(LUẬN văn THẠC sĩ) sensor cảm biến dòng chảy chất lỏng

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ NGUYỄN TIẾN ĐẠT SENSOR CẢM BIẾN DÒNG CHẢY CHẤT LỎNG LUẬN VĂN THẠC SỸ NGÀNH KỸ THUẬT ĐIỆN, ĐIỆN TỬ VÀ VIỄN THÔNG Hà Nội – 2015 TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ NGUYỄN TIẾN ĐẠT SENSOR CẢM BIẾN DÒNG CHẢY CHẤT LỎNG Ngành: Kỹ thuật Điện, Điện tử Viễn thông Chuyên ngành: Kỹ thuật Điện tử Mã số: 60520203 LUẬN VĂN THẠC SỸ NGÀNH KỸ THUẬT ĐIỆN, ĐIỆN TỬ VÀ VIỄN THÔNG NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: PGS TS Chử Đức Trình Hà Nội – 2015 TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com Lời cam đoan Tơi xin cam đoan cơng trình nghiên cứu Các số liệu, kết nêu luận văn trung thực chưa công bố cơng trình khác, công bố liệt kê danh sách tài liệu tham khảo Tác giả Luận văn ký ghi rõ họ tên:……………………………………………… TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com Lời cám ơn Luận văn tốt nghiệp cao học hồn thành trường Đại học Cơng nghệ - Đại học Quốc gia Hà Nội Có luận văn tốt nghiệp này, tác giả xin bày tỏ lòng biết ơn chân thành sâu sắc tới đến trường Đại học Công nghệ - Đại học Quốc gia Hà Nội, phòng đào tạo sau đại học, đặc biệt PGS.TS Chử Đức Trình trực tiếp hướng dẫn, dìu dắt, giúp đỡ tác giả với dẫn khoa học quý giá suốt trình triển khai, nghiên cứu hoàn thành đề tài "Sensor cảm biến dòng chảy chất lỏng" Xin chân thành cảm ơn Thầy Cô giáo - Các nhà khoa học trực tiếp giảng dạy truyền đạt kiến thức khoa học chuyên ngành Điện tử - Viễn thông cho thân tác giả năm tháng qua Xin gửi tới Bộ môn Vi điện tử Vi hệ thống, đặc biệt PGS.TS Trần Đức Tân, Nghiên cứu sinh Bùi Thu Hằng, Học viên Bùi Đức Tùng toàn thể cán bộ, nghiên cứu sinh học viên Bộ môn Vi điện tử Vi hệ thống lời cảm tạ sâu sắc tạo điều kiện thuận lợi giúp tác giả thực nghiên cứu hỗ trợ tài liệu nghiên cứu cần thiết liên quan tới đề tài tốt nghiệp Xin ghi nhận cơng sức đóng góp quý báu nhiệt tình bạn học viên lớp Cao học Kỹ thuậ Điện tử K19-ĐTVT đóng góp ý kiến giúp đỡ tác giả triển khai hồn thành mơn chương trình học học Có thể khẳng định thành cơng luận văn này, trước hết thuộc công lao tập thể, nhà trường, quan xã hội Đặc biệt quan tâm động viên khuyến khích thơng cảm sâu sắc gia đình Nhân tác giả xin bày tỏ lòng biết ơn sâu đậm Một lần tác giả xin chân thành cảm ơn đơn vị cá nhân hết lòng quan tâm tới nghiệp đào tạo đội ngũ cán ngành Điện tử - Viễn thông Tác giả mong nhận đóng góp, phê bình q Thầy Cô, nhà khoa học, đọc giả bạn đồng nghiệp Xin chân thành cảm ơn! TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long MỤC LỤC Lời cam đoan Lời cám ơn Danh mục ký hiệu chữ viết tắt Danh mục bảng Danh mục hình vẽ, đồ thị MỞ ĐẦU 11 Chương TỔNG QUAN 12 Chương DỊNG CHẢY KÍCH THƯỚC NHỎ VÀ CÁC LOẠI CẢM BIẾN 17 2.1 Dịng chảy kích thước nhỏ 17 2.1.1 Cấu tạo chung 17 2.1.2 Trạng thái ban đầu 17 2.1.3 Điều kiện biên 18 2.1.4 Kiến thức liên quan 20 2.1.5 Dịng chảy kích thước nhỏ thực tế 20 2.1.6 Công nghệ áp điện 21 2.2 Hai loại cảm biến dùng đo tính chất dịng chất lỏng 22 2.2.1 Cảm biến điện trở 22 2.2.2 Cảm biến dùng sóng bề mặt 25 Chương CẤU TRÚC VÀ MƠ HÌNH CẢM BIẾN SĨNG BỀ MẶT 26 3.1 Sóng bề mặt Rayleigh 26 3.2 Nguyên lý sóng Rayleigh 27 3.3 Cấu trúc cảm biến 28 3.3.1 