Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống
1
/ 20 trang
THÔNG TIN TÀI LIỆU
Thông tin cơ bản
Định dạng
Số trang
20
Dung lượng
5,42 MB
Nội dung
Mục Lục Stylus Profiler Cấu tạo Nguyên tắc hoạt động Một số ứng dụng GVHD : TS. Lê Vũ Tuấn Hùng SVTH : Nguyễn Duy Khánh Địa chỉ bạn đã tải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Địa chỉ bạn đã tải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Nơi bạn có thể thảo luận: http://myyagy.com/mientay/ Nơi bạn có thể thảo luận: http://myyagy.com/mientay/ Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html Dự án dịch học liệu mở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Dự án dịch học liệu mở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com [...]... cách điểm cao nhất và thấp nhất o RZ : Độ cao trung bình của 5 đỉnh cao nhất và sâu nhất 5 1 5 R Z = ∑ zP + ∑ z V ÷ 5 i=1 i i=1 i Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30µm – 2mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 µm/s → Số điểm quét = n × thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg 100 µm – 50 0 µm Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Thông số •... cương PG-C = 11,4 GPa và PNi-P = 15 Gpa lớn hơn độ cứng của vật liệu Phá huỷ Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30µm – 30mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 µm/s → Số điểm quét = n × thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30µm – 30mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 µm/s → Số điểm... Nguyên tắc hoạt động Bộ biến đổi vi sai tuyến tính (LVDT) Stylus Profiler Một số ứng dụng Stylus Profiler Cấu tạo Nguyên tắc hoạt động Một số ứng dụng Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30µm – 30mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 µm/s → Số điểm quét = n × thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg L RP RV Z 1 R A = ∫ z dx L0 RT L o RA : Độ gồ ghề trung... Lực quét : load 1 – 15mg Bước lấy mẫu dài không chi tiết Bước lấy mẫu ngắn nhiễu Lmax = 2mm o L ≤ 80µm : 0.04 – 0.2 µm o 80 ≤ L ≤ 400 µm : 0.2µm – 1.0 µm o 400 ≤ L ≤ 2000 µm : 1.0µm – 5. 0 µm Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30µm – 30mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 µm/s → Số điểm quét = n × thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg • Thuỷ tinh – Ceramic... Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 µm/s → Số điểm quét = n × thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg Bước lấy mẫu dài không chi tiết Bước lấy mẫu ngắn nhiễu Lmax = 2mm o L ≤ 80µm : 0.04 – 0.2 µm o 80 ≤ L ≤ 400 µm : 0.2µm – 1.0 µm o 400 ≤ L ≤ 2000 µm : 1.0µm – 5. 0 µm Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30µm – 30mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 µm/s → Số điểm... load 1 – 15mg Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30µm – 30mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 µm/s → Số điểm quét = n × thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg Đường ITO Thủy tinh p, u ke Wa ! z! pl Thanks for your . trung bình của 5 đỉnh cao nhất và sâu nhất L R V R P R T ∫ A R L 0 1 = z dx L ÷ ∑ ∑ Z R i i 5 5 P V i=1 i=1 1 = z + z 5 Z Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Thông số. mặt mẫu - tip • Thuỷ tinh – Ceramic • Ni-P • R = 0,1 µm, W = 1mg E = 83 GPa : Thuỷ tinh – Ceramic 130 GPa : Ni-P 1140 GPa : Mũi dò kim cương P G-C = 11,4 GPa và P Ni-P = 15 Gpa . • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 µm/s → Số điểm quét = n × thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg 100 µm – 50 0 µm Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài