Luận án Tiến sĩ Nghiên cứu chế tạo vật liệu tổ hợp nano CNTsWO3 ứng dụng làm cảm biến khí NH3 ở nhiệt độ phòng

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI DƯƠNG VŨ TRƯỜNG NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VẬT LIỆU TỔ HỢP NANO CNTS/ WO3 ỨNG DỤNG LÀM CẢM BIẾN KHÍ NH3 Ở NHIỆT ĐỘ PHỊNG LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ KỸ THUẬT Hà Nội - 2020 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI DƯƠNG VŨ TRƯỜNG NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VẬT LIỆU TỔ HỢP NANO CNTS/ WO3 ỨNG DỤNG LÀM CẢM BIẾN KHÍ NH3 Ở NHIỆT ĐỘ PHỊNG Ngành: Vật lý kỹ thuật Mã số: 9520401 LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ KỸ THUẬT NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: PGS.TS NGUYỄN HỮU LÂM PGS.TS LƯƠNG HỮU BẮC Hà Nội - 2020 LỜI CAM ĐOAN Tác giả xin cam đoan nội dung luận án cơng trình nghiên cứu riêng tác giả hướng dẫn PGS.TS Nguyễn Hữu Lâm PGS.TS Lương Hữu Bắc Các số liệu kết luận án trung thực chưa tác giả khác công bố Hà Nội, ngày tháng năm 2020 Người hướng dẫn khoa học Nghiên cứu sinh PGS.TS Nguyễn Hữu Lâm PGS.TS Lương Hữu Bắc Dương Vũ Trường LỜI CẢM ƠN Tôi xin gửi lời cảm ơn sâu sắc tới PGS.TS Nguyễn Hữu Lâm, PGS.TS Lương Hữu Bắc tận tâm hướng dẫn, giúp đỡ tơi q trình nghiên cứu thực luận án Sự quan tâm sâu sắc tính nghiêm khắc công việc hai thầy động lực để tơi hồn thành luận án Tơi xin gửi lời cảm ơn chân thành tới GS.TS Nguyễn Đức Chiến, PGS.TS Lê Tuấn, PGS.TS Đặng Đức Vượng, PGS.TS Trương Thị Ngọc Liên, TS Nguyễn Công Tú, TS Đỗ Đức Thọ, TS Đỗ Thị Ngọc Trâm, TS Lưu Thị Lan Anh, TS Vũ Xn Hiền tồn thể thầy giáo, cán Viện Vật lý kỹ thuật tận tình bảo, động viên, giúp đỡ, đóng góp ý kiến khoa học tạo điều kiện tốt cho tơi q trình học tập thực luận án Tôi xin cảm ơn nghiên cứu sinh, học viên cao học sinh viên môn Vật liệu điện tử hỗ trợ q trình thực luận án Tơi xin chân thành cảm ơn Viện Vật lý kỹ thuật nói riêng Trường Đại học Bách khoa Hà Nội nói chung tạo điều kiện thuận lợi cho q trình học tập thực luận án Tơi xin chân thành gửi lời cảm ơn đến thầy, cô Khoa Khoa học bản, Trường Đại học Công nghiệp Hà Nội động viên, giúp đỡ q trình giảng dạy học tập, để tơi hồn thành nhiệm vụ Cuối tơi xin gửi lời cảm ơn tới gia đình ln động viên, hỗ trợ chia sẻ để tơi hồn thành luận án Nội dung nghiên cứu luận án nằm khuôn khổ thực tài trợ Quỹ phát triển Khoa học Công nghệ Quốc gia (Nafosted) mã số 103.02-2015.05 103.02-2019.13 Tác giả Dương Vũ Trường MỤC LỤC DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT DANH MỤC CÁC BẢNG BIỂU DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ MỞ ĐẦU CHƯƠNG TỔNG QUAN 12 1.1 Vật liệu CNTs 12 1.1.1 Cấu trúc CNTs 13 1.1.2 Tính chất điện CNTs 15 1.1.3 Cơ chế hình thành CNTs 17 1.1.4 Một số phương pháp tổng hợp CNTs 18 1.1.5 Cơ chế nhạy khí cảm biến dựa CNTs 21 1.1.6 Biến tính CNTs 22 1.2 Vật liệu WO3 26 1.2.1 Cấu trúc tinh thể WO3 26 1.2.2 Tính chất điện WO3 27 1.2.3 Tổng hợp vật liệu nano WO3 28 1.2.4 Cảm biến khí dựa vật liệu WO3 29 1.3 Cảm biến khí dựa vật liệu SMO hoạt động nhiệt độ phòng 32 1.4 Cảm biến khí NH3 hoạt động nhiệt độ phịng 35 Kết luận chương 37 CHƯƠNG THỰC NGHIỆM 38 2.1 Tổng hợp CNTs phương pháp CVD 38 2.1.1 Hóa chất thiết bị 38 2.1.2 Phủ màng kim loại xúc tác 38 2.1.3 Tổng hợp CNTs 39 2.2 Chế tạo vật liệu nano WO3 phương pháp nhiệt thủy phân 42 2.2.1 Hóa chất thiết bị 42 2.2.2 Quy trình chế tạo vật liệu WO3 42 i 2.3 Chức hóa CNTs phương pháp Hummers 43 2.3.1 Hóa chất thiết bị 43 2.3.2 Quy trình chế tạo vật liệu CNTs chức hóa 44 2.4 Chế tạo cảm biến 45 2.4.1 Cảm biến dựa tổ hợp vật liệu CNTs/WO3 46 2.4.2 Cảm biến dựa tổ hợp vật liệu CNTs chức hóa/WO3 48 2.5 Phân tích hình thái cấu trúc 49 2.6 Hệ thí nghiệm khảo sát tính chất nhạy khí 50 2.7 Các thông số đặc trưng cảm biến khí 51 2.7.1 Độ đáp ứng khí 51 2.7.2 Thời gian đáp ứng thời gian hồi phục 51 2.7.3 Tính chọn lọc 52 2.7.4 Tính ổn định 52 2.7.5 Giới hạn phát 52 Kết luận chương 53 CHƯƠNG ĐẶC TÍNH NHẠY KHÍ CỦA CẢM BIẾN DỰA TRÊN VẬT LIỆU TỔ HỢP CNTs VÀ WO3 54 3.1 Hình thái cấu trúc vật liệu 56 3.1.1 Hình thái cấu trúc CNTs 56 3.1.2 Hình thái cấu trúc vật liệu WO3 58 3.1.3 Hình thái cấu trúc vật liệu tổ hợp CNTs/WO3 61 3.2 Tính chất nhạy khí cảm biến dựa vật liệu tổ hợp CNTs/WO3 65 3.2.1 Ảnh hưởng nhiệt độ làm việc lên độ đáp ứng cảm biến dựa vật liệu tổ hợp CNTs/WO3 65 3.2.2 Ảnh hướng tỉ lệ khối lượng thành phần lên tính chất nhạy khí cảm biến dựa vật liệu tổ hợp CNTs/WO3 77 3.2.3 Độ chọn lọc cảm biến dựa vật liệu tổ hợp CNTs/WO3 84 3.2.4 Ảnh hướng độ ẩm môi trường lên độ đáp ứng cảm biến dựa vật liệu tổ hợp CNTs/WO3 86 3.2.5 Cơ chế nhạy khí tổ hợp vật liệu CNTs/WO3 nhiệt độ phòng 89 Kết luận chương 92 CHƯƠNG ĐẶC TÍNH NHẠY KHÍ CỦA CẢM BIẾN DỰA TRÊN VẬT LIỆU TỔ HỢP CNTs CHỨC HÓA VÀ WO3 93 ii 4.1 Hình thái cấu trúc vật liệu 95 4.1.1 Hình thái cấu trúc CNTs chức hóa 95 4.1.2 Hình thái cấu trúc vật liệu tổ hợp CNTs chức hóa/ WO3 98 4.2 Tính chất nhạy