Nội Phạm Quang Minh (2013), Nghiên cứu xây dựng phương tiện đo tham số động lực động tên lửa, Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật điện tử, Viện KH-CN quân sự, Hà Nội Nguyễn Văn Thắng (2017), Thiết kế xây dựng hệ thống dẫn đường tích hợp INS/GPS dựa linh kiện vi điện tử, Luận án Tiến sĩ Công nghệ Điện tử - Viễn Thông, Đại học Công nghệ, Đại học Quốc gia, Hà Nội Vũ Văn Thể (2019), Phân tích động lực học cảm biến vận tốc góc vi điện tử nhiều bậc tự do, Luận án Tiến sĩ Cơ học kỹ thuật, Học viện Kỹ thuật quân sự, Hà Nội Trần Đức Thuận (2015), Hệ thống điều khiển tên lửa thiết bị phóng Nxb Quân đội nhân dân, Hà Nội Tiếng Anh A S Morris and R Langari (2016), Measurement and Instrumentation, Publisher: Joe Hayton A Cenk, S Andrei (2009), MEMS Vibratory Gyroscopes: Structural Approaches to Improve Robustness, Spinger 10 A K Sen, J Darabi, and D R Knapp (2009), Design, fabrication and test of a microfluidic nebulizer chip for desorption electrospray 103 ionization mass spectrometry, Sensors Actuators, B Chem., vol 137, no 2, pp 789–796 11 A M Shkel (2001), Micromachined gyroscopes: challenges, design solutions, and opportunities, Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, https:// doi: 10.1117/12.436629 12 A P Chattock (1899), On the Velocity and Mass of the ion in the Electric Wind in Air, Philos Mag Ser 5, vol 48, no 294, pp 401– 420 13 A Maciulaitis (2008), Comments on “Ion-Neutral Propulsion in Atmospheric Media”, AIAA J., vol 5, no 10, pp 1768 – 1773 14 A A Ramadhan, N Kapur, J L Summers, and H M Thompson (2017), Numerical Analysis and Optimization of Miniature Electrohydrodynamic Air Blowers, IEEE Trans Plasma Sci., vol 45, no 11, pp 3007 – 3018 15 M A V Smol’yakov, V M Tkachenko, A V Smol’yakov, and V Tkachenko (1983), Measurement of Turbulent Fluctuations, Springer 16 Analog Devices (1999), Datasheet: AD624 Precision Instrumentation Amplifier, http://www.analog.com/media/en/technical documentation/data-sheets/AD624.pdf 17 B Chua, A S Wexler, N C Tien, D A Niemeier, and B A Holmén (2013), Micro corona based particle steering air filter, Sensors Actuators, A Phys., vol 196, pp 8–15 18 B R Maskell (1970), The effect of humidity on a corona discharge in air, R Aircr Establ Farnborough, U.K., Tech Rep., pp 70106 19 B Xiong, L Che, and Y Wang (2003), A novel bulk micromachined gyroscope with slots structure working at atmosphere, Sensors Actuators, A Phys., vol 107, no 2, pp 137 – 145 20 Bosch (2016), Bosch - BMG250: Low noise, low power triaxial gyroscope, in Product Data Sheet 21 C C Painter and A M Shkel (2003), Structural and thermal modeling 104 of a z-axis rate integrating gyroscope, Jounal of Micromechanics Microengineering, vol 13, no 2, pp 229 – 237 C J Greenshields (2019), The OpenFOAM, https://openfoam.org 22 23 C Kim, K C Noh, S Y Kim, and J Hwang (2011), Electric propulsion using an alternating positive/negative corona discharge configuration composed of wire emitters and wire collector arrays in air, Appl Phys Lett., vol 99, no 11, pp 17–20 24 D Rafalskyi, L Popelier, and A Aanesland (2014), Experimental validation of the dual positive and negative ion beam acceleration in the plasma propulsion with electronegative gases thruster, J Appl Phys., vol 115, no 25 Dzung Viet Dao, Van Thanh Dau, T Shiozawa, H Kumaga, and S Sugiyama (2006), Adual Axis Gas Gyroscope Based on Convective and Thermo-Resistive Effects in Silicon with Low ThermalInduced Stress Sensing Element, 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, ISSN: 1084-6999, pp 594 – 597 26 Dzung Viet Dao, Van Thanh Dau, Thien Xuan Dinh, and S Sugiyama (2007), A fully integrated MEMS-based convective 3-DOF gyroscope, Transducers eurosensors’07 - 4th Int Conf Solid-State Sensors, Actuators Microsystems, pp 1211 – 1214 27 D V Dao, V T Dau, T Shiozawa, and S Sugiyama (2007), Development of a Dual-Axis Convective Gyroscope With Low ThermalInduced Stress Sensing Element, J Microelectromechanical Syst., vol 16, no 4, pp 950–958 28 E Moreau, P Audier, and N Benard (2018), Ionic wind produced by positive and negative corona discharges in air, J Electrostat., vol 