iệ k0a ọ ô ệ iệ am iệ ậ lý ứ dụ Tiế ị k0a ọ 18 0à quố iệ , ội á0 á0 ổ kế k0a ọ kỹ uậ Đ ài ấ : iê ứu ứ dụ iế ị ô ệ iê ƚiÕп ƚг0пǥ ®0 l−êпǥ, ɣ ƚÕ (AFM/STM) M∙ sè k̟ເ 01-10 ĐT: Tầ uâ 0ài n yờ n yờ gu gu L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n cz ệp n ghi th c 12 t n ọ n tố i h vă ăn đạ ận v ăn Lu uận n v L uậ L Tài liệu đợ uẩ ị ê sở kế iệ Đ ài ấ , mà số K01-10, uộ ì "iê ứu K0a ọ i ô ệ ô i u ô", Mà số: K̟ເ.01 6836 07/5/2008 Һµ Пéi, 9-2004 L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n gu yê n -ơ I: Mở đầu Eгг0г! Һɣρeгliпk̟ гefeгeпເe п0ƚ alid 1.2 ữ âu ỏi ầ iải đá 1.2.1 SΡM lµ ǥ× ?: 1.2.2 ì sa0 ầ dù đế SΡM ?: 1.2.3 Lị sử i: 1.2.4 ì sa0 lại iê ເøu ເҺÕ ƚ¹0 SΡM: 1.2.4.1 Lý d0 пҺu ເÇu: 1.2.4.2 Lý d0 k̟iпҺ ƚÕ: 1.2.4.3 Lý d0 uê mô: 1.2.4.4 Lý d0 ρҺ¸ƚ ƚгiόп: 1.3 Пéi duпǥ ®ὸ ài ải iệ 1.3.1 Пéi duпǥ ƚãm ƚ¾ƚ: 1.3.2 Пéi duпǥ пǥҺiªп ເøu ເơ ƚҺό 1.3.2.1 Kối điệ-u độ ô 1.3.2.2 Kối dị u ®ÞпҺ ѵÞ пaп0 1.3.2.3 K̟Һèi §iƯп ƚư Aпal0ǥ-Diǥiƚal ên uy g 1.3.2.4 ΡҺÇп mὸm cz iệp ỏi n h th ạ0 ợ ỗ ợ ứ dụ đà0 g 1.3.2.5 ƚгiόп øпǥ dôпǥ, c 12 t n ọ n tố i h v n 1.4 iế ậ v n iê ứu n n v Lu uà 1.5 ố ụ ội du ì á0 á0 10 L uận L - ເҺ−¬пǥ ii- 11 ổ qua ữ sở k0a Һ0ເ ເña sρm 11 2.1 Kí i i ữ ii kỹ uậ l0ại i i iệ ại 11 2.2 uê lý i i ó qua sá ầ sá mẫu ọi ắ i i ầ (ea field mi0s0) 12 2.3 ເ¬ ế 0ạ độ iê i điệ qué đầu dß 14 ( SΡM: Sເaппiпǥ Ρг0ьe Miເг0sເ0ρɣ) 14 2.4 ữ së ѵËƚ lý k̟ü ƚҺƚ ເđa Һiόп ѵi qƚ dßпǥ Tuel 16 2.5 iệu ứ điệ øпǥ dôпǥ ເҺ0 SΡM 19 2.5.1.1 ii iệu óm ắ điệ 19 2.5.1.2 ậ liệu điệ 20 2.5.1.2.1 iế đà ồi ậ ắ: 20 2.5.1.2.2 Ti điệ 21 2.5.1.2.3 Ǥèm feг0 ®iÖп 22 2.5.1.2.4 ệ số đặ 22 2.5.1.2.5 ữ iế đổi - điệ 25 L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n gu yê n 2.5.1.3 ứ dụ kĩ uậ điệ SM 28 -ເҺ−¬пǥ III- 31 Һiόп i qué đầu dò-ấu iế kế i 31 3.1 T×пҺ Һ×пҺ kế iê ứu 0ài 31 3.1.1 Ǥiίi ƚҺiÖu ເҺuпǥ 31 3.1.2 Mô ả óm ƚ¾ƚ ѵὸ k̟ü ƚҺuËƚ SΡM 32 3.2 ế ạ0 i i qué l uê ƚư (AFM) ѵίi ເ«пǥ пǥҺƯ хư lý ƚÝп ҺiƯu sè (DSΡ) ƚг0пǥ m«i ƚг−êпǥ liпuх 35 3.2.1 Tóm ắ ữ đặ đim iê k̟Õ ເҺÝпҺ 35 3.2.2 Tæпǥ ƚҺό ѵὸ TҺiÕƚ k̟Õ ເҺÕ ƚ¹0 AFM 35 3.2.2.1 Sơ đồ kối 35 3.2.2.2 ເ¸ເ lίρ ρҺÇп mὸm 36 3.2.2.2.1 ΡҺÇп mὸm ьËເ ເa0: 36 3.2.2.2.2 ΡҺÇп mὸm пҺόпǥ: 37 3.2.2.3 ΡҺÇп ເøпǥ 37 3.2.2.3.1 K̟Һèi má ố u 37 3.2.2.3.2 Đầu đ0 38 3.2.2.3.3 ХƔZ ѵi ເҺØпҺ, Ρiez0 sເaпeг 39 3.2.2.3.4 TiÕρ ເËп ƚҺ« 39 ên 40 3.2.2.3.5 ເ¬ ເҺÕ ρҺ¸ƚ ҺiƯп ƚÝп ҺiƯu uy g cz ệp n ®0 l−êпǥ ѵµ хư lÝ ƚÝп ҺiƯu 40 3.2.2.3.6 ҺƯ ƚҺèпǥ ®iƯп ƚư–DSΡ ghi th c 12 t n ọ n tố i h 41 3.2.3 Đ0 lờ ê mẫu uẩ vă ăn đạ 3.2.4 K̟Õƚ luËп 43 ận v ăn Lu uận n v L uậ ѵi ®iƯп ƚư qué iệu ứ đờ 3.3 Tiế kế ế ạ0 kí i L ầm- STM44 3.3.1 ii iệu óm ắ: 44 3.3.2 Tiế k ế, ế ạ0 ô đ0ạ iế ị STM 45 3.3.2.1 Làm mi dò: 45 3.3.2.1.1 Пǥuɣªп lý 45 3.3.2.1.2 ເҺÕ ƚ¹0 mὸi: 46 3.3.2.2 Ьé ѵi ỉ iu ằ điệ( iez0) môơ 46 3.3.2.2.1 Пǥuɣªп lý 46 3.3.2.2.2 Quá ì iệ 46 3.3.3 ເ¸ເ d¹пǥ ເÊu ƚ¹0 ເđa STM 47 3.3.4 ҺƯ ƚҺèпǥ ®iƯп ƚư ®iὸu ҺµпҺ 47 3.3.5 Tiế kế kởi ạ0 ệ điu STM 49 ì 4.2 Lu đồ uậ 0á ầ mm 0eialsae ê DS 49 3.3.6 Kế kế luậ STM 52 -ເҺ−¬пǥ Ѵ : K̟ü ƚҺuËƚ DSΡ 55 4.1 Tại sa0 ải dù DS ? 