Xác định tính chất quang học và bề dày của một số loại vật liệu màng mỏng có kích thước vài chục đến vài trăm nanomet bằng phuơng pháp phổ phân cực

SỞ KHOA HỌC VÀ CƠNG NGHỆ TP HỒ CHÍ MINH THÀNH ĐỒN TP HỒ CHÍ MINH CHƯƠNG TRÌNH VƯỜN ƯƠM SÁNG TẠO KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ TRẺ * BÁO CÁO NGHIỆM THU (Đã chỉnh sửa theo góp ý Hội đồng nghiệm thu ngày 23 tháng năm 2011) XÁC ĐỊNH TÍNH CHẤT QUANG HỌC VÀ BỀ DÀY CỦA MỘT SỐ LOẠI VẬT LIỆU MÀNG MỎNG CĨ KÍCH THƯỚC VÀI CHỤC ĐẾN VÀI TRĂM NANOMET BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHỔ PHÂN CỰC Chủ nhiệm đề tài: NGUYỄN ĐĂNG KHOA Cơ quan chủ trì: TRUNG TÂM PHÁT TRIỂN KHOA HỌC VÀ CƠNG NGHỆ TRẺ TP Hồ Chí Minh, tháng 11 năm 2011 SỞ KHOA HỌC VÀ CƠNG NGHỆ TP HỒ CHÍ MINH THÀNH ĐỒN TP HỒ CHÍ MINH CHƯƠNG TRÌNH VƯỜN ƯƠM SÁNG TẠO KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ TRẺ * BÁO CÁO NGHIỆM THU (Đã chỉnh sửa theo góp ý Hội đồng nghiệm thu ngày 23 tháng năm 2011) XÁC ĐỊNH TÍNH CHẤT QUANG VÀ BỀ DÀY CỦA MỘT SỐ LOẠI VẬT LIỆU MÀNG MỎNG CĨ KÍCH THƯỚC VÀI CHỤC ĐẾN VÀI TRĂM NANOMET BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHỔ PHÂN CỰC Thủ trưởng Cơ quan chủ trì đề tài (Họ tên, chữ ký, đóng dấu) Chủ nhiệm đề tài Nguyễn Đăng Khoa Giám đốc Sở Khoa học Công nghệ Chủ tịch Hội đồng xét duyệt II XÁC NHẬN CHỈNH SỬA BÁO CÁO NGHIỆM THU (Theo góp ý Hội đồng nghiệm thu ngày 23/09/2011) Tên đề tài: “Xác định tính chất quang học bề dày số loại vật liệu màng mỏng có kích thước vài chục đến vài trăm nanomet phương pháp phổ phân cực” Chủ nhiệm đề tài: Nguyễn Đăng Khoa Cơ quan chủ trì đề tài: Trung tâm Phát triển Khoa học Cơng nghệ Trẻ TT Góp ý Hội đồng Chỉnh sửa chủ nhiệm đề tài Công thức toán chưa thống Đã chỉnh sửa Thiếu bảng tốn kinh phí Đã bổ sung Trình bày nghiệm thu Bổ sung báo theo đề cương Đã trình bày lại Đã bổ sung CƠ QUAN CHỦ TRÌ Giám đốc CHỦ NHIỆM ĐỀ TÀI Nguyễn Đăng Khoa PHẢN BIỆN TS Lý Anh Tú PHẢN BIỆN CHỦ TỊCH HỘI ĐỒNG TS Nguyễn Thị Phương Phong PGS.TS Trần Hoàng Hải III BÁO CÁO NGHIỆM THU Tên đề tài: XÁC ĐỊNH TÍNH CHẤT QUANG HỌC VÀ BỀ DÀY CỦA MỘT SỐ LOẠI VẬT LIỆU MÀNG MỎNG CÓ KÍCH THƯỚC VÀI CHỤC ĐẾN VÀI TRĂM NANOMET BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHỔ PHÂN CỰC Chủ nhiệm đề tài: Họ tên: NGUYỄN ĐĂNG KHOA Năm sinh: 1978 Nam/Nữ: NAM Học vị: CỬ NHÂN Chuyên ngành: VẬT LÝ CHẤT RẮN Năm đạt học vị: 2000 Nơi công tác: Bộ môn Vật lý Chất rắn, Khoa vật lý, Trường ĐHKHTN Tp.HCM Địa quan: 227 Nguyễn Văn Cừ, Q.5, Tp.HCM Điện thoại quan: 8304091 Fax 8350096 Địa nhà riêng: 2/22 ĐỖ NHUẬN, P SƠN KỲ, Q TÂN PHÚ, TP HCM Điện thoại nhà riêng: 8161915, ĐTDĐ: 0958883331, E-mail: ndkhoa@phys.hcmuns.edu.vn Cơ quan chủ trì: TRUNG TÂM PHÁT TRIỂN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ TRẺ Điện thoại: 8233 363 8230 780 - Fax: 8244 705 E-mail: khoahoctre@gmail.com Địa chỉ: Số Phạm Ngọc Thạch, P Bến Nghé, Q1, Tp Hồ Chí Minh Số tài khoản: 946.90.01.00036 Kho bạc Nhà nước Q.1 – Tp