Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống
1
/ 87 trang
THÔNG TIN TÀI LIỆU
Thông tin cơ bản
Định dạng
Số trang
87
Dung lượng
4,29 MB
Nội dung
ĐẠI HỌC QUỐC GIA THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH TRƢỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA NGÔ NAM PHƢƠNG THIẾT KẾ TỐI ƢU CƠ CẤU ĐÀN HỒI Chuyên ngành: Kỹ thuật khí Mã số: 60 52 01 03 LUẬN VĂN THẠC SĨ TP HỒ CHÍ MINH, NĂM 2018 Luận văn thạc sĩ GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HỒNG Cơng tình đƣợc hoàn thành tại: Trƣờng Đại học Bách Khoa - ĐHQG TP.HCM Cán hƣớng dẫn khoa học: PGS.TS Phạm Huy Hoàng Cán chấm nhận xét 1: PGS.TS Nguyễn Ngọc Phƣơng Cán chấm nhận xét 2: PGS TS Lƣu Thanh Tùng Luận văn thạc sĩ đƣợc bảo vệ Trƣờng Đại học Bách Khoa, ĐHQG TP.HCM ngày 18 tháng năm 2018 Thành phần Hội đồng đánh giá luận văn thạc sĩ gồm: (Ghi rõ họ, tên, học hàm, học vị Hội đồng chấm bảo vệ luận văn thạc sĩ) 1.PGS TS Nguyễn Hữu Lộc PGS TS Trần Doãn Sơn PGS.TS Nguyễn Ngọc Phƣơng PGS TS Lƣu Thanh Tùng TS Hồ Triết Hƣng Xác nhận Chủ tịch Hội đồng đánh giá LV Trƣởng Khoa quản lý chuyên ngành sau luận văn sửa chữa (nếu có) CHỦ TỊCH HỘI ĐỒNG Học vi n: Ngơ Nam Phƣơng TRƢỞNG KHOA CƠ KHÍ Trang MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP.HCM TRƢỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA CỘNG HÒA XÃ HỘI CHỦ NGHĨA VIỆT NAM Độc lập - Tự - Hạnh phúc NHIỆM VỤ LUẬN VĂN THẠC SĨ Họ t n học vi n: NGÔ NAM PHƢƠNG Ngày, tháng, năm sinh: Chuyên ngành: MSHV: 1570816 Nơi sinh: KON TUM 02/09/1983 mã số: 60 52 01 03 Kỹ Thuật Cơ Khí I TÊN ĐỀ TÀI: THIẾT KẾ TỐI ƢU CƠ CẤU ĐÀN HỒI NHIỆM VỤ VÀ NỘI DUNG: Thiết kế tối ƣu cấu đàn hồi có chuyển động thẳng có độ khuếch đại lớn độ dịch chuyển micromet sử dụng cấu dịch chuyển dao máy tiện CNC II NGÀY GIAO NHIỆM VỤ : III NGÀY HOÀN THÀNH NHIỆM VỤ: IV.CÁN BỘ HƢỚNG DẪN (Ghi rõ học hàm, học vị, họ, tên): PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG Tp HCM, ngày tháng năm 2018 CÁN BỘ HƢỚNG DẪN CHỦ NHIỆM BỘ MÔN ĐÀO TẠO TRƢỞNG KHOA CƠ KHÍ Học vi n: Ngơ Nam Phƣơng Trang MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG LỜI CẢM ƠN Lời đâu ti n tơi cảm ơn đến Thầy Phạm Huy Hồng giúp đỡ, hƣớng dẫn tạo điều kiện thuận lợi cho tơi thực luận văn Thầy tận tình giúp tơi từ viết đề cƣơng đến việc hồn thành luận văn, cho lời động viên thực đề tài Sau thời gian học tập, tiếp thu đƣợc nhiều kiến thức quý báu từ Thầy Cơ để hồn thành đề tài tự tin nghi n cứu giải vấn đề kỹ thuật Một lần xin gửi lời cảm ơn chân thành đến Thầy Phạm Huy Hồng q