55 4.2 ô ữ lậ ƚг×пҺ 55 L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n gu yê n 4.3 ΡҺÇп ເøпǥ 57 4.3.1 Đặ đim u 57 4.3.2 ເaгd хư lÝ ƚÝп ҺiƯu sè – ເaгd Siǥпal Гaпǥeг 57 4.3.2.1 ເÊu Һ×пҺ ເҺuпǥ 58 4.3.2.2 ấu ì ầ ứ 59 4.3.2.3 ເÊu Һ×пҺ ьé ô số ả 60 4.3.2.4 ô ữ ia0 iế 61 -ເҺ−¬пǥ :TҺiÕƚ k̟Õ ế ạ0 ộ điu ki diial u độ đa ă ằ mô 62 5.1 Tãm ƚ¾ƚ: 62 5.2 ii iệu ội du ấ đ iê ứu 63 5.3 uê ắ 0ạ ®éпǥ 63 5.4 ấu ạ0 ế độ : 65 5.4.1 ເ¸ເ ế độ 0ạ độ 65 5.4.1.1 ເҺÕ ®é k̟ÝເҺ méƚ ρҺa: 65 5.4.1.2 ເҺÕ ®é k̟ÝເҺ Һai ρҺa: 65 5.5 ế ạ0 ệ điu ki độ 66 5.5.1 Sơ đồ kối điu ki độ dù i điu ki AT89ເ51 67 5.5.2 Mộ số đim ầ ý ѵὸ liпҺ k̟iÖп: 68 n yờ 5.6 Kế kim iệm kế luậ 69 u g z p in c ệ o i h -ເҺ−¬пǥ ѴI 74 3d gh c t 12 t n h n i t ệ ố điệ ƚư ເҺuɣªп dơпǥvă ăເҺ0 n đạ SΡM 74 ận n v văn u 6.1 Tiế kế ộ kuế đạiL í u n iệu ỏ ƚг0пǥ k̟ÝпҺ Һiόп ѵi ®iƯп ƚư Lu qƚ ҺiƯu øпǥ ®−êпǥ пǥÇm L(STM) 74 6.1.1 ữ ấ đ sở iễu ®iªп ƚư 74 6.1.1.1 ПҺiƠu ®iƯп ƚгë ( ПҺiÔu J0Һпs0п) 74 6.1.1.2 ПҺiƠu dßпǥ 75 6.1.1.3 ПҺiÔu 1/f 75 6.1.1.4 ПҺiƠu ®iƯп ƚõ 75 6.1.2 ọ uê lý 0ạ độ ộ kuế đại dò Tuel: 75 6.1.3 Tí 0á,iế kế 79 6.1.4 Mạ uê lý ộ kuế đại í iệu 81 6.2 Lase dẫ ệ điệ uôi lase dẫ SM 83 6.2.1 ầu ô số kỹ uậ đợ ọ 83 6.2.2 Mạ uôi Lase 84 6.3 00di0de đị ị ứ 85 6.3.1 uê lý 0ạ độ ѵµ ເÊu ƚгόເ liпҺ k̟iƯп 85 6.3.2 ệ điệ ử lý kuế đại í iệu ®ÞпҺ ѵÞ 86 6.4 ҺƯ ƚҺèпǥ ®iƯп điu 87 6.5 ΡҺơ lơເ : Méƚ sè ь¶п ѵÏ sơ đồ ả iế kế ia ô mạ i 88 -ơ II : ầ mm 89 -ເҺ−¬пǥ ѴIII: ເ¬ k̟ҺÝ STM 100 8.1 ҺƯ ƚҺèпǥ ເ¬ k̟ҺÝ dị u đị ị ằ điệ 100 8.1.1 ữ u đim ệ ố đị ị ®iÖп 100 8.1.2 èпǥ quÐƚ ρiez0 (Ρiez0 sເaппeг) 101 8.2 ເ¸ເҺ li ia0 độ ọ 103 8.3 ì ả ộ ậ i iê kí ủ ếu E0! 00kmak п0ƚ defiпed 8.4 ΡҺơ lơເ: Méƚ sè ь¶п ѵÏ ເҺÝпҺ Eгг0г! Ь00k̟maгk̟ п0ƚ defiпed - ເҺ−¬пǥ IХ- 107 Tiế kế ế ạ0 0ei0Sa ổ kế ká Điệ 0á ê sở lí í iệu sè 107 9.1 Ǥiίi ƚҺiƯu ƚãm ƚ¾ƚ 107 9.2 TҺiÕƚ k̟Õ ເҺÕ ƚ¹0 Ρ0ƚeпƚi0sƚaƚ 108 9.2.1 Пǥuɣªп lý ເҺuпǥ 108 9.2.2 TҺiÕƚ k̟Õ ເҺÕ ƚ¹0 Diǥiƚal Ρ0ƚeпƚi0Sƚaƚ 108 9.3 iê ứu i đ0 ổ kế ká điệ 0á (Ele0meial Imedae Se0s0) 113 9.4 Đá iá kế luậ 119 n yê n yê gu u ng L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n cz ệp ghi th c 12 t n ọ n tố i h vă ăn đạ ận v ăn Lu uận n v L u L 1-ơ I: Mở đầu ii iệu đ ài,Mụ đí,êu ầu, ội du, iệ 1.1 Mụ iêu đ ài Đ ài ma mà số K01-10 ó ê ọi í mụ iêu u iê ứu ứ dụ iế ị ô ệ iê iế đ0 lờ, ế (AFM/STM) Đâ mộ ê 0i ả ả mộ ội du ấ ộ ổ Tê ế đ ài đợ iệ ì á0 á0 s ỉ iải quế iệ iê ứu mộ l0ại iế ị ô ệ iê iế đ0 lờ (à ỉ mộ mứ ấ đị ,ó kả ă ứ dụ iá iế ế ô qua kả ă ứ dụ iê si ọ) iế ị i i điệ qué đầu dò (SM) a0 ồm i i qué dò Tuel (STM)à i i qué l uê (AFM) đ ầ i õ dấu 0ặ ê đ ài mụ ƚiªu ເơ ƚҺό ьa0 ǥåm: L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n gu yê n Tгiόп k̟Һai ເҺÕ ạ0 i i qué đàu dò (SM- Sai 0e Mi0s0 ) a0 ồm l0ại í kí i i lὺເ пǥuɣªп ƚư AFM, k̟ÝпҺ Һiόп ên ѵi qƚ хuɣªп ầm STM độ uy g â iải di 10-9m cz p ỏi n iê ứu, iế u, â í ứ dụ l0ại iế h điệ iê iế , uê dụ ghi tị n đa iê ứu,đ0 lờ, iá0 dụ, ế12à à0 ứ dụ ụ ƚҺό ë quɣ m« ọc t h n tố i ỏ, đảm ả0 ấ lợ a0, đạ ì độ v n ù, iá s0 i ậ 0ại, ận v ăn ເã ƚҺÞ ƚг−êпǥ Lu uận n v điu kiệ mở ộ ứ dụ lâu dài L u L â d im l, ô ụ ậ ấ ế ạ0 iế ị điệ iê iế (ế ệ mi, ủ ếu a0 ồm ếu ố đ0 lờ điu ki ằ ô ệ ô i a0 ấ ấ iệ a, ô mi, í á, í ối mạ) Đà0 ạ0 đội ộ iế kế ầ ứ ầ mm, lắ á, ế ạ0, iệm đá iá ấ lợ., sử dụ, ả0 à, l0ại iế ị điệ iê iế , iệ đại,àm lợ ấ ám a0 1.2 ữ âu ỏi ầ iải đá 1.2.1 SM ì ?: SM - ê ọi u mộ ọ ô ụ ậ lý, mộ l0ại kí i i dù uê lý qué mộ mi dò uê ê mộ mặ mộ k0ả uê đ i ị, iê ứu lý ì mặ ậ ấ 00, / lý, 0á, si 1.2.2 ì sa0 ầ dù đế SM ?: ô ệ a0- Si ọ â đa mộ ữ ả s ρҺ¸ƚ ƚгiόп k̟Һ0a Һäເ-k̟üƚҺuËƚ ƚг0пǥ ƚҺêi ǥiaп ƚίi Méƚ ƚг0пǥ ữ lý d0 đ ô ệ a0 ì đợ a đà ó ữ ô ụ đ ì lý kí a0- T0 số đó, kỹ uậ SM mộ ô ụ mi mạ ấ 1.2.3 Lị sử i: 1981 miпҺ гa STM d0 Ьiппiǥ & Г0Һгeг 1985 Ьiппiǥ, Ǥeгьeг, ad Quae ế ạ0 a AFM đầu iê 1986 ii & 0e ậ iải 0el mi STM ô ế ạ0 SM Đại ọ гa ®êi: 1987 Diǥiƚal Iпsƚгumeпƚs ເđa Uпiѵ 0f ເalif0гпia - Saпƚa Ьaгьaгa 1988 Ρaгk̟ Sເieпƚifiເ ເña Sƚaпf0гd 1991 Miເг0faьгiເaƚed AFM ρг0ьes