CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 6.1 Mở đầu Cấu trúc vật rắn có ảnh hưởng quyết định đến nhiều tính chất vật lý và hóa học của vật rắn Về vĩ mô, cấu trúc là cấu tạo hạt, kích thước của hạt, các loại sai hỏng… Về vi mô, cấu trúc được hiểu là cách sắp xếp các nguyên tử, phân tử … cấu tạo nên vật rắn Khoảng cách giữa các nguyên tử vật rắn khoảng từ 3-5Å nên để xác định được vị trí, cách phân bố… là rất khó khăn cả sử dụng các phương pháp hiện đại Phương pháp nhiễu xa: là phương pháp gián tiếp được phát triển từ đầu thế kỷ XX Cơ sở của phương pháp này là dùng các loại sóng có bước sóng nhỏ khoảng cách giữa các nguyên tử vật rắn để kích thích cho mỗi nguyên tử bị kích thích lại trở thành một tâm phát sóng thứ cấp Sự giao thoa của các sóng thứ cấp này (tia X, tia electron, tia nơtron) tạo một hình ảnh nhiễu xạ CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Tổ hợp các sóng thứ cấp có cường độ phân bố theo các phương là khác Dựa cường độ của các sóng đó người ta có thể biết được cách sắp xếp các nguyên tử vật rắn và khoảng cách giữa chúng Phương pháp kính hiển vi: Cùng với việc sử dụng nhiễu xạ người ta tìm cách quan sát trực tiếp vật rắn bằng kính hiển vi Kính hiển vi quang học: Với ánh sáng khả kiến, kính hiển vi quang học có khả phân biệt được (độ phân giải) khoảng cách cỡ 0,3 µm Khoảng cách này là quá lớn so với khoảng cách giữa các nguyên tử vật rắn Tuy nhiên bằng các tạo sự tương phản làm phóng đại mẫu hoặc sử dụng ánh sáng có bước sóng ngắn để tăng độ phân giải, phương pháp này cũng có thể xác định được nhiều đặc điểm về cấu trúc vật rắn: kích thước, độ lệch mạng, đặc điểm biên độ hạt… CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Hiển vi điện tử truyền qua (TEM: Transmission electron microscope): Nguyên tắc của phương pháp là dùng sóng của tia eletron được tăng tốc từ trường mạnh có bước sóng khoảng 4.10-3Å nên không bị giới hạn về bước sóng kính hiển vi quang học Tuy nhiên mẫu đo phải được điều chế bằng phương pháp đặc biệt để đạt được chiều dày từ 10003000Å để tia điện tử truyền qua Hiển vi điện tử quyét (SEM: scanning electron microscope): Cách phóng đại mới dựa nguyên lý thay đổi biên độ quyét và tạo ảnh dựa vào việc thu các điện tử, các tín hiệu phát từ bề mặt mẫu SEM cho thấy nhiều loại bề mặt vật rắn với độ phóng đại đến hàng trăm nghìn lần Ngày yêu cầu về khoa học công nghệ hiện đại nhiều phương pháp vật lý mới đã đời để xác định cấu trúc vật rắn như: hiển vi tunel (STM: scanning tunneling microscope), STEM (scanning transmission electron microscope), Hiển vi lực nguyên tử (AFM: atomic force microscope), Hiển vi lực từ (MFM: magnetic force microscope) CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Các kỹ thuật bản phân tích cấu trúc vật rắn CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 6.2 Sơ lược về cấu trúc vật liệu rắn và cấu trúc tinh thể học Cấu trúc của vật liệu rắn phụ thuộc vào sự sắp xếp các nguyên tử, ion hoặc các phân tử và lực liên kết giữa chúng Vật liệu rắn có thể có cấu trúc tinh thể các nguyên tử hoặc ion sắpxếp một cách có trận tự một mẫu hình lặp lại không gian ba chiều Vật liệu rắn được sinh tự nhiên hoặc được chế tạo bởi người, có các tính chất đặc biệt