An optim ized su b stra te bias contributed to depressing leakage cu rren t density of SiN film by su itable plasm a etching effect.. HRTEM m easurem ent indicates th a t t[r]
Đang tải... (xem toàn văn)
THÔNG TIN TÀI LIỆU
Thông tin cơ bản
| Định dạng | |
|---|---|
| Số trang | 3 |
| Dung lượng | 0,91 MB |
Nội dung
An optim ized su b stra te bias contributed to depressing leakage cu rren t density of SiN film by su itable plasm a etching effect.. HRTEM m easurem ent indicates th a t t[r]
Ngày đăng: 25/01/2021, 01:33
TÀI LIỆU CÙNG NGƯỜI DÙNG
TÀI LIỆU LIÊN QUAN