Hồ Chí Minh Mã số thuế: 0301 744 926 Thời gian thực đề tài: 12 tháng (Từ tháng 12/2008 đến tháng 12/2009) Kinh phí duyệt: 80.000.000 đồng Kinh phí cấp: 49.000.000 đơng IV Mục tiêu: - Xác định tính chất quang học theo bước sóng ánh sáng vật liệu màng mỏng: ZnO, TiN, Ag - Xác định bề dày mẫu màng mỏng ZnO, TiN, Ag có kích thước khoảng vài chục đến vài trăm nanomet - Kết thông số hàm tán sắc sử dụng cho loại vật liệu ZnO, TiN, Ag đo đạc đề tài thông số tham khảo cho đề tài có nghiên cứu tính chất quang loại vật liệu tương tự Nội dung: Phương pháp phân cực: Tìm hiểu lý thuyết phương pháp phân cực: ánh sáng phân cực, số quang học, hệ thức Kramer-Kronig, hàm tán sắc, lý thuyết mơi trường hiệu dụng, mơ hình làm khớp liệu… Thực nghiệm: Đo đạc số liệu thực nghiệm: tiến hành đo phổ phân cực mẫu màng mỏng TiN, Ag, ZnO hệ ellipsometer điều biến pha UVISEL - Phân tích liệu: bước quan trọng đề tài Ở bước nhóm nghiên cứu tiến hành xây dựng mơ hình tái lại mẫu thật với hàm tán sắc bề dày tương ứng Sử dụng lý thuyết môi trường hiệu dụng để giải vấn đề giao diện vật liệu vật liệu với môi trường Tiến hành vẽ phổ lý thuyết từ mơ hình vừa xây dựng Cuối tiến hành so sánh phổ lý thuyết phổ đo thực nghiệm, từ rút kết số quang học bề dày mẫu Quá trình tìm kiếm mơ hình lý thuyết cho phù hợp với thực tế phức tạp phải thực khoảng thời gian dài, thu thông số phù hợp trình xác định số quang học cho mẫu sau rút ngắn nhiều - Sử dụng kết số quang học, bề dày màng để so sánh với phương pháp đo khác phổ truyền qua, stylus để kiểm tra độ xác - Tiến hành so sánh kết thu với tài liệu khác Kết thông số quang học vật liệu chế tạo màng thu từ đề tài xem số liệu tham khảo cho mẫu màng khác có chất liệu Việc giúp cho q trình phân tích mẫu sau đơn giản nhiều Do thông số lý thuyết có số liệu tham khảo sẵn nên việc làm khớp với phổ thực - V nghiệm diễn nhanh (vài chục phút) so với trình tìm kiếm thơng số ban đầu, lúc chưa có thơng số chuẩn (thời gian để tìm kiếm vài tuần có khơng tìm được, phải xây dựng lại mơ hình) Cơng việc dự kiến Tìm hiểu phương pháp phổ phân cực Thời gian dự kiến Từ 12/2008 đến 3/2009 Từ 3/2009 Thu thập mẫu tiến hành đo đạc Công việc thực Đúng hạn Đúng hạn đến 5/2009 Phân tích liệu, so sánh với kết khác Trễ hạn: Từ 12/2009-10/2010 Gặp nhiều khó khăn q trình xác định thơng số hàm tán sắc Đã giải xong vào tháng 10/2010 Từ 5/2009 đến 12/2009 Sản phẩm đề tài TT Tên sản phẩm Yêu cầu khoa học dự kiến đạt Quy trình đo đạc xử lý mẫu đơn lớp TiN, Ag ZnO phủ đế thủy tinh hệ đo ellipsometer Hồn thiện quy trình đo đạc xử lý số liệu hệ đo ellipsometer: thơng số hệ đo, q trình đo thu nhận liệu, xây dựng mơ hình xử lý số liệu để rút thông tin mẫu màng mỏng đơn lớp TiN, Ag ZnO phủ đế thủy tinh Bảng số liệu màng mỏng ZnO, Ag TiN Bảng số liệu số quang học theo bước sóng (n(λ), k(λ)) màng mỏng TiN, Ag ZnO tương ứng với điều kiện chế tạo Các thông số hàm tán sắc vật liệu TiN, Ag ZnO dạng màng mỏng TT Nơi