гa ®êi 1998 Ѵeeເ0 Iпsƚгumeпƚs mua Diǥiƚal Iпsƚгumeпƚs.1999 Asɣlum esea d0 iê Diial Isumes lậ 2000 đế a: à ế ạ0 l SEIK0, JE0L, SIMIZU à0 uộ ò í iệm ƚiÕρ ƚơເ ρҺ¸ƚ ƚгiόп Һä ເ¸ເ SΡM mίi ,øпǥ dơпǥ a0-si ọ â Mộ iai đ0ạ i mi lại ắ đầu Mộ l0ạ ô ò í iệm am ia iê ứu sử dụ SM , i sả ẩm mi ấ lợ a0, iá ả ợ lý , số ó IASI ì sa0 lại iê ứu ế ạ0 SM: 1.2.4.1 Lý d0 u ầu: 1.2.4 ầ iế ứ dụ mắ lai, đă iệ ô ệ a0-si ọ â 1.2.4.2 Lý d0 ki ế: 1.2.4.3 Lý d0 uê mô: L L u Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n gu yê n ເ¸ເ Һ·пǥ u ấ i iá a0 , kô ải ò í iệm à0 mua ờní iệm iê ứu đợ ê lĩ ấ lý ò uy g am ia cz p i n o iệ há 3d ngh c t t h t i Tiế ị mại đắ a ó lạvnâu n ì ệ đó, ả0 ộ ả qu n ậ ,ê ời dù kô ເaп ƚҺiƯρ ®ό ເËρ vă ăn ậ Lu uận n v L uậ L 1.2.4.4 Lý d0 ρҺ¸ƚ ƚгiόп: Là iế ị uộ l0ại a0 ấ ấ iệ a ả iá ị ấ ám lẫ iá ị ki ế, ổ ợ iu ô ệ a0 mà ủ ếu ấ ám ,ê ấ kả i ò í iệm ì độ a0 Đâ môi uờ lý đ â d sở mi ọ ô ệ a0, đà0 ạ0 ộ i ứ dụ 1.3 ội du đ ài ải iệ 1.3.1 ội du óm ắ: Đ ài ó iệm ụ iệ mộ ệ ố iế ị ô ệ a0 , ả k0a ọ mộ ô ì đà đợ mi ăm 1981 đ0ạ iải 0el à0 ăm 1986 Tiế ị đà đợ ậ u iê ứu ê ế iơí k0ả 20 ăm a, u đà đợ mại 0á ẫ đa iai đ0ạ 0à iệ ả iế ị lẫ Đ ài ầ ải iệ ội du iê ứu ụ , đ uối ù ủ độ ế ạ0 má mẫu (00e) ủ l0ại SM ổ iế STM AFM môi ờ , ó í ă ả đủ sử dụ đầu iá0 dụ đà0 ạ0, iê ứu k0a ọ mứ u ì Tạ0 sở đ ế ạ0 e0 ầu Km e0 ậ dụ i ộ ậ (m0dules) đà iê ứ é ạ0 SM iế ị sử dụ ®éເ lËρ , пÕu ເã ƚҺό ®−ỵເ 1.3.2 Пéi duпǥ iê ứu ụ 1.3.2.1 Kối điệ-u độ ô Tiế kế ế ạ0 ầ ứ điệ â đế ố ia0 độ Tiế kế ế ạ0 ấu dị u ô dù mô 1.3.2.2 Kối dị u đị ị a0 Tiế kế ,lấ ộ qué iez0 iu â ii a0mee Tiế kế lắ đặ ộ đị ị a0mee ằ Lase dẫ quadad 00di0d (iê mi dò AFM ộ da0 độ ải mua đặ ế ạ0 0ài) Tiế kế ế ạ0 ộ đầu dò Tuel 1.3.2.3 Kối Điệ Aal0-Diial Tiế kế ế ạ0 ộ uồ uôi ế siêu ổ đị Tiế kế ế ạ0 ộ kuế đại a0 ế í iễu độ a Tiế kế ế ạ0 ả mạ điu ki ệ ố qué +/- Ɣ+/-, Sƚeρ M0ƚ0г, Z+/-… TҺiÕƚ k̟Õ ເҺÕ ƚ¹0 Ьé ƚỉпǥ ia0 độ diial L0k-i Diial ( s0 s0 ѵίi ѵiƯເ sư dơпǥ L0ເk̟-iп Aпal0ǥe ƚҺ−пǥ m¹i ƚг0пǥ ǥiai đ0ạ đầu) Tiế kế ế ạ0 AD DA kê ố độ a (100Mz) Tiế kế ế ạ0 Ti kuế đại i0ame STM Tiế kế ế ạ0 i kuế đại i sai Quadad 00di0de Tiế kế ế ạ0 Diial 0eí0ae 1.3.2.4 ầ mm L L u Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n gu yê n ѴiÕƚ ьé ρҺÇп mὸm ҺƯ ƚҺèпǥ пҺόпǥ ເҺ0 ên DSΡ ѴiÕƚ dгiѵeг ເҺ0 ADເ, DAເ uy g ѴiÕƚ ρҺÇп mὸm ເҺ0 Diǥiƚal L0ເk̟-Iп ѵµ Diǥiƚal Ǥeпeгaƚ0г cz ệp n ghi th c lý s« liƯu ເҺ0 SΡM ѴiÕƚ ьé ầ mm ổ điu ki ,đ0 lờ12 tn ọ n tố i h ѴiÕƚ ρҺÇп mὸm ǥia0 iế ,u ậ ,u v nửlý kế ê Ρເ ận n v văn ѴiÕƚ MEПU, k̟Õƚ пèi ເ¸ເ ầ mm lýLuả, u n đồ 0ạ , ì diễ lu ữ kế u Đồ ời Tiế s0 s0 iế ầL Lmm (S0ue 0de) lý ả ầ mm điu à lý kế đ0 0eí0sae 1.3.2.5 i ứ dụ, đà0 ạ0 ợ ỗ ợ ứ dụ Tổ ứ Semia ®ό ρҺỉ ьiÕп k̟ü ƚҺƚ ѵµ ເ së ѵËƚ lý ò í iệm ứ dụ â d iê ứu, đ0 lờ dù SM âlý, 0á ọ, si 0, ếđ đà0 ạ0 ổ iế , ỗ ợ sở ứ dụ Đà0 ạ0 si iê, a0 ọ iê ứu si lĩ Tiế ị a0Aalsis 1.4 iế ậ iê ứu iế ậ iê ứu đợ â d sa0 đội ộ k0a ọ iê am làm ủ đợ ối đa kâu iế kế ổ ,iế kế i iế, la ọ li kiệ ầ đặ 0ặ ia ô, ế ạ0 i iế iế kế i ầ mm ô ì ó mụ iêu dài iu ăm, 2,3 ăm đầu iê ậ u lấ iệ iế kế ế ạ0 SM làm đối ợ iê ứu i ừa ạ0 a sả ẩm a0 ấ à ội, ừa làm sở ế đ đà0 ạ0 đội , ợ quố ế í luỹ kiế ứ ầ ụ d kiế sau: - ầ ứ điệ: Tiế ị STM đầu iê đà ợ ế ạ0 ô ời ia qua đim uấ đ 0à iệ i iế Sẽ ìm mua mộ iế n ьÞ Һaɣ ƚõпǥ ьé ρҺËп ເđa méƚ iế ị SM l0ai mi (0á ợ a0 đổi) đ á0 a ộ iê ứu, s0 sá i iế ị mì đ đị ầ iế 0ặ sa0 é ó ải iế, 0ặ mô ỏ lại 0ặ sá ạ0 ộ ậ mi ếu ầ iế uê ắ kô mà mò A đế Z mà ậ dụ iệ đ ki iệm í ứ ữ ời iệ 0à 0à kả i ì đội ộ đà ó ki iệm làm ủ ế ạ0 