về hóa học và vật lý Việc chế tạo các loại vật liệu mới được phát triển rất nhanh nhằm đáp ứng được cho nhu cầu của khoa học kỹ thuật, đó việc hiểu biết về cấu trúc và các tính chất của chúng là vô cùng quan trọng và cần thiết Trong các nhóm vật liệu thì vật liệu kim loại và vật liệu gốm là hai đối tượng nghiên cứu chủ yếu của phương pháp Rơnghen CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Vật liệu kim loại có cấu trúc tinh thể, đó các nguyên tử được sắp xếp một cách trật tự Vật liệu gốm có thể có cấu trúc tinh thể hoặc không tinh thể hoặc hỗnhợp của cả hai cấu trúc Vật liệu gốm là vật liệu vô bao gồm nguyên tố kim loại và phi kim liênkết hóa học với Theo thống kê, thì có khảng 95% vật liệu rắn là có cấu trúc tinh thể CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 6.2.1 Cấu trúc và số mạng hình học tinh thể 6.2.1.1 Mạng không gian và ô sở Các nguyên tử hoặc ion nếu được sắp xếp một cách trật tự lặp lặp lại không gian ba chiều thì chúng tạo thành vật rắn cấu trúc tinh thể vàđược gọi là vật liệu tinh thể Sự sắp xếp các nguyên tử vật rắn có thể được mô tả bằng một mạng lưới chiều mà nút mạng là các nguyên tử (hoặcion), và được gọi là ma trận điểm ba chiều vô hạn Trong tinh thể lý tưởng tập hợp các nút mạng quanh bất kỳ một nút nào đã cho cũng giống các nút mạng xung quanh Như vậy mỗi mạng không gian có thể được mô tả bởi các vị trí nguyên tử xác định một ô đơn vị (ôcơ bản) Kích thước và hình dạng của ô đơn vị có thể được biểu diễn bằng 3vectơ sở a, b, c xuất phát từ góc của ô đơn vị Chiều dài của ba vectơ này và góc giữa chúng α, β, γ được gọi là hằng số mạng CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 6.2.1.2 Mạng Bravais Các nhà tinh thể học đã đưa bảy kiểu ô đơn vị để xây dựng các mạngđiểm của tinh thể A.J.Bravais đã đưa 14 kiểu mạng tinh thể của chất rắn và kiểu ô đơnvị: CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 14 dạng ô mạng sở của tinh thể CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 6.2.1.3 10 Ảnh SEM chụp bề mặt màng mỏng ZnO ở các độ phóng đại khác nhau: (a) 5.000 lần, (b) 25.000 lần, (c) 100.000 lần và (d) 200.000 lần 107 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 6.4.7 Kính hiển vi lực nguyên tử (AFM Atomic force microscope) là một thiết bị quan sát cấu trúc vi mô bề mặt của vật rắn dựa nguyên tắc xac định lực tương tac nguyen tử giữa một đầu mũi dò nhọn với bề mặt của mẫu, có thể quan sát ở độ phân giải nanometer AFM thuộc nhóm kính hiển vi quet đầu dò hoạt động nguyên tắc quet đầu dò bề mặt Máy Nanotec Electronica S.L 108 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Nguyên lý: Bộ phận chính của AFM là một mũi nhọn được gắn một cần rung (cantilever) Mũi nhọn thường làm Si SiN va kich thước đầu mũi nhọn là một nguyên tử Khi mũi nhọn quét gần bề mặt mẫu vật, xuất hiện lực Van der Waals giữa các nguyên tử tại bề mặt mẫu và nguyên tử tại đầu mũi nhọn (lực nguyên tử) làm rung cantilever Lực này phụ thuộc vào khoảng cách giữa đầu mũi dò và bề mặt của mẫu Dao động của rung lực tương tac được ghi lại nhờ một tia laser chiếu qua bề mặt của rung, dao động của rung làm thay đổi góc lệch của tia lase va được detector ghi lại Việc ghi lại lực tương tac quá trình