93, no October 2017, pp 85 – 96 29 E M Luc Lesger and G T Guillermo Artana (2001), In fluence of a DC corona discharge on the air flow along an inclined flat plate, J 105 Electrostat, vol 52, pp 300 – 306 30 E P Mednikov, B G Novitskii, E P Mednikov, and B G Novitskii (1975), Experimental study of intense acoustic streaming, Akust Zhurnal, vol 21, pp 245–249 31 G Lobov (2012), Study of the corona discharge phenomenon for application in pathogen and narcotic detection in aerosol, MSc thesis 32 G P Russo (2011), Aerodynamic measurements, Woodhead Publishing 33 H G Dinh, R Zhu (2001), Micro Jet Gyro, CN Pattent 01,119,802.8 34 H G Dinh, R Zhu (2015), Micro Jet Gyro with Channels, CN Pattent 105091876 B 35 H Chang, X Gong, S Wang, P Zhou, and W Yuan (2015), On improving the performance of a triaxis vortex convective gyroscope through suspended silicon thermistors,” IEEE, vol 15, no 2, pp 946 – 955 36 H H Kim, K Takashima, S Katsura, and A Mizuno (2001), Low-temperature NO x reduction processes using combined systems of pulsed corona discharge and catalysts, J Physics D: Applied Physics vol 34 37 H David, R Robert, W Jearl (2018), Fundermentals of Physics, United States of America 38 J Fraden (2016), Handbook of modern sensors physics, designs, and applications, Springer 39 J L W David, H Titterton (2004), Strapdown Inertial navigation technology, The Institution of Electrical Engineers and The American Institute of Aeronautics and Astronautics 40 J S Townsend (1915), Electricity in Gases, Oxford at the Clarendon press 41 J S Chang; P A Lawless; T Yamamoto (1991), Corona Discharge Processes, IEEE Trans Plasma Sci., vol 19, no 6, Dec, pp 1152 – 1166 42 J J Lowke, F D’Alessandro (2003), Onset corona fields and electrical breakdown criteria, J Phys D Appl Phys., vol 36, no 21, pp 2673 –2682 106 43 in J Atencia and D J Beebe (2006), Steady flow generation microcirculatory systems, Advance Article, https://doi.org: 10.1039/b514070f, pp 567–574 44 K T V Grattan and Dr T Sun (2000), Fiber optic sensor technology: An overview, Sensors Actuators, A Phys., vol 82, no 1, pp 40 – 61 45 K Adamiak (2013), Numerical models in simulating wire-plate electrostatic precipitators: A review, J Electrostat., vol 71, no 4, pp 673–680 46 L Li, S J Lee, W Kim, and D Kim (2015), An empirical model for ionic wind generation by a needle-to-cylinder dc corona discharge, J Electrostat., vol 73, pp 125–130 47 M Rickard, D Dunn-rankin, F Weinberg, and F Carleton (2005), Characterization of ionic wind velocity, J Electrost 63(6-10), vol 63, pp 711 – 716 48 M Robinson (1961), Movement of air in the electric wind of the corona discharge, Trans Am Inst Electr Eng Part I Commun Electron., vol 80, no 2, pp 143 – 150 49 M M A Salama, H Parekh, and K D Srivastava (1976), Model for switching surge breakdown of a point-to-plane air gap, J Appl Phys., vol 47, no 10, pp 4426 – 4429 50 M N Shipko, V G Kostishin, M A Stepovich, and V V Korovushkin (2017), Modifying the properties of ferrite materials with a hexagonal structure via treatment in corona discharge plasma, J Surf Investig X-ray, Synchrotron Neutron Tech., vol 11, no 1, pp 142 – 145 51 N Yazdi, F Ayazi, and K Najafi (1998), Micromachined inertial sensors, Proc IEEE, vol 86, no 8, pp 1640 – 1658 52 O M Stuetzer (1960), Ion drag pumps, Journal Appl Phys., vol 31, no 1, pp 136–146 53 P Béquin et al.(2018), Corona Discharge Velocimeter, J Acta Acustica 107 united with Acustica, vol 104, no 3, pp 477–485 54 P Béquin, A Nanda Tonlio, and S Durand (2020), Air plasma sensor for the measurement of sound pressure using millimetric and micrometric discharges, J Appl Phys., vol 127, no 3, 2020 55 P Song et al (2020), Recent progress of miniature MEMS pressure sensors, Micromachines, vol 11, no 1, pp 1–38, 2020 56 R Ono and T Oda (2003), Dynamics of ozone and OH radicals generated by pulsed corona discharge in humid-air flow reactor measured by laser spectroscopy, J Appl Phys., vol 93, no 10, pp 5876 – 5882 57 R Morrow (1999), The theory of positive glow corona, J Phys D Appl Phys., vol 30, pp 3099–3114 58 T M Dauphinee (1957), Acoustic Air