iế ị ợ i k0a ọ ô ệ 0ài ằ điu kiệ số ò đ làm ủ đợ ô ệ - ầ ứ điệ ử-i ọ: Sẽ sử dụ 0à 0à kỹ uậ số iệ đại ấ đ0 lờ điu ki Tiế ị d kiế đợ ế ạ0 ê ả kỹ uậ DS, l0ại i ô iệ lý s0 s0 ố độ a0 ấ iệ a Má í đợ iải ó ỉ đ điu ki ia0 iế lý kế uối ù mà ôi Tê ấ , óm iệm ải iế kế iê mộ má í ố độ a0, lý ời ia Đâ mộ kỹ uậ a0 lai i , ấ ầ ó điu kiệ đ đà0 ạ0 đội - ầ mm ệ ố: Là ầ mm điu ki 0ad mạ, ầ ứ kí ,đ0 lờ u số liệu Sẽ d0 ьé ѴП Һ0µп ƚ0µп ƚὺ ƚҺiÕƚ k̟Õ ѵµ ƚҺὺເ ҺiƯп đợ iữ làm í quế ô ệ - ầ mm lý số liệu ả : Kế ợ iế i ầ mêm sẵ ó 0ă ợ a0 đổi i ò í iệm ká Tiế i làm ủ đợ mà uỗ lý ảsau ki 0à đ làm sở iế ị ẩ đ0á ế iệ đại ( siêu âm3D ẳ Һ¹п) ѵὸ sau ên - L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n gu y gu n z p i oc i ổ hỏ ứ iệ đà0 ạ0 uấ luệ S0 s0 i iệ ế ạ0 iế ị ,ầ ải 3d ngh c t i ứ dụ ká au Te0 SM t n t i h mô ì iê iế ,sẽ dầ ì ê mộ ò í iệm v n n v nủa đấ ,ừa ủ độ ế đại â í a0 ( Пaп0 aпalɣsis) ҺiÖп n u v L uậ n L iế ạ0 iế ị ừa i ứ dụ ị Đâ iệ ấ iế ải làm Lu ì kỹ uậ SM mặ dù ấ qua ọ uâ iệ lại ò mi mẻ đối i ầu ế á ộ k0a ọ iệ a Mặ ká T mộ đim kởi đầu iệ ủ độ iế kế, ế ạ0 ứ dụ iế ị i-Te đ0 lờ, ế iế e0 ô ệ kỹ uậ sử dụ đ ài uộ l0ại ữ ô ệ a0 ấ ấ iệ ại ó liệ kê mộ số ô ệ ầ i sử dụ sau: ã iệ đ0 lờ í iệu ỏ dò điệ i0ame (A), l a0ew0 (), kí a0me (m) ã Đ0 lờ Điu ki í u độ liê ụ k0ả ấ ỏ As0m đế k0ả ĩ mô m ã Đị ị i sai số di 10-10m ã Kỹ uâ ầ mm lý í iệu (Diial Sial 0esi), a ế ầ ứ aal0e ã ệ điu ời ia ã u ì điu ki độ kí ID 0à 0à diial ã Kỹ uậ ầ ứ u ậ lý í iêụ ã K uậ lý ả ã kỹ uậ điệ ử-i điệ aal0 iệ đại: uồ a0 ổ đị a0, kuế đại iễu ấ, lọ số, kuế đại a0 ã ã ã ã Kỹ uậ k̟ҺÝ ເҺÝпҺ х¸ເ quaпǥ Һäເ K̟ü ƚҺuËƚ ເ¸ເҺ lɣ ǥia0 độ ọ Lậ ì uê iệ mứ độ ậ lý (sial leel) đế mứ độ ứ dụ ầ mm ói i số dò lệ l (ê 25.000 dò) 1.5 ố ụ ội du ì á0 ເ¸0 L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n gu yờ n T0 sau ôi ì ữ ấ đ k0a ọ ô ệ ả ô iệ ôi đà iệ đ i kỹ uậ ,ằm ứ dụ ế ạ0 ữ ệ iế ị SM ại ò í iệm , e0 đ ầu đ ài K01-10 ôi iế á0 á0 0ài iệ á0 á0 ô iệ đà iệ ò ó am ọ mộ ài liệu i k0a ọ ô ệ mộ ấ đ đối 0à ỉ Làm sa0 ®ό ເҺ0 пǥ−êi ®äເ пÕu muèп Һiόu ѵÊп ®ὸ ƚҺe0 mứ độ ká au đu ó đọ đợ Mặ ká đối i ữ ời ầ am kả0 ấ đ ậ lý, ô ệ, Kỹ uậ, Tiế kế, ế ạ0 SM 0ặ iế ị ó em đâ ữ liệu ó i í ô iệ ì ậ ài liệu đợ iế e0 uê ắ ắ ọ ả0 đảm ội du k0a ọ 0à ỉ , ô ệ kỹ uậ ụ ,õ ,ó sử dụ đợ a (ấ iê ,am kả0 i iả ì ố ơ) Te0 uê ắ , á0 á0 â iu l L i ữ ầ mà ời qua âm ê đọ ế ấ đ iế sâu kô ấ iế ải đọ ì iế ữ iê ỏ iế kế ả ẽ dà iế kế n ,ô ệ đợ đa à0 ụ lụ e0 uơ Mà uồ ầ mm ấ l yờ g (300 a) ê i km kô iệ cdụ, z p i n ôi i à0 đĩa D km o hi thỏ Tài liêu am kả0 đa à0 sau23dừ g c dễ e0 dõi Đ iệ e0 dõi ,i liệ kê ữnội í ầ sau ồm: t ndu họ i t ă n đạ v ເҺ−¬пǥ II : ữ sở k0a ọ i i qué đầu dò ô ệ n n v kỹ uậ đặ iệ sử dụ ạ0.ầ ó í ổ qua, u đợ iế Lu uế n L u ắ ọ ầ đ ó iu đợ sở đ ài làm ài liệu uá L luệ, đà0 ạ0 Từ III , ì ội du iê ứu i đà đợ óm đ ài iệ III ì iệ iế kế ế ạ0 STM AFM T0 ội du iế kế ế ạ0 , ầ ải i ô ệ uê iệ ô ệ đợ liệ kê III đợ ì ỉ mỉ sau, ụ ƚҺό ເҺ−¬пǥ IѴ : K̟ü ƚҺuËƚ DSΡ ເҺ−¬пǥ Ѵ: K̟ü uậ điu ki u độ ằ M0ơ I: Điệ uê dụ SM a0 ồm uồ uôi a0 á, Kuế đại iễu ấ, Kuế đại a0 ô độ a, ộ mạ lọ, đệm II: ầ mm III: ầ ứ kí I: Diial 0ei0sae, EIS, L0k-i, ệ đ0 đa ă 10 eaie - + n yờ n yê gu u ng L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n cz ệp ghi th c 12 t n ọ n tố i h vă ăn đạ ận v ăn Lu uận n v L u L ệ kuế đại ó u ấ í iệu a đế k0ả 10m i dẫ ỏ 400F Tí iệu 0ffse lối a ỏ 20m Sai số ệ số kuế đại +/-2% Ki sá ằ Ze0 ì iá ị i sai lối a ằ iá ị 0ffse, ĩa ỏ 20m Tấ ả iá ị ê đâ đà đợ iệm 0à 0à ả0 đảm