rung quét b ề mặt cho hình ảnh cấu trúc bề mặt của mẫu vật 109 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 6.4.8 Kính hiển vi Tunel (STM - Scaning Tunelling Microscope) và hiển vi lực nguyên tử (AFM - Atomic Force Microscope) Sau kính hiển vi Tunel đời, vấn đề quan sát thấy các nguyên tử bề mặt mới giải quyết được tương đối dễ dàng Từ phát triển phương pháp quét học một mũi dò thu nhiều loại tín hiệu sinh (lực tương tác nguyên tử, lực từ, lực điện, lực ma sát, …) để tạo ảnh phóng đại màn hình Việc quét mũi nhọn bề mặt mẫu rắn được thực Mũi nhọn hiện bằng cách dùng hiệu ứng áp điện Người ta Điện cực y làm hình trụ bằng vật liệu áp điện có ba cặp má Điện cực x điện cực ứng với x, y, z Cho điện thế vào cặp điện cực x chẳng hạn, điện thế sinh áp suất theo Điện cực z phương x (áp điện) và ống bị biến dạng theo x Với điện thế chừng vài trăm von, thay đổi chính xác đến cỡ mV, biến dạng đó có thể làm cho cho mũi nhọn gắn vào ống di chuyển hàng chục μm với độ chính xác cỡ Å 110 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Nhờ vi tính thực hiện các chương trình điều Mũi nhọn khiển điện thế tác dụng vào các cực x, y, z, có thể điều chỉnh mũi nhọn quét theo x, y và dịch chuyển theo z với độ chính xác nhiều lần nhỏ khoảng cách giữa các nguyên tử vật rắn d Mẫu V I Dòng tunel giữa mũi nhọn và mẫu Ở kính hiển vi Tunel STM, vật dẫn cần nghiên cứu được đặt dưới một mũi nhọn bằng kim loại Giữa mũi nhọn và mẫu có một thế thiên áp V Khi mũi nhọn tiến gần bề mặt mẫu đến một khoảng cách nhất định (vào cỡ nanomet) có một dòng điện đáng kể xuyên qua được khe hở d giữa mũi nhọn và mẫu Đó chính là dòng điện Tunel Dòng điện này được tính theo công thức I = V.e-Cd với C - hệ số tỷ lệ 111 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Một mặt dòng điện này rất phụ thuộc vào mật độ trạng thái electron của vật dẫn ở vùng phía dưới mũi nhọn Chỗ gần nguyên tử và chỗ xa nguyên tử có mật độ trạng thái khác Vì vậy nếu cho mũi nhọn quét theo x và y (hình 6.19) mẫu và dùng dòng tunel sinh giữa mũi nhọn và mẫu để biến điệu độ sáng ở tia electron quét màn hình máy tính, ta có được hình ảnh sáng tối phản ánh độ biến thiên mật độ trạng thái electron mẫu Độ phóng đại ở bằng tỷ số giữa biên độ quét màn hình và biên độ quét mẫu, có thể đến hàng triệu lần Do dùng áp điện nên có thể quét mẫu rất tinh vi Ảnh phóng đại màn hình cho ta suy luận được cấu trúc electron của mẫu 112 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Sơ đồ nguyên lý hoat động của hiển vi Tunel x Máy vi tính y z Màn hình 1- Bộ phận quét áp điện; 2- mũi nhọn; 3- mẫu; 4- Bộ khuyếch đại; 5- mạch phản hồi 113 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Mặt khác dòng điện tunel phụ thuộc vào khoảng cách d giữa mũi nhọn và mẫu Vì thế điều khiển mũi nhọn quét theo x và y nếu dùng dòng tunel tạo mạch phản hồi điều khiển mũi nhọn dịch chuyển theo z cho dòng tunel không đổi thì thực tế là mũi nhọn lên xuống cao thấp mẫu, thậm chí theo độ cao thấp ở chỗ có nguyên tử và chỗ không có nguyên tử bề mặt mẫu Như vậy là thấy được vị trí từng nguyên tử bề mặt mẫu Kính hiển vi tunel cho phép nghiên cứu những mẫu dẫn điện Tiếp theo kính hiển vi Tunel, năm 1986 xuất hiện kính hiển vi lực