khí nhiệt độ phịng cảm biến dựa tổ hợp vật liệu CNTs chức hóa WO3 101 4.2.1 Đặc tính nhạy khí NH3 cảm biến dựa CNTs chức hóa 101 4.2.2 Đặc tính nhạy khí NH3 cảm biến dựa tổ hợp vật liệu CNTs chức hóa/WO3 104 Kết luận chương 115 KẾT LUẬN 116 DANH MỤC CÁC CƠNG TRÌNH ĐÃ CƠNG BỐ CỦA LUẬN ÁN 117 DANH MỤC CÁC CƠNG TRÌNH ĐÃ CƠNG BỐ KHÁC 118 TÀI LIỆU THAM KHẢO 119 iii DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT TT Ký hiệu, Tên tiếng Anh viết tắt d Response Time Tên tiếng Việt Thời gian đáp ứng p Recovery Time Thời gian hồi phục CNTs Carbon Nanotubes Ống nano cácbon CVD Chemical Vapor Deposition Lắng đọng hóa học pha Energy-Dispersive X-ray Phổ tán sắc lượng tia X Spectroscopy Functionalized Carbon Nanotubes Ống nano cácbon chức hóa by Hummers Method phương pháp Hummers EDX f-CNTs FFT Fast Fourier Transform 11 LPG Liquefied Petroleum Gas Phổ FFT Field Emission Scanning Electron Kính hiển vi điện tử quét phát xạ FE-SEM Microscope trường High Resolution Transmission Hiển vi điện tử truyền qua phân HR-TEM Electron Microscope giải cao 10 LOD Limit of Detection Giới hạn phát khí Khí ga hóa lỏng 12 MWCNTs Multi Walled Carbon Nanotubes Ống nano cácbon đa vách 13 ppb Part per billion Một phần tỉ 14 ppm Part per million Một phần triệu 15 rGO Reduced Graphene Oxide Graphen ơxít khử 16 RT Room Temperature Nhiệt độ phòng 17 SEM Scanning Electron Microscopy Kính hiển vi điện tử quét 18 SMO Semiconducting Metal Oxides Ơxít kim loại bán dẫn 19 SWCNTs Single Walled Carbon Nanotubes Ống nano cácbon đơn vách Kính hiển vi điện tử truyền qua 21 XRD Transmission Electron Microscopy X-ray Diffraction 22 %wt percentage by weight Phần trăm khối lượng 20 TEM Nhiễu xạ tia X DANH MỤC CÁC BẢNG BIỂU Tên Bảng biểu Trang Bảng 1.1: Các tính chất vật lý ống nano cácbon đơn vách 12 Bảng 1.2: Một số công bố cảm biến khí kiểu điện trở dựa vật liệu CNTs 25 Bảng 1.3: Các pha hình thái cấu trúc khoảng nhiệt độ tồn WO3 27 Bảng 1.4: Một số cơng bố cảm biến khí kiểu điện trở dựa vật liệu WO3 31 Bảng 1.5: Một số cơng bố cảm biến khí NH3 hoạt động nhiệt độ phòng 36 Bảng 2.1: Ký hiệu mẫu cảm biến dựa tổ hợp CNTs/WO3 47 Bảng 2.2: Ký hiệu mẫu cảm biến dựa tổ hợp f-CNTs/WO3 49 Bảng 3.1: Bảng thống kê đỉnh Raman mẫu vật liệu tổ hợp CNTs/WO3 64 Bảng 3.2: Độ đáp ứng mẫu cảm biến dựa vật liệu tổ hợp CNTs/WO3 với 60 ppm NH3 số nhiệt độ khác 75 Bảng 3.3: Thời gian đáp ứng mẫu cảm biến nhiệt độ phòng 200C 76 Bảng 3.4: Thời gian phục hồi mẫu cảm biến nhiệt độ phòng 