làm iá ị đ0 l uê AFM uả ôi, ậm í ò ố mộ số iế ị mà ôi đà iệm (ì l0ại li kiệ mạ kuế đại ôi dù uộ ô ệ mi ơ) 1.12 ệ ố điệ điu (i iế em I) yờ n Đâ kối đảm ậ ứ ă điu ki lí liệu Te0 s i u, ệ điệ đợ a ế ằ ệ ố số 0ạ độ í ổ đị n li độ yờ gu gu L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n cz ệp n ghi th c 12 t n ọ n tố i h vă ăn đạ ận v ăn Lu uận n v L uậ L ó sử dụ mộ má í ô kế ợ i ệ é ối AD/ DA đ đảm ậ ô iệ điu 0ạ độ 0à ьé ҺÖ ƚҺèпǥ STM ƚõ ѵiÖເ ƚҺu ƚҺËρ sè liÖu, lý số liệu đế iệ i ị điu ki iế ị 0ại i ô qua ad AD DA đợ ia0 iế i má í qua ke ắm mở ộ Tu iê d0 đợ iế kế iu mụ đí sử dụ ká au ê kô í ợ i ô iệ ma í uê iệ ứ ì lý kô đợ e0 ®όпǥ ƚҺêi ǥiaп ƚҺὺເ Хu Һ−ίпǥ ҺiƯп пµɣ lµ sư dụ mộ ệ DS uê dụ, ọ ẹ ố độ lý a Ta à0 ỉ đợ dù à0 ô iệ ó ế mạ là: ia0 diệ, lí ả ữ iệm ụ mà DS ó iệ: ã í iệu qué , i iez0 ã Đ0 dò Tuel điu ki độ a0 Z ằ uậ 0á ID ã Đặ iê mi dò mẫu ã Kế ợ điu ki độ i điu ki iez0 đ iệ ô iệ iế ậ mộ độ (Tiế ậ ằ ăm dò) ã ậ lệ điu ki 0ạ độ ã Tu liệu ả T0 iế ị ôi, đà sử dụ DS Һä TMS320 ເ5402 dÊu ρҺÈɣ ƚÜпҺ, ADເ 16 ьiƚ l0¹i Dela-Sima DA 24 i Tố độ lấ mẫu uẩ 21Kz, ôi ó â lê 80Kz ằ ầ mm Độ ễ AD uẩ 40 mẫu, ôi đà iế kế lại ỉ ò mẫu, ả0 đảm điu ki ầ ời ia 1.13 ầ mm 1.13.1 ii iu u SM mộ ô ụ ậ lý uộ ọ ô ụ iê ứu, â í mặ, í dụ ọ l0ại i i qua ọ, điệ ử, má ả số, ide0-T số, ia , yờ n n điệ ử, i0, â, ả siêu âm ế, ộ ế, ụ ả ắ l . ô yờ gu gu cz p ỏi n ghi th c 12 t n ọ n tố i h vă ăn đạ ận v ăn Lu uận n v L uậ L L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z c ip th ỏi n ụ ầ đế ữ ầ mm điu ki, đ0 lờ lý số liệu đ ậ ộ ầ mm điu à uê ắ a0 ồm ầ: Mộ ầ điu ki đ0 lờ ê ầ ứ ầ ứ u ậ lý số liệu uầ uý ầ Phần mềm bậc cao chạy PC : 1-Thu thập xử lý số liệu 2- Tính toán đặt tham số cho phần mềm nhúng Phần mềm dùng chung, không phơ thc phÇn cøng Cỉng giao tiÕp USB PhÇn mỊm nhóng: 1) giao tiÕp nhËn lƯnh tõ PC vµ trun liệu PC 2) Điều khiển hoạt động phần cứng hoàn toàn độc lập với PC 3) Đo lờng xử lý số liệu thời gian thực Phần mềm phụ thuộc vào thiết kế phần cứng DSP thiết bị vật lý AD & DA Thiết bị SPM hệ Đo lờng Vật lý mm Từ đế a đà ó ấ iu á â, ò í iệm ô i ầ mm uê dụ ứ ă ói ê Tu iê ấ ả đu ầ mm uê iệ, k í, ụ ụ iế ị iê ẽ mộ, luô luô km i iế ị ầ ứ õ ỉ mộ ửa ầ mm ụ uộ ầ ứ sả uấ, ò mộ ầ ữa u ậ lý số liệu ó dù u ầ độ lậ i ầ ứ iế ị, đâ ầ mà ữ ời sử dụ ải ủ độ a iệ à0 đợ đ ậ ậ kiế ứ e0 kị s i k0a ọ ô ệ Tu iê, ời iêu dù luô ải ả mộ k0ả i l mộ ói ầ mm l0ại à, a đà đợ ậlý-Kỹ uậ i ô ố mộ miễ í ộ đồ ậ lý, d0 iệ ậ lý ấ ắ, Đại ọ a0e (Đứ) kởi ăm2001, đà ậ ợ ấ ả ữ ầ mm dù ô ụ â í mặ, mộ d ộ ầ mm mà uồ mở ia sẻ iê ứu i ôi đà am ia d mộ iê l ắ đầu L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n gu yê n ǤХSM ѵiÕƚ ƚ¾ƚ ເđa Ǥп0me Х Sເaппiпǥ Miເг0sເ0ρɣ (0ME mộ ộ ô ụ -laf0m i UПIХ ѵµ LIПUХ, Х lµ Èп sè ьiόu diƠп k̟iόu ρҺÇп ເøпǥ пҺ− A: ên Һọa ເҺ0 ьấƚ k̟ỳ l0a͎i ҺὶпҺ ảпҺ пà0 dὺ Aƚ0mf0гເe, T: Tuпel ) Đâɣ mộƚ ǥia0 diệпguyđồ z p in oc iệ há 3d gh t c 12 t n ọ n tố i h vă ăn đạ ận v ăn Lu uận n v L uậ L ເҺiều Һaɣ ເҺiều (ເҺế độ đa lớρ 2D) dὺпǥ ເҺ0 ƚҺu ƚҺậρ liệu, đƣợເ ƚҺiếƚ k̟ế đặເ ьiệƚ ເã ƚҺό dïпǥ ເҺ0 Һiểп i quộ u d (SM) Mụ iêu đ a ki iế kế SM ạ0 mộ ộ ầ mm u Һỗ ƚгợ пҺiều ρҺƣơпǥ ƚҺứເ ເҺ0 liệu ເҺiều (đối ѵới пҺiều l0a͎i liệu: ьɣƚe, sҺ0гƚ, l0пǥ, d0uьle) mộƚ ເ¸ເҺ ƚгựເ quaп ѵà đa da͎пǥ ǤХSM ເã ƚҺể đƣợເ dïпǥ ѵới Һiểп ѵi quÐƚ dßпǥ Tuпel (STM), Һiểп ѵi quÐƚ lựເ пǥuɣªп ƚử (AFM), sເaппiпǥ aпǥle гes0lѵed liǥҺƚ sເaƚƚeгiпǥ (SAГLS), ѵà ρҺ©п ƚÝເҺ ѵếƚ пҺiễu хa͎ пăпǥ lƣợпǥ (SA-LEED) ì i môi Liпuх, sử dụпǥ ƚҺƣ ѵiệп Ǥƚk̟+/Ǥп0me ເҺ0 ǥia0 diệп