Thiết kế cám biến R-SAW 28 3.3.2 Vật liệu thông số liên quan 30 3.4 Mơ hình mơ Comsol [19][20] 32 Chương KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN 38 4.1 So sánh điểm tương ứng hai kênh truyền 38 (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long 4.2 Cảm biến loại chất lỏng khác 41 4.3 Độ dịch chuyển điểm bề mặt cảm biến 45 4.4 Cảm biến với chất lỏng có vận tốc dịng chảy khác 50 Chương KẾT LUẬN 52 DANH MỤC CƠNG TRÌNH KHOA HỌC CỦA TÁC GIẢ LIÊN QUAN ĐẾN LUẬN VĂN 53 TÀI LIỆU THAM KHẢO 54 PHỤ LỤC 56 (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long Danh mục ký hiệu chữ viết tắt CCF Cross-Correlation Function – Hàm tương quan chéo FPW Flexural Plate Wave - Sóng chịu uốn IDT InterDigital Transducer – Bộ chuyển đổi điện - MEMS Microelectromechanical Systems – Hệ thống vi điện tử PZD Piezoelectric Device – Vật liệu áp điện R-SAW Rayleigh Surface Acoustic Wave – Sóng bề mặt Rayleigh SAW Surface Acoustic Wave – Sóng bề mặt SH-APM Shear Horizontal - Acoustic Plate Mode – Chế độ cắt ngang TDE Time Delay Estimation – Ước lượng thời gian trễ TSM Thickness-Shear Mode – Chế độ cắt dày (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long Danh mục bảng Bảng 3-1 Tính chất vật lý chất lỏng 31 (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long Danh mục hình vẽ, đồ thị Hình 1-1 Cấu trúc đầu phun mực 13 Hình 1-2 Đối xứng trục 2D đầu phun mực 14 Hình 1-3 Vị trí giọt mực thời điểm 15 Hình 2-1 Phân bố ban đầu đầu phun mực Màu đen phần chứa mực, màu trắng khơng khí 18 Hình 2-2 Hàm nhảy bậc f(t) = H(t – δ1,δ2) 19 Hình 2-3 Giọt mực tạo thành nhờ công nghệ nhiệt 21 Hình 2-4 Giọt mực tạo thành nhờ công nghệ áp điện 21 Hình 2-5 - Thiết kế chung cảm biến dùng điện trở 22 Hình 2-6 – Bố trí điện trở cảm biến 23 Hình 2-7 – Mạch cầu điện trở Wheatstone 23 Hình 2-8 Cấu trúc đầu phun mực có gắn cảm biến 25 Hình 3-1 (a) Cấu trúc cảm biến SAW cho chất lỏng (b) Sóng SAW lan truyền qua chất lỏng 27 Hình 3-2 Cấu trúc cảm biến R-SAW 29 Hình 3-3 Thơng số thiết kế kênh kích thước giếng chất lỏng 30 Hình 3-4 Lựa chọn không gian mô chiều 32 Hình 3-5- Thêm mơi trường vật lý 33 Hình 3-6 – Lựa chọn kiểu tính tốn 34 Hình 3-7 Các thơng số vận tốc 34 Hình 3-8 Xây dựng khối hình học cho mơ hình 35 Hình 3-9 Cài đặt vật liệu cho mơ hình 35 Hình 3-10 Cài đặt tính chất vật lý 36 Hình 3-11 Chuẩn bị tính tốn 37 Hình 4-1 Dịch chuyển toàn phần hai kênh 38 (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long 10 Hình 4-2 (a) Vị trí điểm X, Y (b) Đồ thị biểu diễn độ dịch chuyển điểm chọn 39 Hình 4-3 Độ dịch chuyển điểm kênh 40 Hình 4-4 Độ dịch chuyển điểm sau giếng chất lỏng ứng với loại chất lỏng khác 41 Hình 4-5 Hiệu điện thu điện cực hai kênh, kênh có nước 42 Hình 4-6 Hiệu điện thu điện cực hai kênh, kênh có nước trộn với glycerol 43 Hình 4-7 Hiệu điện thu điện cực hai kênh, kênh có Brom 44 Hình 4-8 Độ dịch chuyển điểm đứng sau giếng chất lỏng 45 Hình 4-9 Độ dịch chuyển theo trục Z điểm đứng sau giếng chất lỏng 46 Hình 4-10 Đáp ứng tần số tần số trung tâm: (a) Độ khuếc đại (b) Độ dịch pha 47 Hình 4-11 Độ suy hao cảm biến SAW với mức khối lượng riêng khác chất lỏng: 1, 3, 6, 12 g/cm3 48 Hình 4-12 Trễ thời gian kênh cảm biến có giếng chất lỏng so với kênh tham chiếu thay đổi