Vật liệu và linh kiện bán dẫn mosfet

NỘI DUNG: I GIỚI THIỆU II CẤU TẠO CƠ BẢN III PHÂN LOẠI - HOẠT ĐỘNG IV CHẾ TẠO V CHÚ Ý VI ỨNG DỤNG I Giới thiệu Lược sử •1926 Julius Lilienfeld – hiệu ứng trường → Công nghệ khơng cho phép chế tạo •1947 Shockley & Brattanin & Bardeen – transistor •Trước 1960 máy tính cồng kềnh, chậm đắt → Người ta nghĩ đến việc chế tạo nhiều transistor đế bán dẫn → Độ tin cậy linh kiện •1960 D.Kahng & M.Atalla – báo cáo Mosfet •1962 IC mos gồm 16 transistor chế tạo •1963 F.Wanlass & C.Sah – đề nghị Cmos •1971 vi sử lí – M.Hoff cộng → Intet 4004, gồm 2300 Mosfet chip I Giới thiệu Tụ mos I Giới thiệu Tụ mos I Giới thiệu Transistor trường fet (field effect transistor) Là bán đẫn điều khiển loại hạt tải tham gia dẫn điện cực: nguồn (source), máng (drian), cổng (gate) → điện tác dụng lên cực cổng để điều khiển dòng qua transistor I Giới thiệu Mosfet (Metal-Oxide Semiconductor Field-Effect Transistor) Là transistor trường Ứng dụng rộng rãi II Cấu tạo II Cấu tạo III Phân loại MOSFET D-MOSFET (kênh có sẵn) Kênh p Kênh n E-MOSFET (kênh cảm ứng) Kênh p Kênh n III Phân loại D-MOSFET kênh n IV Chế tạo MOSFET Cấy iôn IV Chế tạo MOSFET Phương pháp quan khắc V Chú ý Điện áp ngưỡng  Chiều dày lớp oxide  Các loại điện tích oxide  Hiệu cơng kim loại – bán dẫn  Nồng độ pha tạp kênh V Chú ý Kim loại làm điện cực         Màng phải dẫn điện tốt Tạo tiếp xúc trở tốt Bám dính tốt với Si SiO2 Sử dụng phương pháp quang khắc Có thể hàn dây vào màng Dễ tạo màng, phủ tốt bậc thang oxide Ổn định, không phản ứng với vỏ, dây hàn Chịu dòng cao, khơng có hiệu ứng electromigration V Chú ý Kim loại làm điện cực • Khơng kim loại thõa mãn tất yêu cầu • Vàng (Au) có độ dẫn cao, chiệu ăn mòn tốt bám dính khơng tốt vào SiO2 • Nhơm (Al) đáp ứng nhiều u cầu • Mo,Pt, W khó nóng chảy tạo tiếp xúc trở V Chú ý IV Chế tạo MOSFET VI Ứng dụng MOSFET Khuếch đại tín hiệu VI Ứng dụng MOSFET Phần tử đảo (cmos) chíp VI Ứng dụng MOSFET Phần tử đảo chíp VI Ứng dụng MOSFET Bộ nhớ EPROM VI Ứng dụng MOSFET Bộ nhớ EPROM VI Ứng dụng MOSFET Bộ nhớ EEROM Tài liệu tham khảo • Linh kiện bán dẫn_Hồ Văn Sung • Linh kiện bán dẫn_Đinh Sỹ Hiền • Linh kiện điện tử_Nguyễn Viết Ngun • Cơng nghệ vi mạch_Nguyễn Đức Chiến • Vật lý bán dẫn_Phùng Hồ • Internet ... D -MOSFET kênh n III Phân loại D -MOSFET kênh p III Phân loại E -MOSFET kênh n III Phân loại E -MOSFET kênh n III Phân loại E -MOSFET kênh p III Phân loại E -MOSFET kênh p III Phân loại IV Chế tạo MOSFET. .. IV Chế tạo MOSFET VI Ứng dụng MOSFET Khuếch đại tín hiệu VI Ứng dụng MOSFET Phần tử đảo (cmos) chíp VI Ứng dụng MOSFET Phần tử đảo chíp VI Ứng dụng MOSFET Bộ nhớ EPROM VI Ứng dụng MOSFET Bộ nhớ... thiệu Mosfet (Metal-Oxide Semiconductor Field-Effect Transistor) Là transistor trường Ứng dụng rộng rãi II Cấu tạo II Cấu tạo III Phân loại MOSFET D -MOSFET (kênh có sẵn) Kênh p Kênh n E-MOSFET