Pump, Rev Sci Instrum., vol 28, no 6, pp 452 59 T C Corke, C L Enloe, and S P Wilkinson (2010), Dielectric Barrier Discharge Plasma Actuators for Flow Control, Annu Rev Fluid Mech., vol 42, no 1, pp 505–529 60 T Shiozawa, Van Thanh Dau, Dzung Viet Dao, H Kumagai, and S Sugiyama (2005), A dual axis thermal convective silicon gyroscope, Micro-Nanomechatronics and Human Science and he Fourth Symposium Micro-Nanomechatronics for Information-Based Society, ISBN: 0-7803-8607-8 61 Thien Xuan Dinh, Dang Bao Lam, and Van Thanh Dau (2017), Jet flow in a circulatory miniaturized system using ion wind, J Mechatronics, vol 47, no September, pp 126–133 62 V M N Passaro, A Cuccovillo, L Vaiani, M De Carlo, and C E Campanella (2017), Gyroscope Technology and Applications: A Review in the Industrial Perspective, Sensors (Basel) 2017 Oct; 17(10): 2284, https:// doi: 10.3390/s17102284 63 Van Thanh Dau, T Shiozawd, Dzung Viet Dao, and S Sugiyama (2005), 108 A dual axis gas gyroscope utilizing low-doped Silicon thermistor, 18th IEEE International Conferrence on Micro Electro Mechanical Systems, https:// doi:10.1109/MEMSYS.2005.1454007, pp 626 – 629 64 Van Thanh Dau, Dzung Viet Dao, and S Sugiyama (2007), Convective Gas Gyroscope Based on Thermo-Resistive Effect in Si PN Junction, Transducer 2007 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference 65 Van Thanh Dau, Thien Xuan Dinh, Dzung Viet Dao, O Tomonori, and S Sugiyama (2007), Design and fabrication of a convective 3-DOF angular rate sensor, Proc IEEE Sensors, pp 915 – 918 66 Van Thanh Dau, Thien Xuan Dinh, Canh-Dung Tran, T Terebessy, Trinh Chu Duc, and Tung Thanh Bui (2018), Particle precipitation by bipolar corona discharge ion winds, J Aerosol Sci., vol 124, pp 83 – 94 67 Van Thanh Dau, Thien Xuan Dinh, Tung Thanh Bui, and T Terebessy (2016), Bipolar corona assisted jet flow for fluidic application, Flow Meas Instrum., vol 50, pp 252 – 260 68 Van Thanh Dau, Thien Xuan Dinh, Tung Thanh Bui, Canh-Dung Tran, Hoa Thanh Phan, and T Terebessy (2016), Corona based air-flow using parallel discharge electrodes, Exp Therm Fluid Sci., vol 79, pp 52 – 56 69 Van Thanh Dau, Thien Xuan Dinh, T Terebessy, and Tung Thanh Bui (2016), Bipolar corona discharge based air flow generation with low net charge, Sensors Actuators, A Phys., vol 244, pp 146 – 155 70 Van Thanh Dau, Tung Thanh Bui, Thien Xuan Dinh, and T Terebessy (2016), Pressure sensor based on bipolar discharge corona configuration, Sensors Actuators, A Phys., vol 237, pp 81 – 90 71 Van Thanh Dau, Thien Xuan Dinh, Tung Thanh Bui, and Canh Dung Tran (2018), Vortex flow generator utilizing synthetic jets by diaphragm vibration, Int J Mech Sci., vol 142–143, pp 432–439 72 Trinh Van Thanh Dau, Thien Xuan Dinh, Canh Dung Tran, T Terebessy, 109 Chu Duc, and Tung Thanh Bui (2018), Particle precipitation by bipolar corona discharge ion winds, J Aerosol Sci., vol 124, no 7, pp 83–94 73 W N English (1948), Positive and negative point-to-plane corona in air, Phys Rev., vol 74, no 2, pp 170 – 178 74 W Jack, P Hugh, and T William (2009), An Investigation of Ionic Wind Propulsion, NASA Rep NASA/TM, no December, pp 215822 75 Y P Raizer, J E Allen, and V I Kisin (2011), Gas Discharge Physics, Springer 76 Z Xie, H Chang, Y Yang (2012), Design and fabrication of a vortex inertial sensor consisting of 3-DOF gyrroscope and 3-DOF accelerometer, IEEE, no February, pp 551 – 554 77 Z Mokhtari, S Holé, and J Lewiner (2013), Smoke triggered corona discharge sensor, J Electrostat., vol 71, no 4, pp 769 – 772 ... Nghiên cứu hiệu ứng dòng xả corona ứng dụng hiệu ứng dòng xả corona làm sở để phát triển cảm biến vận tốc góc dạng khí - Nghiên cứu tổng quan cảm biến vận tốc góc nói chung cảm biến vận tốc góc. .. lượng nguồn ni cảm biến dạng cảm biến vận tốc góc đại nghiên cứu phát triển Tiêu biểu số hai dạng cảm biến vận 15 tốc góc phải kể đến cảm biến vận tốc góc quang học cảm biến vận tốc góc vi điện... phép đo vận tốc góc chủ yếu phụ thuộc vào độ xác cảm biến đo Vì đối tượng nghiên cứu chủ yếu tập trung vào kỹ thuật phát triển cảm biến 1.2 Các loại cảm biến đo vận tốc góc Cảm biến đo vận tốc góc