nguyên tử AFM Ở kế thừa cách quét đầu dò bằng áp điện ở hiển vi tunel dùng lực hút giữa nguyên tử ở mũi nhọn và nguyên tử ở bề mặt mẫu để tạo ảnh 114 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Trước hết hãy tính lực hút giữa các nguyên tử vật rắn Nguyên tử vật rắn bị các nguyên tử xung quanh tác dụng, nên nó ở vị trí cân bằng Nguyên tử bị dao động nhiệt với tần số cỡ ω ~ 1013/s Phương trình vi phân mô tả dao động của nguyên tử có khối lượng m là: d 2x m = − Kx dt K - hằng số đàn hồi của lực kéo nguyên tử về vị trí cân bằng Xét dao động có dạng x = A cosωt, giải phương trình vi phân ta có K = mω2 K = 10-25.1026 ~ 10N/m 115 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Hằng số đàn hồi này khá lớn, vào cỡ hằng số đàn hồi của lá kim loại mỏng kích thước 4x1x0,01 mm3 Thực tế người ta làm lá đàn hồi bằng cách cho một lớp silic nitrua mọc lên đế Si và dùng kỹ thuật quang khắc để có lò xo lá (hình 6.20) Ở mút lò xo lá người ta cho tinh thể Si3N4 mọc lên hình tháp, có đầu mút xem có độc một nguyên tử Khi đưa mũi nhọn hình tháp đó đến gần nguyên tử ở bề mặt, lực tương tác nguyên tử làm lá đàn hồi bị cong Cách đo độ cong được trình bày hình 6.20 Tia laze bị phản xạ ở mút lò xo lá, bị dịch chuyển lò xo lá uốn cong, lúc đó hai nửa của tế bào quang điện được chiếu sáng lệch Bộ khuyếch đại vi sai cho dòng điện lớn hay nhỏ tùy theo lò xo lá bị uốn cong nhiều hay ít tức là đo được lực tương tác mạnh hay yếu giữa các nguyên tử 116 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Cách đo lực tác dụng giữa mũi nhọn và bề mặt mẫu Mẫu 1- Bộ phận quét áp điện; 2- Lò xo có gắn mũi nhọn 3- Máy phát chùm laze; 4- Hai nửa tế bào quang điện nối với khuyếch đại vi sai 117 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Cho mũi nhọn quét theo chiều x, y và dùng dòng điện từ bộ khuyếch đại vi sai làm mạch phản hồi điều khiển dịch chuyển mũi nhọn lên, xuống theo z cho dòng điện ở bộ khuyếch đại vi sai không đổi Vậy mũi nhọn lên hay xuống theo z ở mỗi điểm x, y chính là độ cao thấp mặt mẫu tại tọa độ x, y Bằng cách đó có thể theo dõi vị trí từng nguyên tử bề mặt mẫu, tạo ảnh cho thấy cách sắp xếp các nguyên tử bề mặt Người ta cũng có thể cho mũi nhọn rung với tần số cộng hưởng nhất định Tùy theo lực tương tác giữa mũi nhọn và mẫu mạnh hay yếu, tần số cộng hưởng bị dịch chuyển tăng cao hay giảm thấp Theo dõi được độ biến thiên tần số cộng hưởng là theo dõi được lực tương tác với mũi nhọn và sử dụng để tạo ảnh Cách rung này rất thuận tiện vì mẫu ít bị mũi nhọn cào hỏng và có thể tìm hiểu cấu trúc môi trường lỏng, tránh được ảnh hưởng có hại của sức căng bề mặt 118 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Một số ảnh sử dụng hiên vi điện tử Men bia 119 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Virus HIV 120 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Virus cúm A H1N1 121 [...]