đồ a ì ầ mm ố SM-IASI ầ ì đợ ia sẻ ó ộ đồ mà uồ mở, ôi mộ iê ả qu e0 luậ U ôi i u ấ ời sử dụ i ả0 đảm kô i ạm ô quố ế sở ữu í uệ 1.13.2 ì ụ ia lm ầ í: Tứ ấ, â SM u ứ ă í đ iệ, i qua liệu Tứ lu-i ứ ă ả â SM ó đợ mở ộ ằ lu-i lu-i l đ0ạ n yờ n yê gu u ng L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n cz ệp ghi th c 12 t n ọ n tố i h vă ăn đạ ận v ăn Lu uận n v L u L ì ỏ liê kế i â T ρҺÇп ƚҺø ьa ƚiÕρ ƚҺe0 ǥia0 ƚiÕρ ѵίi ρҺÇп ứ điu DS, dù 0 lờ điu ki T0 II ì ỉ mỉ iế kế ầ mm à ì ẽ, liế kê, ả mụ ấu ì ầ mm điu SM-IASI ả liệ kê Files uồ í ầ mm điu (Mà uồ D) 1.13.3 ầ mm iế ế ệ SM dù ô пǥҺƯ DSΡ Пǥƣời dïпǥ SΡM ƚƣơпǥ ƚ¸ເ ѵới SΡM ƚҺ«пǥ qua ρҺầп mềm ǥèເ sử dụпǥ Һệ ƚҺốпǥ Х11 wiпd0w ΡҺÇп mὸm ǥèເ ƚự пã ǥửi lệпҺ ѵà liệu ƚҺ«пǥ qua mộƚ ƚҺiếƚ ьị Uпiх TҺiếƚ ьị пàɣ đƣợເ quảп lÝ ьởi M0dule lâi Liпuх ρҺụ ƚҺuộເ ρҺầп ເứпǥ M0dule пàɣ ρҺải đảm ьả0 đƣợເ гằпǥ, ເ¸ເ Һ0a͎ƚ độпǥ ɣªu ເầu đƣợເ ƚҺựເ Һiệп ьởi ρҺầп ເứпǥ k̟ếƚ пối ѵới пã Điều пàɣ k̟Һiếп ເҺ0 ρҺÇп mὸm ǥèເ độເ lậρ ρҺầп ເứпǥ Ma͎ເҺ ǥia0 ƚiếρ ѵới â yờ n ạ0 ởi ổ US ồm i US ầ mmờnUS die Ma DS s ເҺa͎ɣ ѵới ρҺầп y gu gu cz ệp n ghi th c 12 t n ọ n tố i h vă ăn đạ ận v ăn Lu uận n v L uậ L L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n mềm SΡM ເҺuɣªп dụпǥ Ьé quÐƚ ρiez0 đƣợເ ເuпǥ ເấρ ເ¸ເ điệп ƚҺế đối хứпǥ +-Х, +-Ɣ ѵà Z, ƚa͎i ເ¸ເ Һệ số k̟ҺuɣếເҺ đa͎i k̟Һ¸ເ пҺau (1Х, 2Х, 5Х, 10Х, 15Х) ເ¸ເ пǥuồп ƚÝп iu (ẳ a dò Tuel, ku ô qua m u i i - dò (IѴເ) ѵà ƚÝп Һiệu ьỉ ƚгỵ (AUХ) đƣợເ пối ѵới u iế đổi -số AD-DA s d iu ki iế ị 0ại i m í la ká ì DSΡ đƣợເ ƚҺiếƚ k̟ế ǥiốпǥ пҺƣ mộƚ m¸ɣ ƚгa͎пǥ ƚҺ¸i, ເã пǥҺĩa Һệ ƚҺốпǥ lu«п lu«п пằm ƚг0пǥ mộƚ a a (kô ) ò l Һiệп ƚấƚ ເả ເ¸ເ điều k̟Һiểп ƚгa͎пǥ ƚҺ¸i ѵà ƚгuɣềп ô T ì (ả i) luô a ѵới mộƚ ƚốເ độ ເố địпҺ ѵà đƣợເ điều k̟Һiểп ô qua ô s i a /T im ia s êm IS đợ sử d im ò lai, ữ im i đợ dà méƚ k̟Һ0ảпǥ ƚҺời ǥiaп ǥiới Һa͎п để ເҺa͎ɣ Tгªп пǥuɣªп a im đu ải ƚiếп ҺàпҺ dï dïпǥ ເ¸ເ Һệ DSΡ k̟Һ¸ເ пҺau K̟Һi ®ã ເ¸ເ ρҺầп mềm ເã ƚҺể k̟Һ¸ເ пҺau ѵề m· пǥп ƚuύ ƚҺe0 ƚËρ lƯпҺ ѵµ ເÊu ƚгόເ ເđa DSΡ kế i iê ká au ấ u e0 ấ lợ DS kỹ uậ lậ ì ôi đà iế ộ ầ mm iế kế iê iế ị ôi, i đặ ù ậ lý iê, ê mạ Sialae Tu iê đ iế đợ ộ ầ mm ôi đà da à0 ả s ợ quố ế, ia sẻ ầ mm n yờ n yê gu u ng L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n cz ệp ghi th c 12 t n ọ n tố i h vă ăn đạ ận v ăn Lu uận n v L uậ L пǥп më ເđa ເéпǥ ®åпǥ ǤХSM ƚгiόп k̟Һai ເҺ0 SГ ƚõ 2003 ເã ƚҺό пãi SΡM ເña ເҺόпǥ ôi uộ l0ại đầu iê sử dụ ô ả d ệ Sialae đợ ôi la ọ 0ài lý d0 ki ế ó ò ó đƣợເ sứເ ma͎пҺ ƚừ ເҺÝρ TMS320ເ5402, ƚốເ độ 100MҺz ѵà sử dụпǥ mộƚ ǥia0 ƚiếρ USЬ ƚốເ độ ເa0 ເҺ0 ia0 i i SM-IASI uê ố DS đợ aillads iế kế ăm 2000 WID0WS qua kế ối US ăm 2003 Zal đà ộ ƚ¸ເ ѵίi Ь.Ρaillaгds ѵiÕƚ dгiѵe USЬ ເҺ0 SГ k̟Õƚ пèi i Liu mở a kả ă ứ dụ S SM Liu i SM-IASI đà ói ê, ầ mm u uộ à0 ầ ứ DS iế ị ậ lý SM ôi iế kế ô ệ iế ậ ằ môơ , mạ Sialae, ì ậ iế kế iê ải ù ợ i điu kiệ mạ ối i iế ị điệ đ0 lờ d0 ôi iế kế n yê n yê gu u ng L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n cz ệp ghi th c 12 t n ọ n tố i h vă ăn đạ ận v ăn Lu uận n v L u L ì 20 Tê ì 20 ê l s ia0 i S -STM/AFM mm DS SM é đặ ả m 0ffse DS, ki s d ô u ì ƚҺ× lựa ເҺọп пàɣ ເã ƚҺể ƚҺaɣ đổi K̟ếƚ пối SГ Х0, Ɣ0, Z0 ເ¸ເ ƚÝп Һiệu 0ffseƚ Х/Ɣ/Z Хs, Ɣs, ƚÝп Һiệu quÐƚ Х/Ɣ ѵà Zs Z, пǥҺĩa ƚÝп Һiệu đƣợເ dïпǥ ®ό Һiόп ị ả I l dò Tuel, i u đƣợເ k̟ếƚ пối ѵới đầu гa ເủa ьộ ເҺuɣểп đổi Điệп ƚҺế - Dßпǥ điệп (STM) Һ0ặເ ƚÝп Һiệu Độ lệເҺ / Lựເ (AFM) Һ0ặເ ƚÝп Һiệu dịເҺ ƚầп số (DFM) UЬ điệп ƚҺế ьias ເҺuẩп đƣợເ пối ѵà0 mu ôi đà iế ì ố iu ki mô qua ổ DA7, ký iệu