công bố Tên báo Investigation of zinc oxide thin film by spectroscopic ellipsometry Khảo sát màng TiN phương pháp phổ phân cực Investigation of ag thin film by spectroscopic ellipsometry VI VNU Journal of Science, Mathematics - Physics 2008 Hội nghị Khoa học lần thứ Trường ĐH Khoa học Tự nhiên, 2008 Hội nghị Khoa học lần thứ Trường ĐH Khoa học Tự nhiên, 2010 Giới thiệu đề tài Đề tài tìm hiểu tổng quát phương pháp phổ phân cực Tiến hành đo thực nghiệm số mẫu TiN, Ag ZnO; sau tiến hành phân tích số liệu để tìm số quang học chiết suất, hệ số tắt bề dày màng Kết thông số quang học vật liệu thu từ đề tài số liệu tham khảo cho mẫu màng tương ứng nghiên cứu sau Introduction In this study, we present the results gained by analyzing spectroscopic ellipsometry of TiN, Ag, AnO thin films The spectroscopic ellipsometry provides a reasonably accurate method for the determination of optical constants of thin films The results of the optical constants and dispersions in this study is reference data for the thin films, that same materials VII MỤC LỤC Trang Giới thiệu đề tài VII Mục lục VIII Danh sách hình IX Bảng tốn XII A TỔNG QUAN B NỘI DUNG NGHIÊN CỨU Phần Tìm hiểu phương pháp phổ phân cực .7 Chương Tính chất quang màng mỏng I Hằng số quang học II Heä thức Kramer-Kronig .10 III Hàm tán sắc 12 Chương Ellipsometry 33 I Ánh sáng phân cực 33 II Phương pháp ellipsometry .36 III Các loại ellipsometer .39 IV Xử lý số liệu 41 Phần Đo đạc phân tích liệu 50 Chương Hệ ellipsometer UVISEL 50 I Giới thiệu hệ ellipsometry điều biến phân cực .50 II Heä ellipsometer UVISEL 51 Chương Đo đạc phân tích kết .66 I Tiến trình xử lý số lieäu 66 II Cấu hình đo ghi nhận liệu thu 67 III Đo phổ, xử lý số liệu kết thu nhận 68 C KẾT LUẬN VÀ ĐỀ NGHỊ 89 PHỤ LỤC .90 TÀI LIỆU THAM KHẢO 94 VIII DANH SÁCH HÌNH SỐ 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 TÊN HÌNH ẢNH Hình 1: Ánh sáng truyền từ môi trường có n=1 sang môi trường có n=2 Hình 2: Sự phản xạ khúc xạ ánh sáng Hình 3: a) Hằng số điện môi phức theo lượng photon tinh thể silicon (b) Chiết suất phức theo lượng photon tinh thể silicon Hình 4:Mô hình cổ điển điện tử liên kết nguyên tử… Hình 5:Dao động dipole cổ điển… Hình 6:Mô hình cổ điển phân tử có cực… Hình 7:Phần thực ảo hàm điện môi phức… Hình 8: Mô hình chiết suất hấp thụ theo tần số Hình 9: Ellip phân cực Hình 10: Sự thay đổi trạng thái phân cực phản xạ Hình 11: Cường độ độ phân cực Hình 12:Mô hình biểu diễn môi trường hiệu dụng Hình 13: Các trạng thái phân cực ellip Hình 14: Sơ đồ khối hệ UVISEL Hình 15: Bên hộp chứa đèn Hình 16: Hộp chứa đèn thiết bị phụ trợ Hình 17: Ngăn chứa đèn Hình 18: Kính phân tích Hình 19: Kính phân tích Hình 20: Bộ gá mẫu Hình 21: Bộ giác kế Hình 22: Ống chuẩn trực Hình 23 : Sơ đồ điều biến pha Hình 24: Cụm kính phân tích – điều biến Hình 25: Bên cụm kính phân tích – điều biến Hình 26: Bên cụm kính phân tích – điều biến Hình 27: Bộ đơn sắc M200 Hình 28: Bộ đơn sắc HR460 IX TRANG 11 15 17 19 26 27 34 37 38 45 51 52 53 54 54 55 55 56 57 58 59 60 61 61 62 63 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 Hình 29: Bộ điều khiển Hình 30: Biểu đồ tiến trình xử lý số liệu eliipsometry Hình 31: Phổ ellipsometry màng TiN L1 Hình 32: Phổ ellipsometry màng TiN L2 Hình 33: Phổ ellipsometry màng TiN L3 Hình 34: Dạng hàm điện môi cổ điển Hình 35: Dạng hàm điện môi Forouhi Bloomer Hình 36: Mô hình màng TiN Hình 37: So sánh phổ thực nghiệm phổ tính toán màng TiN L1 từ mô hình Hình 38: Mô hình TiN Hình 39: So sánh phổ thực nghiệm phổ tính toán màng TiN L1 từ mô hình Hình 40: Hằng số quang học màng TiN L1 thu từ mô hình Hình 41: Hằng số quang học đế thủy tinh màng TiN L1 thu từ mô hình Hình 42: So sánh phổ thực nghiệm phổ tính toán màng TiN L2 từ mô hình Hình 43: Hằng số quang học màng TiN L2 thu từ mô hình Hình 44: Hằng số quang học đế thủy tinh màng TiN L2 thu từ mô hình Hình 45: So sánh phổ thực nghiệm phổ tính toán màng TiN L3 từ mô hình Hình 46: Hằng số quang học màng TiN L3 thu từ mô hình Hình 47: Hằng số quang học đế thủy tinh màng TiN L3 thu từ mô hình Hình 48: Hằng số quang màng TiN đo VASE từ 142nm đến 1700nm [11] Hình 49: Phổ ellipsometry màng ZnO ký hiệu Z1 Hình 50: Mô hình ZnO Hình 51: So sánh phổ thực nghiệm phổ tính toán màng ZnO ký hiệu Z1 từ mô hình Hình 52: Hằng số quang học màng ZnO thu từ mô hình X 64 66 69 69 70 70 71 72 73 74 75 76 76 77 78 78 79 80 80 81 82 83 83 84 So sánh với số quang thu tài liệu ta thấy dạng đường n(λ) k(λ) thu từ mô hình phù hợp n k nm Hình 48: Hằng số quang màng TiN đo VASE từ 142nm đến 1700nm [11] III.2 Mẫu ZnO: III.2.1 Thông tin mẫu đo: Chúng đo màng ZnO có ký hiệu Z1 Màng ZnO phủ đế thủy tinh có bề dày dự đoán khoảng 160nm Điều kiện chế tạo màng: Màng ZnO phủ đế thủy tinh phương pháp phún xạ magnetron DC, điều kiện làm việc: khoảng cách từ nguồn đến mẫu 7cm đặt vuông góc với nguồn magnetron, hiệu 750V, áp suất khí riêng phần (P Oxy ) 5.10-3mmHg với tốc độ phủ màng 5-6 nm/phút Bia ZnO:Al chế tạo từ hai bột Al O ZnO Bột sau trộn pha với lượng nhỏ PVA Hỗn hợp cho vào khuôn nén lại Bia tạo được, thiêu kết nhiệt độ 1500 0C 81 III.2.2 Xử lý số liệu kết thu nhận được: Phổ đo mẫu màng ZnO ký hiệu Z1 phủ đế thủy tinh có dạng hình 49 Hình 49: Phổ ellipsometry màng ZnO ký hiệu Z1 Hàm tán sắc sử dụng cho màng ZnO hàm Forouhi Bloomer thiết lập, n k tính sau: n (ω) = n ∞ + B(ω − ω j ) + C (ω − ω ) j + Γj2  f j (ω − ωg )2 , ω > ωg  k (ω) =  (ω − ω j )2 + Γj2  0, ω ≤ ωg  với : B= fj Γj (Γ − (ω j − ωg ) j ) C = 2f i Γ j (ω j – ωg ) Trong đó: n ∞ , ωj , ωg , Γ j , f i bề dày đế thông số làm khớp 82 Mô hình xây dựng để làm khớp màng Z1 biểu diễn hình 50 Kết sau làm khớp sau: Màng 3: dày 20nm; 50% ZnO + 50% không khí Màng 2: dày 130nm; 1000000nm (1mm) Màng Thủy tinh Nền không khí Hình 50: Mô hình ZnO χ = 0.612053 Bề dày đế thủy tinh (nm): 988176.300 ü 128.011 Is thực nghiệm Is tính toán Ic tính