... tương ứng Số âm đượcviết bằng một gạch ngang ở trên [hkl] 14 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 15 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Quan hệ giữa khoảng cách mặt mạng và chỉ số Miller trong các hệ tinh thê 16 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 17 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT... tinh thể cắt trên trục tinh thể x, y, z của ba cạnh không song song của ô cơ bản lập phương Cạnh lập phương của ô cơ bản là đơn vi đo chiều dài và vi trí cắt của mặt tinh thể được đo theo thành phần của chiều dài đơn vi này 13 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN b Để xác định chỉ số Miller cần phải theo trình tự sau - Chọn một mặt phẳng...CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 11 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 12 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 6. 2.1.4 Chỉ số Miller Để xác định mặt phẳng tinh thể trong cấu trúc lập phương, thường... lượng E tỷ lệ với tần số ν của nó: E = hν Mặt khác tần số ν liên quan tới bước sóng λ theo công thức sau: λ = hc/E Trong đó: h -hằng số Plank, h = 6, 6 26. 10-34.J.s c - tốc độ ánh sáng c = 2,998 10-8m/s 28 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN Để mô tả hiện tượng nhiễu xạ người ta đưa ra ba thuật ngữ sau: - Tán xạ (Scattering): là quá... 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 6. 3.2.1 Một số tính chất của tia Rơnghen Khả năng xuyên thấu: tia Rơnghen có khả năng xuyên qua một số tấm chắn sáng thông thường, làm đen phim ảnh Khả năng gây hiện tượng phát quang (phổ huỳnh quanh tia X) Gây sự ion hóa của chất khí 30 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 6. 3.2.2... và vật liệu điện tử 6. 2.1.8 Đa tinh thể Trong thực tế hầu như chỉ gặp vật liệu đa tinh thể gồm rất nhiều tinh thể nhỏ (cỡ 1m) được gọi là hạt có cùng cấu trúc mạng nhưng với định hướng khác nhau mang tính ngẫu nhiên và liên kết với nhau bằng biên giới hạt 22 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 23 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT... đến sựnhiễu xạ Mỗi cấu trúc tinh thể có hai mạng liên hợp với nó, mạng tinh thể và mạngđảo và ảnh nhiễu xạ của tinh thể là một bức tranh mạng đảo của tinh thể 19 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 6. 2.1 .6 Sai lệch mạng tinh thể Trong thực tế tinh thể không hoàn chỉnh mà thường chứa các dạng khuyết tật khác nhau dẫn đến tính chất cơ học và vật lý... nơtron.Vacancy không cân bằng có xu hướng tạo thành các đám vacancy Đôi khi nguyên tử trong tinh thể chiếm một vi trí ngoài nút giữa các nguyên tử xung quanh tạo ra khuyết tật ngoài nút hay nguyên tử xen kẽ 21 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 6. 2.1.7 Đơn tinh thể Đơn tinh thể là vật thể có mạng đồng nhất và định hướng không đổi trong toàn... phụ sóng điện từ 31 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN I = I 0 e − µρ Trong đó: I - cường độ tia đi ra Io - cường độ tia ban đầu μ - hệ số hấp thụ khối μ = Z.λ ρ - tỷ trọng của vật liệu rắn - chiều dày lớp mẫu Z - Số thứ tự nguyên tử 32 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN 6. 3.2.3 Định luật Vulf -Bragg... đặt trong ống thủy tinh bằng thạch anh có chân không cao (10 -6 –10-7 mmHg) Catot K thường được làm bằng dây Vonfram và phát ra chùm điện tử khi được đốt nóng Anot là một đĩa cũng được làm bằng Vonfram hay Platin Người ta đặt vào anot một điện áp rất cao (hàng trăm kV) Wilhelm Röntgen 1845-1923 24 CHƯƠNG 6: CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VẬT RẮN