ê ì M (M00) ứ ì DS ấu ì Đầu ѵà0 AIເ ເã ƚҺể đƣợເ sử dụпǥ kì í iu i đợ ki qué T0 II ì ỉ mỉ ấu ì ầ mm ả liệ kê Files пǥп ເҺÝпҺ ເđa ρҺÇп mὸm пҺόпǥ (ເïпǥ ѵίi m· uồ D) ôi đ iệm mộ ăm í ă ì, iệ kế đ0 ấ i ậ ổ đị Liu ôi ả0 đảm u ấ ộ ầ mm n yờ n yê u ng L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th ỏi n gu di ầu ời dù uâ ủ uệ đối qu đị luËƚ cz iệp ѵµ o h 3d gh c t 12 ốt n họ n t i vă n n vă ăn đ ậ Lu uận n v L u L ả qu Đó mộ lý d0 ôi ọ Liu, mặ dù ôi đ i Wid0ws 1.14 ệ ố kí dị u đị ị ằ điệ ệ ố đị ị điệ ó ữ u đim là: ã Độ â iải kô ii (Ulimied es0lui0).ếu iế ị điệ điu ki 0ạ độ 0à ả0 độ â iải ó m0 muố iải di a0me điu ó 0à 0à đạ ã L si l (Lae F0e eeai0),ó lê i ài ew0, ó ma ải ặ i ài ấ u dị mộ dải ài ăm m Mở ộ a (Fas easi0)i ời ia đá ứ s ia ố 10000 điu ó đạ đợ ã Kô dí dá đế (0 maei field) ì iệu ứ điệ ỉ liê qua đế điệ ờ,kô sả si a ị độ ởi ì ậ ó đặ iệ í ợ ữ ứ dụ ó dù đế am âm mộ i iế iế kế ã ô suấ iêu ụ ấ (L0w 0we 0sumi0) ì s dị u d0 iệ u đổi iế ă lợ điệ u độ ỉ iêu ụ ă lợ ì độ ĩ, a ả ki ma ải ặ kô iêu ụ ă lợ mộ đá k ã Kô ó ă mò đứ à (0 wea ad ea),ởi ì kô u độ ằ đờ kí ô ă, ụ qua S u dị da ê ữ iệ ợ độ l ọ ả â ấ ắ ê kô sả a ữ iệ ợ ã Kô ầ ấ ứ mộ l0ại dầu ôi à0, kô ó ă mò a ầ Điu làm í ợ i ò sạ ấ lý ữ ứ dụ đòi ỏi â kô siêu a0 ã ọa độ iệ độ ấ (0eai0 a 0ei emeaue): iệu ứ điệ ẫ ại iệ độ ấ ê ẫ ó 0ạ độ đợ uố i ầ độ kô Keli L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n gu yê n ôi đà iế kế ệ kí dị n i mô ằ điệ e0 ọ yờ gu e0 uô ó i â sau: ệ số điệ d31 l ố ì iế n z p i oc iệ há 3d ngh c t ເὺເ d− ọ t n tố ại h vmộ n điệ điu ki đặ à0 ố qué ó ĩa iế l ѵίi ເïпǥ n ậ v ăn Lu uận n v L u L ằ số điệ môi l điu kô m0 muố ì ki ố qué ó điệ du l làm iảm ii ầ số qué ứ i ù dò điu ki Suấ 0u kối lợ iê ậ liệu quế đị đế ầ số ộ ói u ầ số ộ l ố iệ độ uie ải lu ý i ki ắ điệ ì ê T ậ liệu mấ í ấ điệ ó kô kôi ụ lại đợ Từa số ổ a0 a0 ệ số ẩm ấ ấ làm ă lợ điu ki u iệ iu Tấ ả l0ại ậ liệu dù STM l0ại mm đ ó độ a0 lại ó ổ a0 l ê kô đợ điu ki i iê độ l ầ số a0 ếu kô ý đế điu ó ó ậm í ợ T ô số ố qué: ôi đà la ọ ậ liệu M 527 đ du 0à ì lý d0 ki ế i ầu kỹ uậ.á số liệu dù l0ại ố mà ôi đà dù đ ế ạ0: - ậ liệu M 527 - iu dài L=24,4 mm - Đờ kí D=6,5 .1 mm - Ьὸ dµɣ ƚҺµпҺ èпǥ Һ=0,4 0,7mm kó kă ấ iế kế ấu ố qué sa0 ữ ọ lại kô đợ iế i kim l0ại ì điệ 0ạ độ điệ a0 ôi đà ế ƚ¹0 ьé quÐƚ dïпǥ k̟ü ƚҺuËƚ ƚ¹0 sø пҺa k̟Һ0a kô dà iệ đ liê kế điệ i đế kim l0ại Kỹ uậ đắ i kế đà đợ kim iệm i sả ẩm 0ài 1.15 li da0 độ ọ iế kế é ạ0 ộ ậ k̟ҺÝ ເҺÝпҺ х¸ເ n yê n yê u ng L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n gu T0µп ộ iế ị đ0 ải ả0 đảm ia0 độ ເ¬ Һäເ Tõпǥ ьé ρҺËп ເđa ƚҺiÕƚ cz ệp lɣ ỏi ghi th ị ải l ia0 độ ọ12i ậ iệ ố u ải ƚҺiÕƚ k̟Õ ọc t n пҺau n tố i h vă ăn đạ ƚҺµпҺ гÊƚ пҺiὸu lίρ ận n v ăn Lu uậ n v L uậ L TÝпҺ ƚ0¸п lý uế ấ ấu iá đ ố u ải đợ iế kế ải làm sa0 - ầ ấ ì a ầ số ộ ở, iá đ u độ a ắ ứ i sà - ầ ằm ê ì ải a ầ số ộ ở, iá đ ầ kô ị u uấ kế luậ ôi iế kế e0 uê ắ: iá đ đợ ó ầ số ộ ấ iu ầ số ứ đặ môi u qua ò đầu dò đợ ó ầ số a0 iu lầ u sà ó ầ số ấ ầ số ộ đầu dò ỉ â a u độ 0à ộ đầu dò iá đ ù ầ số a0 iá đ ầ kô u độ d0 kô â iễu i đầu dò iệ iế kế ệ ố u ế ải iế kả0 sá ổ ầ ứ ku lµm ѵiƯເ Tг0пǥ méƚ sè ҺƯ ເҺèпǥ гuпǥ, пǥ−êi ƚa ó điu ỉ đợ ầ số ộ ệ số ả đ la ọ đợ ô số làm iệ ố ấ u e0 làm iệ má ó liệ kê kiu ệ ố u ế dù SM: đ k í: iá đ ồm mộ âm ẳ ặ đặ ê mộ i ă Tạ0 mặ ằ làm iệ l k đắ i lắ: iá đ mộ đế ặ đợ e0 đà ồi Đơ iả dễ iệ ấm ẳ đệm ló: iá đ ồm iu ấm ẳ kim l0ại, ló e iữa đệm a0 su Tơ ệ lò mắ ối iế Độ ứ iá đ ó a đổi ằ a đổi số đĩa kim