theo khối lượng riêng chất lỏng từ đến 13 g/cm3 49 Hình 4-13 Độ dịch chuyển theo trục Z điểm khảo sát cảm biến với vận tốc dòng chảy khác 50 Hình 4-14 Độ suy hao đế AlN thay đổi vận tốc dòng chảy 51 (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long 42 Hình 4-5 Hiệu điện thu điện cực hai kênh, kênh có nước Hiệu điện thu điện cực IDT trường hợp biểu diễn theo thời gian hình 4-5, 4-6, 4-7 (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long 43 Hình 4-6 Hiệu điện thu điện cực hai kênh, kênh có nước trộn với glycerol (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long 44 Hình 4-7 Hiệu điện thu điện cực hai kênh, kênh có Brom Để xác định giá trị trễ điện áp đầu ra, phương pháp ước lượng thời gian trễ (TDE) thường sử dụng phương sai chéo [17] Nó chuẩn hóa gốc tự động hiệp phương sai dựa ước tính thời gian trễ mà hàm tương quan chéo (CCF) ước tính đạt giá trị tối đa [18] Vì vậy, so với kênh 1, chậm trễ thời gian 0,09 ns tính tốn kênh chứa nước; 1,08 ns cho kênh chứa nước trộn với glycerol W / G; kênh chứa brơm 2,16 ns So sánh hiệu điện lối độ dịch chuyển kênh chứa nước nước trộn lẫn glycerol, ta thấy sóng R-SAW bị ảnh hưởng bới độ nhớt chất lỏng mật độ nước nước trộn lẫn glycerol Vì độ nhớt chất lỏng bỏ qua phương trình truyền sóng Trái lại, sóng R-SAW bị ảnh hưởng nhiều mật độ chất lỏng (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long 45 4.3 Độ dịch chuyển điểm bề mặt cảm biến Hình 4-8 Độ dịch chuyển điểm đứng sau giếng chất lỏng (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long 46 Hình 4-9 Độ dịch chuyển theo trục Z điểm đứng sau giếng chất lỏng Tiếp tục tiến hành mơ hình hóa hệ thống cảm biến Hệ thống mô thời gian 200 na-nô giây, bước nhảy giữ nguyên 0,09 na-nơ giây Hình 4-8 mơ tả lại đồ thị biểu diễn độ dịch chuyển điểm chọn kênh tương ứng, kênh chọn làm tham chiếu khơng có giếng chất lỏng, kênh cịn lại cho loại chất lỏng với mật độ khác chảy qua Hình 4-9 biểu diễn dịch chuyển điểm tương tự xét trục Z vng góc với bề mặt cảm biến Lúc này, coi sóng bề mặt chất lỏng sóng Rayleigh thay đổi qua độ dày cảm biến liên quan đến thay đổi đế Khi sóng SAW tương tác với chất lỏng, tạo thay đổi áp suất bề mặt tiếp xúc hai vật liệu Vì thế, tương tác hai vật liệu theo trục Z lý dẫn đến suy giảm lượng sóng truyền bề mặt Tuy nhiên, với giếng có đường kính 10 µm đến 40µm, hệ thống cảm biến phát thay đổi nhỏ Hình 4-10 cho thấy biên độ tỷ lệ tần số trung tâm kênh tham chiếu cao chuyển pha thấp Trong phạm vi thay đổi mật độ chất lỏng từ g/cm3 đến 12 g/cm3, tỷ lệ biên độ lớn thu 22,9 mật độ g/cm3 độ dịch pha lớn 1,3 mật độ g/cm3 (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long 47 Hình 4-10 Đáp ứng tần số tần số trung tâm: (a) Độ khuếc đại (b) Độ dịch pha (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long 48 Để so sánh dễ hơn, đồ thị biểu diễn suy hao hai kênh cảm biến SAW hình 4-11 Kết phụ thuộc vào khối lượng riêng chất lỏng giếng Điểm cực đại tương ứng với khối lượng riêng chất lỏng 3,12 g/cm3 Trong điểm cực tiểu tương ứng với khối lượng riêng chất lỏng g/cm3 Hình 4-12 khác trễ thời gian bắt đầu xuất với dòng chất lỏng có khối lượng riêng g/cm3 Hình 4-11 Độ suy hao cảm biến SAW với mức khối lượng riêng khác chất lỏng: 1, 3, 6, 12 