toán Ic thực nghiệm Hình 51: So sánh phổ thực nghiệm phổ tính toán màng ZnO ký hiệu Z1 từ mô hình n∞: 1.0417660 ü 0.5995250 ωg : 9.0087170 ü 3.7986790 fj: 0.0390711 ü 0.0120204 ωj : 60.8634700 ü 19.3779100 83 Γj: 3.4553500 ü 1.6503450 Bề dày màng ZnO (nm): 129.134 ü 2.595 n∞: 1.9423390 ü 0.0599094 ωg : 3.1091740 ü 0.3248602 fj: 0.3686567 ü 0.1492076 ωj : 3.7667970 ü 0.4369768 Γj: 1.1118000 ü 0.2964487 Bề dày màng ZnO không khí (nm): 17.347 ü 1.038 Tỷ lệ ZnO màng (%): 50.86 ü 9.71 Hằng số quang học màng ZnO thu từ mô hình sau làm n Hình 52: k Hằng số quang học màng ZnO thu từ mô hình khớp có dạng hình 52 84 Hằng số quang học đế thủy tinh thu từ mô hình sau n Hình 53: k Hằng số quang học đế thủy tinh màng ZnO thu từ mô hình làm khớp có dạng hình 53 So sánh với số quang thu tài liệu ta thấy dạng đường n(λ) k(λ) thu từ mô hình phù hợp Bước sóng Hình 54: Hằng số quang màng ZnO tinh khiết [12] 85 III.3 Mẫu Ag: III.3.1 Thông tin mẫu đo: Chúng tơi đo màng Ag có ký hiệu A1 Màng Ag phủ đế thủy tinh có bề dày dự đoán dựa theo thời gian phủ khoảng 25nm Điều kiện chế tạo màng: màng Ag chế tạo phương pháp phún xạ phản ứng magnetron dc đế thủy tinh, áp suất làm việc hệ chân không 10-3torr; bia làm vật liệu Ag, độ tinh khiết 99.999%, đường kính bia inches Khí làm việc khí Argon Dịng phún xạ 0,15A; 300V Khoảng cách bia đến đế 5cm III.3.2 Xử lý số liệu kết thu nhận được: Dạng phổ ghi nhận mẫu màng Ag A1 phủ đế thủy tinh có dạng hình 55 IS thực nghiệm IC thực nghiệm Hình 55: Phổ ellipsometry màng Ag Hàm tán sắc sử dụng cho màng Ag mơ hình hàm cổ điển có dạng sau: ε = ε∞ + ω 2p (3) - ω + iΓ D ω Trong đó: ε ∞ : số điện môi tần số cao; Γ D : thừa số tắt dần; 86 ω p : tần số plasma; Chúng tơi xây dựng mơ hình có dạng hình 56, bao gồm màng Ag có bề dày 25 nm, phủ đế thủy tinh Các thông số làm khớp bao gồm ε ∞ , ωp , Γ D , bề dày màng Ag Maøng 2: daøy 25nm; Ag 1000000nm (1mm) Màng Thủy tinh Nền không khí Hình 56: Mô hình Ag Kết sau làm khớp sau: χ2 = 0.780597 Bề dày màng Ag (nm): 29.356 ü 2.091 Äì = 2.8705440 ü 0.1339045 ×p = 8.3690630 ü 0.2416246 ¢d = 0.0568293 ü 0.0039582 Hằng số quang học màng Ag thu từ mô hình sau làm khớp có dạng hình 57 So sánh với số quang thu tài liệu ta thấy dạng IS thực nghiệm IS tính tốn IC thực nghiệm IC tính tốn Hình 57: So sánh phổ thực nghiệm phổ tính tốn màng Ag A1 từ mơ hình đường n(λ) k(λ) thu từ mô hình phù hợp 87 n k Hình 58: Hằng số quang màng Ag thu từ mơ hình n k Hình 59: Hằng số quang màng Ag từ 142nm đến 1400nm [14] 88 C Kết luận đề nghị: Đề tài nhìn chung thực yêu cầu đặt ban đầu, là: - Xác định chiết suất, hệ số tắt theo bước sóng ánh sáng vật liệu màng mỏng: ZnO, TiN, Ag - Xác định bề dày mẫu màng mỏng ZnO, TiN, Ag có kích thước khoảng vài chục đến vài trăm nanomet - Xác định thông số hàm tán sắc sử dụng cho loại vật liệu ZnO, TiN, Ag Đề tài đạt yêu cầu đạt ban đầu, trình làm việc phát sinh vấn đề cần tiếp tục giải Đó xác định tính chất quang