l0ại sư dơпǥ Tг0пǥ ƚҺὺເ ƚÕ ƚҺiÕƚ k̟Õ ເҺÕ ƚ¹0, ôi đà iế kế ấ ả a l0ại ê iê ẽ ổ ợ i au Tu e0 ầu sử dụ ời dù, ò í iệm ó u ấ a lậ ứ e0 ầu n yê n yê gu u ng L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n cz ệp i o i thỏ 1.16 Tiế kế ế ạ0 0ei0Sa12à kế ká Điệ 0á ê sở 3d nghổ c t họ ố n i t lÝ ƚÝп ҺiÖu sè vă n n vă n đ 1.16.1 Ρ0ƚeпƚi0sƚaƚ: ậ ă Lu uận n v L uậ L Tг0пǥ ເ¸ເ ò í iệm 0á - lí, ô ệ sả uấ, 0ei0Sa ô ụ kô iếu đ â í, đá iá ì ê mặ iế iữa ậ liệu mô Diial 0á l0ại iế ị â a0 ấ lợ mở ộ kả ă ứ dụ, uậ iệ ời dù 0ei0Sa mộ iế ị điệ dù đ điu ki ế iệu iữa điệ làm iệ (W0ki Ele0de, WE) điệ uẩ (efeee Ele0de, E) ả điệ ằm mộ ell điệ 0á 0ei0Sa iệ điu ki ằ đa dò à0 ell qua ụ (ổ ợ a đối, 0ue Ele0de, E) T0 đa số ứ dụ, 0ei0Sa đ0 dò qua điệ làm iệ (WE) điệ đối (E) ếu ố đợ điu ki 0ei0Sa điệ ế ell ếu ố đợ đ0 dò điệ ell (ì 21) ì 21: Sơ đồ kối mộ 0ei0Sa (ái) iế kế ấu ì lai diial (ải) iệ a iế ị 0ei0Sa ó u dù ấu ì lai iữa kĩ uậ số kĩ uậ ôi la ọ ấu ì i iệ điu ki AD, DA ổ ợ í iệu điu ki ằ i mạ AD, DA 16 i đợ í ợ ê ù ả mạ Sial ae đợ é i qua ổ US ầ mm đợ â d ê ô ữ Laiew ửa sổ ì ệ ®0 ρ0ƚeпƚi0sƚaƚ ǥåm ьa k̟Һèi + K̟Һèi ƚҺiÕƚ lËρ ເ¸ເ ƚҺam sè ®0 n + K̟Һèi ьiόu diƠп sὺ ụ uộ dò n I e0 điệ ế qué U yê gu gu L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n cz ệp n ghi th c 12 t n ọ n tố i h vă ăn đạ ận v ăn Lu uận n v L u L + Kối 0ạ độ 0sill0s0e kả0 sá dò ế e0 ời ia S0 sá kế ôi đ0 i ữ kế đà đợ ô ố ê ế ii đờ đặ ệ điệ 0á, ấ kế 0à 0à í (ì 22) ì 22: Kế đ0 mộ ell điệ 0á, điệ uẩ A/Al, điệ ò lại du dị 0.1M/a0 0.1M, điệ ƚҺÕ quÐƚ –0.95Ѵ ®Õп 0.2Ѵ, ƚèເ ®é quÐƚ 7mѴ/s 1.16.2 ổ kế ká điệ 0á ( Ele0meial Imedae Se0s0-EIS) đ0 điệ 0á ằ 0ei0sa mộ ki , kô iếu đợ Tu iê mộ ả ứ điệ 0á ại mặ điệ ấ điệ â kô ậ iế mộ đầ đủ ki ỉ sử dụ ổ u à.ô ệ iệ đại é iê ứu điệ 0á ô qua ổ kế ká điệ 0á ôi đà iế kế kế ợ ổ kế ká điệ 0á ê 0ei0sa ói ê ỉ ь»пǥ k̟ü ƚҺƚ ρҺÇп mὸm хư lý ƚiпs ҺiƯu sè iệ é iảm iá iế ị ấ iu uê lý ả é đ0 ká đợ ì e0 sơ đồ sau n yờ n yê gu u ng L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th ỏi n ì 23:Sơ đồ uê lý cz ệp ghi th c 12 t n ọ n tố i h vă ăn đạ ận v n Lu un n v L u đ0 ká(ải) é L uậ 0á kỹ uậ l0k-i (ái) Mộ só 0a iu ỏ, k0ả đế 10m (đỉ - đỉ) i ầ số đà iế, đợ ộ êm à0 í iệu mộ iu ias k ế u đợ dò 0a iu iias s dị a ó iias đ0 đợ Muố đ0 ѵËɣ, пǥ−êi ƚa Һaɣ dïпǥ k̟ü ƚҺuËƚ l0ເk̟-iп ѵίi ƚҺiÕƚ ôi sử dụ kĩ uậ diial L0k-I đ kả0 sá í iệu dò iias i kỹ uậ L0k-i diial ôi ằ ô ữ lậ ì Laiew, iế ị 0à 0à đị đợ + ó lệ a : + Tæпǥ ƚгë Z : Z = Im I ƚǥ = Гe I U0 Re I + Im I + ầ ả0 Z Z ' = Z 0s Z"= Z si kế đà kim iệm ê ệ mô ỏ ệ kế í i iế em I 1.16.3 Kế luậ đá iá ôi đà iệ iệ iế kế ế ạ0 iế ị 0ei0sa đồ ời ổ kế điệ 0á ằ kĩ uậ Diial L0k-I Tiế ị đợ iế kế ằ ô ệ mi, dù DS i AD-DA ó ố độ u ì độ â iải l Ta iệ ải sử dụ kuế đại L0k-I mại đắ i, ôi đà iế kế l0k-i ằ ầ mm iế ằ ô ữ Laiew da ê uậ 0á 0elai0 ầ mạ đợ â d ủ ếu ê sở i mạ kuế đại uậ 0á uê dụ ậ, ệ iế ị ê i ì iế lậ ó a ế iế ị ổ đi, ó ứ dụ à0 kả0 sá mộ ệ điệ 0á, đó, đị ô số ầ iế méƚ L L uậ Lu uận n vă ận vă n vă n t 123 n ốt d đạ n oc i h gh z ọc iệp th n gu yờ n ả ứ điệ 0á ả a iữa mặ điệ - ấ điệ â, ó ứ dụ iu k0a ọ ả ứ dụ ô iệ , mà í dụ đầu iê kả0 sá ì ă mò ậ liệu môi Sả ẩm đà ó u ấ km e0 mộ số n yờ u ứ ă đ0 lờ ká mộ iế czịp ióng ê ệ đ0 lờ đa ă o i hỏ 3d ngh c t t ọ n tố i h vă ăn đạ ận v ăn Lu uận n v L u L Tu iê, li kiệ mà ôi sử dụ iế ị 0ei0Sa ò a đá ứ i ầ số qué a0, ố độ đá ứ ò ƚҺÊρ Tг0пǥ ƚҺêi ǥiaп ƚίi, ເҺόпǥ ƚ«i sÏ ƚiÕρ ƚơເ a đổi ệ ố ầ ứ, ìm uậ 0á ối u ầ mm đ â a0 ố độ lí dÃi ầ qué iế ị