g/cm3 (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long 49 Hình 4-12 Trễ thời gian kênh cảm biến có giếng chất lỏng so với kênh tham chiếu thay đổi theo khối lượng riêng chất lỏng từ đến 13 g/cm3 (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long 50 4.4 Cảm biến với chất lỏng có vận tốc dòng chảy khác Khi chất lỏng di chuyển qua giếng, phân tán lượng khiến sóng Rayleigh bị suy hao Vận tốc dòng chất lỏng tăng lên, lượng sóng truyền qua Điều thể hình 4-13 Hình 4-14 cho thấy biểu đồ thể suy hao sóng bề mặt khối cảm biến phụ thuộc vào vận tốc dòng chất lỏng chảy giếng Độ suy hao đồng biến với vận tốc dòng chất lỏng Vận tốc dòng chất lỏng tăng, độ suy hao lớn Hình 4-13 Độ dịch chuyển theo trục Z điểm khảo sát cảm biến với vận tốc dòng chảy khác (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long 51 Hình 4-14 Độ suy hao đế AlN thay đổi vận tốc dịng chảy Trong thời gian tới, mơ hình mơ với tính hiệu cao hơn, độ xác cải thiện, giảm nhiễu sai số giúp việc nghiên cứu phân tích số liệu trở nên thuận lợi hơn, góp phần tìm hiểu kỹ lưỡng cảm biến SAW (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long 52 Chương KẾT LUẬN Luận văn trình bày kết tác giả thu trình nghiên cứu thiết kế hoạt động hệ thống cảm biến đầu phun mực Thông qua việc tích hợp cảm biến vào đầu phun mực, tính chất thông số chất lỏng đo đạc Những thơng số hữu ích giúp tạo hệ thống điều khiển kín đầu phun mực, từ trình tạo giọt mực phản hồi sau giọt mực tạo để điều chỉnh lại cho giọt mực Một vài phương án cảm biến đưa ra, phương án sử dụng Sóng đàn hồi bề mặt Rayleigh (Rayleigh Surface Acoustic Waves) mang lại kết tích cực Mơ hình mơ cảm biến dùng Sóng đàn hồi bề mặt Rayleigh xây dựng để khảo sát hoạt động cảm biến dùng Sóng đàn hồi bề mặt Rayleigh với chất lỏng Các kết thu cảm biến dùng Sóng đàn hồi bề mặt Rayleigh với chất lỏng tác động đầu vào kích thích từ dịng điện xoay chiều đặc điểm dòng chất lỏng nằm hai lối vào – cảm biến Nghiên cứu đóng góp ý nghĩa to lớn cho việc thiết kế sản xuất cảm biến dùng Sóng đàn hồi bề mặt Rayleigh thực tế (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long 53 DANH MỤC CƠNG TRÌNH KHOA HỌC CỦA TÁC GIẢ LIÊN QUAN ĐẾN LUẬN VĂN  Thu-Hang Bui, Dat Nguyen Tien, Tung Bui Duc, and Trinh Chu Duc, “3-D Finite Element Modeling of SAW sensing system for liquids” , The 2012 IEEE/ASME International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics July 11-14, 2012, Kaohsiung, Taiwan  Tung Bui Duc, Thu-Hang Bui, Dat Nguyen Tien, and Trinh Chu Duc, “R-SAW Analysis on Single-Crystal AlN Substrate for Liquid Sensors”, The second International Conference on Engineering Mechanics and Automation (ICEMA2) Hanoi, August 16-17, 2012  Bui Thu Hang, Bui Duc Tung, Nguyen Tien Dat, Chu Duc Trinh, “Attenuation Coefficient for Surface Acoustic Waves in Fluid Region” , Vietnam Journal of Mechanics, VAST, Vol 34, No (2012), pp – (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long 54 TÀI LIỆU THAM KHẢO [1] J Kondoh, Y Okiyama, S Mikuni and Y Matsui, “Development of SH-SAW sensing system for liquid”, IEEE, 1-4244-0647-1, 2007 [2] D S Ballantine, R M White, S J Martin, A J Ricco and E T Zellers, “Acoustic wave sensors”, Academic Press, 1997 [3] M I Rocha-Gaso, C