học bề dày vật liệu màng đơn lớp khác, đặc biệt mẫu màng đa lớp Đây thông tin cần thiết cho nhóm nghiên cứu vật liệu màng mỏng Để giải vấn đề nhóm nghiên cứu cần hỗ trợ thêm thời gian nguồn kinh phí định 89 Phụ lục Hằng số quang màng TiN L3 thu từ mô hình: Wavelength 400.00 425.00 450.00 475.00 500.00 525.00 550.00 575.00 600.00 625.00 650.00 675.00 700.00 725.00 750.00 775.00 800.00 825.00 850.00 875.00 900.00 925.00 950.00 975.00 1000.00 1025.00 1050.00 1075.00 1100.00 1125.00 1150.00 1175.00 1200.00 1225.00 1250.00 1275.00 1300.00 1325.00 1350.00 1375.00 1400.00 n k 1.844634 1.643215 1.465973 1.333065 1.246653 1.198435 1.178423 1.178649 1.193520 1.219236 1.253207 1.293633 1.339231 1.389065 1.442432 1.498794 1.557727 1.618888 1.681999 1.746828 1.813176 1.880873 1.949772 2.019741 2.090664 2.162437 2.234966 2.308165 2.381954 2.456264 2.531027 2.606181 2.681670 2.757441 2.833445 2.909638 2.985975 3.062418 3.138930 3.215477 3.292026 1.342597 1.426583 1.589785 1.802202 2.035924 2.272993 2.504941 2.728751 2.943856 3.150635 3.349761 3.541945 3.727838 3.908016 4.082967 4.253109 4.418798 4.580338 4.737989 4.891979 5.042503 5.189736 5.333833 5.474931 5.613155 5.748619 5.881426 6.011671 6.139444 6.264825 6.387895 6.508723 6.627381 6.743932 6.858440 6.970964 7.081561 7.190285 7.297190 7.402325 7.505740 90 Hằng số quang đế thủy tinh thu từ mô hình: Wavelength 400.00 425.00 450.00 475.00 500.00 525.00 550.00 575.00 600.00 625.00 650.00 675.00 700.00 725.00 750.00 775.00 800.00 825.00 850.00 875.00 900.00 925.00 950.00 975.00 1000.00 1025.00 1050.00 1075.00 1100.00 1125.00 1150.00 1175.00 1200.00 1225.00 1250.00 1275.00 1300.00 1325.00 1350.00 1375.00 1400.00 n 1.567424 1.565769 1.564307 1.563006 1.561840 1.560790 1.559838 1.558973 1.558182 1.557457 1.556789 1.556172 1.555601 1.555070 1.554576 1.554114 1.553682 1.553277 1.552896 1.552537 1.552199 1.551880 1.551577 1.551291 1.551019 1.550761 1.550515 1.550281 1.550058 1.549844 1.549641 1.549446 1.549259 1.549080 1.548909 1.548744 1.548586 1.548433 1.548287 1.548146 1.548009 91 k 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 Hằng số quang màng ZnO Z1 thu từ mô hình: Wavelength 400.00 425.00 450.00 475.00 500.00 525.00 550.00 575.00 600.00 625.00 650.00 675.00 700.00 725.00 750.00 775.00 800.00 825.00 850.00 875.00 900.00 925.00 950.00 975.00 1000.00 1025.00 1050.00 1075.00 1100.00 1125.00 1150.00 1175.00 1200.00 1225.00 1250.00 1275.00 1300.00 1325.00 1350.00 1375.00 1400.00 n 2.157310 2.102072 2.061581 2.031953 2.010008 1.993469 1.980772 1.970850 1.962967 1.956609 1.951409 1.947104 1.943501 1.940454 1.937853 1.935616 1.933676 1.931983 1.930496 1.929182 1.928015 1.926973 1.926039 1.925198 1.924438 1.923748 1.923121 1.922547 1.922022 1.921539 1.921094 1.920684 1.920304 1.919951 1.919623 1.919318 1.919033 1.918766 1.918517 1.918282 1.918062 92 k 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 0.000000 Hằng số quang màng Ag A1 thu từ mô hình: Wavelength 400.00 425.00 450.00 475.00 500.00 525.00 550.00 575.00 600.00 625.00 650.00 675.00 700.00 725.00 750.00 775.00 800.00 825.00 850.00 875.00 900.00 925.00 950.00 975.00 1000.00 1025.00 1050.00 1075.00 1100.00 1125.00 1150.00 1175.00 1200.00 1225.00 1250.00 1275.00 1300.00 1325.00 1350.00 1375.00 1400.00 n 0.038300 0.039700 0.041841 0.044482 0.047504 0.050841 0.054453 0.058317 0.062414 0.066734 0.071267 0.076009 0.080953 0.086098 0.091439 0.096976 0.102705 0.108625 0.114736 0.121037 0.127526 0.134203 0.141067 0.148118 0.155355 0.162778 0.170386 0.178179 0.186157 0.194320 0.202667 0.211198 0.219913 0.228812 0.237894 0.247159 0.256608 0.266239 0.276054 0.286050 0.296230 93 k 1.584108 1.832981 2.064403 2.283680 2.494013 2.697493 2.895561 3.089258 3.279354 3.466441 3.650979 3.833335 4.013803 4.192624 4.370001 4.546099 4.721059 4.895002 5.068031 5.240234 5.411687 5.582459 5.752608 5.922185 6.091237 6.259803 6.427922 6.595623 6.762937 6.929891 7.096508 7.262807 7.428811 7.594535 7.759995 7.925207 8.090184 8.254937 8.419479 8.583819 8.747968 TÀI LIỆU THAM KHẢO [1] Edited by Harland G Tompkins (2005), Handbook of ellipsometry, William Andrew, Inc, USA [2] Mark Fox (2001), Optical Properties of Solids, Oxford University Press, Great Britain [3] Edited by J Singh (2006), Optical Properties of Condensed Matter and Applications, John Wiley & Sons, Great Britain [4] Cameliu Constantin Himcinschi (2002), Characterisation of Si–Si bonded wafers and low-k silica xerogel films by means of optical spectroscopies, Master in Physics, Chemnitz University of Technology, Deutsch [5] Fujiwara, Hiroyuki (2007) Spectroscopic ellipsometry : principles and applications, John Wiley & Sons Ltd, Great Britain [6] Harland G Tompkins, William A McGahan (1999), Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry A User’s Guide (A Wiley-Interscience Publication) [7] R.M.A Azzam and N.M Bashara (1999), Ellipsometry and Polarized Light (North Holland Press, Amsterdam, Fourth Impression) [8] O.S Heavens (1991), Optical Properties of Thin Solid Films (Dover Publication, Inc, New York) [9] B Johs, J.A Woollam, C.M Herzinger, J Hilfiker, R Synowicki, and C.L Bungay (1999) Overview of VASE, Part I: Basic Theory and Typical Applications; Overview of VASE, Part II: Advanced Applications (SPIE Proc CR72 29) [10] G.E Jellison (1998) Thin Solid Films 313-314 (1998) p 33-39 94 [11] J.N Hilfiker et al (2000), Optical characterization in the vacuum ultraviolet with Variable Angle Spectroscopic Ellipsometry: 157 nm and below, SPIE, vol 2998 (2000), pp 390-398 [12] Ceùline Eypert et al - LIMHP – Paris 13 University Spectroscopic Ellipsometry study of ZnO thin films Spectroscopic Ellipsometers Application Notes – Horiba JobinYvon [13] Forouhi and Bloomer (1986) Physical Review B Vol 34, No 10 (1986) p7018-7026 [14] E.D Palik, Handbook of optical constants of solids, 1985 95