Thầy/Cơ trƣờng Đại học Bách Khoa TP HCM, NCS Nguyễn Văn Khiển trƣờng Đại Học Sƣ Phạm Kỹ Thuật Tp HCM giúp tơi hồn thành luận văn Tôi xin cám ơn đến anh chị, bạn bè đặc biệt thành viên lớp cao học ngành Kỹ Thuật Cơ Khí – Đợt 2/2015 chia sẻ giúp đỡ tơi hồn thành luận văn Và lời cảm ơn cuối cùng, chân thành cảm ơn tất ngƣời thân gia đình ln giúp đỡ, động viên hỗ trợ tơi q trình học tập nghiên cứu trƣờng Đại học Bách khoa TP.HCM Chân thành cảm ơn! Học viên Ngô Nam Phƣơng Học vi n: Ngô Nam Phƣơng Trang MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HỒNG TĨM TẮT Hiện cấu ăn dao máy tiện CNC sử dụng cấu ăn dao dạng visme đai ốc bi có sai số khoảng 6µm kết hợp với sai số khác nhƣ sai số nhiệt độ, sai số khe hở dọc trục truyền …cơ cấu ăn dao máy tiện có sai số khoảng 10µm Để thực việc gia cơng tinh với độ xác cao cho máy tiện CNC việc thiết kế cấu ăn dao cho loại máy cần thiết Với sƣ phát triển công nghệ piezo actuator với lớp piezo dãn nở đƣợc cung cấp điện áp cho lớp từ 0.0001đến 0.01µm để sử dụng cơng nghệ địi hỏi việc thiết kế cấu đàn hồi có độ khuếch tăng độ phân giải sử dụng cấu ăn dao Từ yêu cầu tr n đề tài có mục tiêu thiết kế tổng hợp tối ƣu cấu đàn hồi có chuyển động thẳng có độ khuếch đại lớn độ dịch chuyển micromet sử dụng cấu dịch chuyển dao máy tiện CNC nhằm phục vụ cho việc gia công lần cuối với độ xác cao cấu đàn hồi có ƣu điểm mà cấu khác khơng có đƣợc nhƣ: nhỏ, gọn, độ cứng vững cao, khơng có ma sát, khơng có khe hở, khơng cần bôi trơn, hoạt động không ồn, phù hợp với môi trƣờng chân khơng Từ khóa: cấu đàn hồi, thiết kế tối ƣu, cấu khâu cứng, cấu ăn dao Học vi n: Ngô Nam Phƣơng Trang MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG ABSTRACT At present, feed drives of the CNC lathe uses feed drives as balls vis-a-vis with an error of about 6μm combined with other errors such as errors due to temperature and gap along the transmission axis The configuration of the lathe now has an error of about 10μm In order to perform high-precision machining for CNC lathes, the new knife feeding design for these machines is essential With the development of piezo actuator technology with expanded piezo layers when supplied with a voltage range of 0.0001 to 0.01μm each, so to use this technology requires the design of a flexure mechanism to increase the resolution used in the knife feeder From the requirements on the topic, the aim is to design the optimum linear elastic structure with a higher amplitude of and the micrometer displacement used in the CNC turning