Dụng cụ quang phổ và phương pháp quang phổ phương pháp stylus 4

QUANG PH NGUYÊN T Ổ Ử VÀ NG D NGỨ Ụ Thầy : TS. Lê Vũ Tuấn Hùng Đ a ch b n đã t i:ị ỉ ạ ả http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Đ a ch b n đã t i:ị ỉ ạ ả http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html N i b n có th th o lu n:ơ ạ ể ả ậ http://myyagy.com/mientay/ N i b n có th th o lu n:ơ ạ ể ả ậ http://myyagy.com/mientay/ D ch tài li u tr c tuy n mi n phíị ệ ự ế ễ : http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html D ch tài li u tr c tuy n mi n phíị ệ ự ế ễ : http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html D án d ch h c li u mự ị ọ ệ ở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html D án d ch h c li u mự ị ọ ệ ở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Liên h v i ng i qu n lí trang webệ ớ ườ ả : Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com Liên h v i ng i qu n lí trang webệ ớ ườ ả : Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com [...]... speed ( + low force + noise) ? High speed ?? (5 - 10µm/sec) ideal? PHƯƠNG PHÁP STYLUS Stylus force     1mg – 15mg (< 1mg) Loại màng, pp chế tạo? Low force  ? High force ? Stylus tip? PHƯƠNG PHÁP STYLUS Stylus tip  Diamond tip  stylus R= 0.2 25µm (12.5µm)  Phù hợp loại màng và lực tip (115mg) + vận tốc quét PHƯƠNG PHÁP STYLUS Parameters       Maximum sample thickness 31.75 mm Vertical...PHƯƠNG PHÁP STYLUS x(t) Sóng mang Lớn hơn 10 lần t Cùng tần số Amplitude modulator V(t) t lọc Tín hiệu ra Chỉnh lưu PHƯƠNG PHÁP STYLUS ĐO ĐỘ DÀY MÀNG MỎNG PHƯƠNG PHÁP STYLUS Scan length  30µm to 30 mm  Tuỳ mẫu, tuỳ yêu cầu  100µm - 500µm thực tế??? PHƯƠNG PHÁP STYLUS Scan speed       Khoảng cách quét - lực quét Duration:... capability 1 mm ?? Color video camera with manual zoom optics 70-280X PHƯƠNG PHÁP STYLUS Analytical Functions - Roughness          Maxdev (Maximum Deviation) MaxRa (Maximum Ra) Ra (Average Roughness) Rp(Maximum Peak) Rq (RMS) Rt (Maximum peak to valley) Rv (Maximum valley) Rz_din (Ten points height average) Skew (skewness) PHƯƠNG PHÁP STYLUS Analytical Functions - Waviness       Wa (Arithmetic... (Maximum peak to valley of waviness) Wv (Maximum vallley of waviness) PHƯƠNG PHÁP STYLUS Analytical Functions - Height         ASH (Delta Average step height) Avg Ht (Average Height) HSC (High spot count) Pc (peak count) Peak (Maximum peak) P_V (Maximum peak to valley) TIR (Total Indicated reading) Valley (maximum valley) PHƯƠNG PHÁP STYLUS Analytical Functions - Geometry        Area (Area... valley) PHƯƠNG PHÁP STYLUS Analytical Functions - Geometry        Area (Area under the curve) Perim (Perimeter) Radius Slop Sm (Mean spacing between peaks) Tp (Bearing ratio) Volume PHƯƠNG PHÁP STYLUS ưu và nhược điểm . 10 lần PH NG PHÁP STYLUS Ơ PH NG PHÁP STYLUS Ơ ĐO Đ DÀY MÀNG M NGỘ Ỏ PH NG PHÁP STYLUS Ơ Scan length  30µm to 30 mm  Tuỳ mẫu, tuỳ yêu cầu  100µm - 500µm thực tế??? PH NG PHÁP STYLUS Ơ Scan. speed ?? (5 - 10µm/sec) ideal? PH NG PHÁP STYLUS Ơ Stylus force  1mg – 15mg (< 1mg)  Loại màng, pp chế tạo?  Low force  ? High force ?  Stylus tip? stylus PH NG PHÁP STYLUS Ơ Stylus tip  Diamond. PH NG PHÁP STYLUS Ơ Thực hiện: Trần Minh Đạo Phạm Kim Ngọc PH NG PHÁP STYLUS Ơ I. Cấu tạo II. Nguyên lý hoạt động III. Ứng dụng pp stylus đo độ dày màng mỏng: a) Loại màng b) Stylus tip và force