March-Iborra, A Montoya-Baides and A Armau-Vices, “Surface generated acoustic wave biosensors for the detection of pathogens: A review”, Sensors 2009, 9, 5740-5769 [4] S Shiokawa, Y Matsui and T Moriizumi, “Experimental study on liquid streaming by SAW”, Jpn J Appl Phys.28, Suppl 28-1, 126-128, 1989 [5] J J Campell and W R Jones, “A method for estimating optimal crystal cuts and propagation directions for excitation of piezoelectric substrate waves”, IEEE Trans on Sonics and Ultrasonics, vol SU-15, No 4, 1968 [6] S Shiokawa, Y Matsui and T Ueda, “Liquid streaming and droplet formation caused by leaky Rayleigh waves”, IEEE Ultrasonics Symposium – 643, 1989 [7] N G Suraji, “Progation of plate acoustic waves in contact with fluid medium”, Master dissertation, Faculty of the Graduate School, Marquette University, 2009 [8] Y Jiashi, “An introduction to the theory of piezoelectricity”, Dept Engineering Mechanics, University of Nebraska-Lincoln, USA, eBook ISBN: 0-387-23546-9, http://www.springeronline.com, 2005 [9] S Shikawa and J Kondo, “Surface acoustic wave sensor for liquid-phase application”, IEEE Ultrasonics Symposium–445, 0-7803-5722, 1999 [10] W Richard Smith, H M Gerard, J H Collins and T M Reeder, “Analysis of Interdigital surface acoustic wave transducers by use of an equivalent circuit model”, IEEE Tran on Microwave theory and Techniques, vol MIT-17, No 11, 1969 [11] J G Gualtiei, J A Kosinski and A Ballato, “Piezoelectric materials for acoustic wave applications”, IEEE Tran on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency control, vol 41, No 1, 1994 [12] K K Wong, “Lithium Niobate”, No 28, INSPEC, 2002 [13] G Bu, D Ciplys and M S Shur, “Leaky surface acoustic waves in single-crystal AlN substrate”, International Journal of High Speed Electronics and Systems, Vol 14, No 3837-846, 2004 [14] J.C Andle and J.F Vetelino, “Acoustic Wave Biosensors”, Proceedings IEEE Ultrasonics Symposium, pp 451-460, 1995 [15] B E Poling, J M Prausnitz and J P O’connell, “The properties of gases and liquids”, McGRAW-HILL, DOI: 10.1036/0070116822 (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long 55 [16] J W Gardner, et al, “Microsensors MEMS and Smart Devices”, 307-325, John Wiley & sons, Inc New York, 2002 [17] J Semmlow, “Signals and systems for bioengineers”, Elsevier Inc ISBN: 9780-12-384982-3, http://www.elsevierdirect.com, 2nd Edition, 2012 [18] K Shin and J K Hammond, “Fundamentals of signal processing for sound and vibration engineers”, John Wiley & Sons Ltd, ISBN-13 978-0470-51188-6, 2008 [19] COMSOL Multiphysics Reference Guide, Ver 3.5a, 2008 [20] COMSOL Multiphysics Matlab interface Guide, Ver 3.5a, 2008 [21] J.-T Yeh, “A VOF-FEM Coupled Inkjet Simulation,” Proc ASME FEDSM’01, New Orleans, Louisiana, 2001 [22] E Olsson and G Kreiss, “A Conservative Level Set Method for Two Phase Flow,” J Comput Phys., vol 210, pp 225–246, 2005 [23] P Yue, J Feng, C Liu and J Shen, “A Diffuse-Interface Method for Simulating Two-Phase Flows of Complex Fluids,” J Fluid Mech., vol 515, pp 293–317, 2004 (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long (LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long(LUAN.van.THAC.si).sensor.cam.bien.dong.chay.chat.long