lathe High-precision machining is required because the elastic structure has advantages that other structures not have: small, compact, high rigidity, no friction, no gap, no need for lubrication, no noise, suitable for vacuum environment Keywords: flexure mechanism, optimum design, pseudo rigid body mechanism, feed drives Học vi n: Ngô Nam Phƣơng Trang MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG LỜI CAM ĐOAN Tôi tên: Ngô Nam Phƣơng MSHV: 1570816 Theo định giao đề tài luận văn cao học phòng Đào tạo Sau đại hoc, Đại học Bách Khoa Tp.HCM, thực luận văn cao học với đề tài “Thiết kế tối ƣu cấu đàn hồi” dƣới hƣớng dẫn Thầy PGS.TS Phạm Huy Hồng Tơi xin cam kết luận văn tốt nghiệp cao học tôi, số liệu luận văn thực, thực hiên luận văn theo quy định phòng Đào tạo sau đại học theo hƣớng dẫn Thầy PGS.TS Phạm Huy Hồng Tơi xin chịu trách nhiệm nghiên cứu luận văn Tp Hồ Chí Minh, tháng năm 2018 Học viên Ngô Nam Phƣơng Học vi n: Ngô Nam Phƣơng Trang MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG MỤC LỤC Chƣơng TỔNG QUAN 12 1.1 Giới thiệu 12 1.2 Tình hình nghiên cứu giới 12 1.3 Tình hình nghiên cứu nƣớc 17 1.4 Nhận xét lý chọn đề tài: 18 1.5 Ý nghĩa mục tiêu nghiên cứu 19 1.5.1 Mục tiêu nghiên cứu 19 1.5.2 Ý nghĩa nghiên cứu 19 Chƣơng CƠ SỞ LÝ THUYẾT VỀ CƠ CẤU ĐÀN HỒI VÀ KHỚP ĐÀN HỒI 20 2.1 Giới thiệu khớp đàn hồi 20 2.1.1 Khớp nối truyền thống 20 2.1.2 Khớp nối đàn hồi 20 2.1.3 Những ƣu điểm khớp nối đàn hồi: 21 2.2 Ứng dụng cấu đàn hồi truyền động xác 22 2.2.1 Cơ cấu đàn hồi .22 2.2.2 Ứng dụng cấu đàn hồi truyền động xác 23 2.3 Khả truyền chuyển động khớp đàn hồi .28 2.4 Độ mềm độ cứng khớp đàn hồi 30 2.4.1 Trƣờng hợp tổng quát 30 2.4.2 Trƣờng hợp khớp đàn hồi dạng cung tròn đối xứng 32 Chƣơng THIẾT KẾ CƠ CẤU KHÂU CỨNG 34 3.1 Thiết kế lựa chọn cấu khâu cứng 34 3.2 Phân tích, tơng hợp, tối ƣu cấu khâu cứng 38 Chƣơng THIẾT KẾ CƠ CẤU ĐÀN HỒI 41 Chƣơng TỐI ƢU HÓA THIẾT KẾ 44 5.1 Các biến thiết kế .44 5.2 Các ràng buộc toán tối ƣu 45 5.3 Hàm mục tiêu toán tối ƣu 46 5.4 Phân tích đánh giá độ nhạy biến tối ƣu .46 5.4.1 Ảnh hƣởng biến thiết chuyển vị đầu theo trục x .50 5.4.2 Ảnh hƣởng biến thiết chuyển vị đầu theo trục y .50 5.4.3 Ảnh hƣởng biến thiết ứng suất lớn cấu 51 5.5 Tối ƣu hóa thiết kế 51 Chƣơng MÔ PHỎNG HOẠT ĐỘNG CỦA CƠ CẤU 55 6.1 Mô hoạt động cấu 55 6.2 Mô lắp ráp cài đặt cấu 57 Chƣơng KẾT LUẬN 59 7.1 Nhận xét đánh giá nghi n cứu .59 7.2 Hƣớng phát triển tƣơng lai .59 TÀI LIỆU THAM KHẢO 60 Phụ lục 63 Phụ lục 69 Học vi n: Ngô Nam Phƣơng Trang MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ Phụ lục Phụ lục Phụ lục GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG 75 76 86 Học vi n: Ngô Nam Phƣơng Trang MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG DANH MỤC H NH ẢNH Hình 1.1 Cơ cấu khuếch đại dạng cầu 13 Hình 1.2 Cơ cấu khuếch đại dạng cầu phức hợp 13 Hình 1.3 Cơ cấu cấu khuếch đai dạng khâu đối xƣng kép, khâu đối xứng khâu không đối xứng 13 Hình 1.5 Cơ cấu chạy dao đơn kép máy phay CNC sử dụng cấu đàn hồi piezoactuator 14 Hình 1.6 Cơ cấu ăn dao máy tiện sử dụng cấu đàn hồi song song 15 Hình 1.7 Cơ cấu đàn hồi chuyển động thẳng “proportion” 15 Hình 1.8 Cơ cấu đàn hồi khuếch đại dạng khâu 16 Hình 1.9 Cơ cấu ăn dao dạng bậc tự 16 Hình 1.10 Cơ cấu khuếch đại dạng đòn bẩy kép 17 Hình1.11 Cơ cấu khuếch đại dạng địn bẩy vi sai 17 Hình 1.12 Cơ cấu ăn dao cho máy tiện EMCO CONCEPT TURN 55 18 Hình 2.1 Các loại khớp truyền thống 20 Hình 2.2 Các loại khớp đàn hồi 21 Hình 2.3 Sơ đồ minh họa đặc điểm khớp lề truyền thống 21 Hình 2.4 Khớp lề đàn hồi với cấu tạo nguyên khối đồng 22 Hình 2.5 Những sản phẩm sử dụng khớp đàn hồi khí 22 Hình 2.6 Cơ cấu khâu lề dạng truyền thống dạng sử dụng khớp đàn hồi 23 Hình 2.7 Khớp Cardan dùng khớp nối truyền thống dùng khớp nối đàn hồi 23 Hình 2.8 Sản phẩm khí đƣợc cải tiến dùng khớp đàn hồi thay khớp lề truyền thống 23 Hình 2.9 Cơ cấu đàn hồi sản phẩm MEMS 23 Hình 2.10 Cơ cấu chạy dao sử dụng piezo actuator cấu đàn hồi 24 Hình 2.11: Phân loại khớp nối đàn hồi 25 Hình 2.12: Dạng mặt cắt số loại khớp nối đàn hồi dạng đơn giản 26 Hình 2.13: Các dạng khớp nối đàn hồi đơn giản 27 Hình 2.14: Hình dạng số loại khớp đàn hồi phức tạp 27 Hình 2.15: Khả ứng dụng loại khớp đàn hồi thiết kế 28 Hình 2.16: Phạm vi ứng dụng thực tế loại khớp đàn hồi 28 Hình 2.17: Mơ hình tính tốn khớp đàn hồi 29 Hình 2.18: Mơ hình khảo sát chuyển động khớp nối đàn hồi 29 Hình 2.19: Mơ hình hóa khớp đàn hồi dƣới dạng tổ hợp lị xo 30 Hình 2.20: Tiết diện khớp đàn hồi trƣờng hợp tổng quát 30 Hình 2.21: Cấu tạo khớp lề đàn hồi dạng cung tròn đối xứng 32 Hình 3.1 Cơ cấu khuếch đại dạng biến dạng ngang (bulking beam) 34 Hình 3.2 Cơ cấu khuếch đại dạng đòn bẩy 35 Hình 3.3 Cơ cấu khuếch đại dạng khâu đối xứng 36 Hình 3.4 Cơ cấu khuếch đại dạng khâu 36 Hình 3.5 Cơ cấu khuếch đại khâu lề song song 36 Hình 3.7 Cơ cấu khâu cứng 38 Học vi n: Ngô Nam Phƣơng Trang MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG K,58,X1+2*(R2+R3)+T3+X2,Y1+Y2+Y3+T1+2*R1 K,59,X1+2*(R2+R3)+T3+X2,Y1+Y2-Y4+T1-T2+2*(R1-R2) K,60,X1+2*R2+3*R3+T3+X2,Y1+Y2-Y4+T1-T2+2*(R1-R2-R3)+R3 K,61,X1+2*(R2+R3)+T3+X2,Y1+Y2-Y4+T1-T2+2*(R1-R2-R3) LARC,50,51,52,R3 LARC,51,52,50,R3 L,52,53 LARC,53,54,55,R3 LARC,54,55,53,R3 L,55,56 LARC,56,57,58,R3 LARC,57,58,56,R3 L,58,59 LARC,59,60,61,R3 LARC,60,61,59,R3 L,61,50 FLST,2,12,4 FITEM,2,54 FITEM,2,55 FITEM,2,56 FITEM,2,57 FITEM,2,58 FITEM,2,59 FITEM,2,60 FITEM,2,61 FITEM,2,62 FITEM,2,63 FITEM,2,64 FITEM,2,65 AL,P51X !IN LINE BOUND ! CREATE AREA ASBA,1,2 !BOLEAN SUBTRACT !DEFINE ELEMENT TYPE ET,1,PLANE82 KEYOPT,1,3,3 !THICNESS R,1,1 MP,EX,1,71700 MP,PRXY,1,0.33 !MATERIAL DEFINE ! MESH AREA SMRT,2 MSHAPE,0,2D MSHKEY,0 CM,_Y,AREA ASEL, , , , CM,_Y1,AREA CHKMSH,'AREA' CMSEL,S,_Y AMESH,_Y1 CMDELE,_Y Học vi n: Ngô Nam Phƣơng Trang 72 MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG CMDELE,_Y1 CMDELE,_Y2 !SOLUTION /SOLU ANTYPE,STATIC DL,4, ,ALL,0 DL,5, ,ALL,0 DL,6, ,ALL,0 DL,16, ,ALL,0 DL,17, ,ALL,0 DL,18, ,ALL,0 DL,34, ,ALL,0 DL,35, ,ALL,0 DL,36, ,ALL,0 DK,48, ,-0.1, ,0,UX, , , , , , SOLVE FINISH /POST1 !FIND UX NSORT,U,X *GET,MIN_UX,SORT,,MIN !SET ABS UX *SET,MAX_UX,ABS(MIN_UX) *SET,OBJECT,ABS(1-MAX_UX) !FIND UY NSORT,U,Y *GET,MIN_UY,SORT,,MIN !SET ABS UY *SET,MAX_UY,ABS(MIN_UY) NSORT,S,INT *GET,SMX,SORT,,MAX *SET,LI,Y2-2*(R2+R4+R3-R1) -T2 -T4 -Y4+T1 *SET,LW,2*(R1+R2+2*R3+R4+R5+L+T3)+X1+X2+X3+X4 LGWRITE,OPTIMIZE,TXT,D:\ FINISH /OPT OPANL,'OPTIMIZE','TXT','D:\' !DIFINE OPT VARIABLE OPVAR,Y1,DV,12,20,0.1 OPVAR,Y2,DV,35,50,0.1 OPVAR,Y3,DV,1,10,0.1 OPVAR,Y4,DV,1,10,0.1 OPVAR,Y5,DV,10,30,0.1 OPVAR,R1,DV,2,8,0.1 OPVAR,R2,DV,2,8,0.1 Học vi n: Ngô Nam Phƣơng Trang 73 MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG OPVAR,R3,DV,2,8,0.1 OPVAR,R4,DV,2,8,0.1 OPVAR,R5,DV,2,8,0.1 OPVAR,T1,DV,0.4,1,0.1 OPVAR,T2,DV,0.4,1,0.1 OPVAR,T3,DV,0.4,1,0.1 OPVAR,T4,DV,0.4,1,0.1 OPVAR,T5,DV,0.4,1,0.1 OPVAR,X1,DV,5,15,0.1 OPVAR,X2,DV,2,20,0.1 OPVAR,X3,DV,2,20,0.1 OPVAR,X4,DV,5,15,0.1 !MAX OUTPUT OPVAR,MIN_UX,SV,-1.001 ,-1 !STRESS LIMIT OPVAR,SMX,SV,,500, !DIMENTION LIMIT OPVAR,LW,SV,,100, OPVAR,LI,SV,2,, !OBJ FUCNTION OPVAR,MAX_UY,OBJ,,,0.0001 !OPTIMIZATION TYPE OPTYPE,FIRST ! First other method OPFRST,100,100,0.2 !RUNOPT OPEXE !PLOT DESIGN VARIABLE OPLIST,ALL ! List all design sets PLVAROPT,Y1,Y2,Y3,Y4,Y5,R1,R2,R3,R4,R5 /AXLAB,X,NUMBER OF ITERATIONS /AXLAB,Y,Y DESIGN (MM) /REPLOT /REP,FAST PARSAV,SCALAR,'SCAL_PARA','txt','D:\ OPTRUN' Học vi n: Ngô Nam Phƣơng Trang 74 MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG Phụ lục Giấy xác nhận việc đồng ý đăng báo Tạp chí Phát triển Khoa học & Công nghệ Học vi n: Ngô Nam Phƣơng Trang 75 MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG Phụ lục Bài báo Học vi n: Ngô Nam Phƣơng Trang 76 MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ Học vi n: Ngô Nam Phƣơng GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG Trang 77 MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ Học vi n: Ngô Nam Phƣơng GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG Trang 78 MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ Học vi n: Ngô Nam Phƣơng GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG Trang 79 MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ Học vi n: Ngơ Nam Phƣơng GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HỒNG Trang 80 MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ Học vi n: Ngơ Nam Phƣơng GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HỒNG Trang 81 MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ Học vi n: Ngơ Nam Phƣơng GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HỒNG Trang 82 MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ Học vi n: Ngô Nam Phƣơng GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG Trang 83 MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ Học vi n: Ngô Nam Phƣơng GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG Trang 84 MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ Học vi n: Ngô Nam Phƣơng GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG Trang 85 MSHV: 1570816 Luận văn thạc sĩ GVHD: PGS.TS PHẠM HUY HOÀNG Phụ lục PHẦN LÝ LỊCH TRÍCH NGANG Họ t n: Ngô Nam Phƣơng Ngày, tháng, năm sinh: 02/09/1983 Nơi sinh:Kon Tum Địa li n lạc: Khoa Kĩ thuật sở Trƣờng Sĩ quan không quân Cổng số Biệt Thự, Lộc Thọ, Nha Trang, Khánh Hòa QUÁ TR NH ĐÀO TẠO Đại học Bách khoa Thành Phố Hồ Chí Minh 2001-2006 Q TRÌNH CƠNG TÁC Khoa Kĩ thuật sở Trƣờng Sĩ quan không quân 2007-nay Học vi n: Ngô Nam Phƣơng Trang 86 MSHV: 1570816 ... dụng khớp đàn hồi khí 2.2 Ứng dụng cấu đàn hồi truyền động xác 2.2.1 Cơ cấu đàn hồi Cơ cấu đàn hồi đƣợc tạo thành nhiều khớp đàn hồi kết hợp lại với Cơ cấu đàn hồi có dạng đặc trƣng nhƣ cấu truyền... thành cấu đàn hồi cách thay khớp lề cấu khớp lề đàn hồi Một cấu đàn hồi sử dụng loại khớp lề đàn hồi (hình 4.1) sử dụng nhiều loại khớp đàn hồi kết hợp với (hình 4.2) b a Hình 4.1 Cơ cấu đàn hồi. .. Kỹ Thuật Cơ Khí I TÊN ĐỀ TÀI: THIẾT KẾ TỐI ƢU CƠ CẤU ĐÀN HỒI NHIỆM VỤ VÀ NỘI DUNG: Thiết kế tối ƣu cấu đàn hồi có chuyển động thẳng có độ khuếch đại lớn độ dịch chuyển micromet sử dụng cấu dịch