200C 76 Bảng 3.5: Thống kê thời gian đáp ứng/phục hồi cảm biến dựa tổ hợp 5% CNTs/ 95% WO3 nhiệt độ phòng mơi trường có độ ẩm thay đổi từ 25% đến 65% 88 Bảng 4.1: Đặc trưng nhạy khí cảm biến dựa tổ hợp CNTs chức hóa WO3 nhiệt độ phòng 110 Bảng 4.2: Bảng so sánh đặc tính nhạy khí số cảm biến dựa CNT/SMO công bố với kết nghiên cứu luận án 114 DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ Hình 1.1: Ảnh TEM MWCNTs có (a) vách, (b) vách, (c) vách [6] 13 Hình 1.2: Cấu trúc SWCNTs theo véc tơ Chiral [13] 14 Hình 1.3: Một số kiểu sai hỏng SWCNTs: a) sai hỏng với cạnh, b) sai hỏng với cạnh, c) sai hỏng với cạnh, d) sai hỏng với 3, cạnh [14] 15 Hình 1.4: Đồ thị biểu diễn mối quan hệ tán sắc a) graphen b) CNTs kim loại c) CNTs bán dẫn [17] 16 Hình 1.5: Mơ hình hình thành ống nano cácbon với: a) hạt kim loại xúc tác đỉnh b) hạt kim loại xúc tác đáy [18] 18 Hình 1.6: Sơ đồ hệ thiết bị tổng hợp CNTs theo phương pháp phóng điện hồ quang [23] 18 Hình 1.7: Sơ đồ hệ thiết bị tổng hợp CNTs theo phương pháp bốc bay laser [23] 19 Hình 1.8: Sơ đồ hệ thiết bị tổng hợp CNTs theo phương pháp lắng đọng hóa học từ pha [23] 20 Hình 1.9: Hình ảnh minh họa chế nhạy khí cảm biến kiểu điện trở dựa ống nano cácbon [30] 22 Hình 1.10: Các phương pháp chức hóa CNTs [34] 23 Hình 1.11: Minh họa chế cảm biến ơxít kim loại bán dẫn/CNTs [37] 24 Hình 1.12: Cấu trúc tinh thể WO3 [65] 26 Hình 1.13: Mơ hình giải thích tính bán dẫn loại n WO3- [68] 27 Hình 1.14: Thống kê số lượng báo liên quan đến vật liệu ơxít kim loại bán dẫn dùng cho cảm biến khí [72] 29 Hình 1.15: Sơ đồ minh họa chế nhạy khí vật liệu SMO: a) khơng khí b) tiếp xúc với khí thử [74] 30 Hình 2.1: Hệ máy bốc bay E-Beam Evaporation FL400 Viện Vật lý kỹ thuật– Đại học Bách Khoa Hà Nội 39 Hình 2.2: Hệ CVD dùng tổng hợp CNTs 40 Hình 2.3: Giản đồ điều khiển nhiệt độ lò CVD để chế tạo CNTs 40 Hình 2.4: Sơ đồ quy trình tổng hợp vật liệu nano WO3 43 Hình 2.5: Sơ đồ quy trình chế tạo CNTs chức hóa phương pháp Hummers 44 [15] M H Rmmeli, P Ayala, T Pichler (2010), Carbon Nanotubes and Related Structures: Production and Formation, in Carbon Nanotubes and Related Structures, Weinheim, Germany: Wiley-VCH Verlag GmbH & Co KGaA, pp 1–21 [16] V Popov (2004), Carbon nanotubes: properties and application, Materials Science and Engineering: R: Reports, vol 43, pp 61–102 [17] E Akbari, Z Buntat, M Ahmad, A Enzevaee, R Yousof, S Iqbal, M Ahmadi, M Sidik, H Karimi (2014), Analytical Calculation of Sensing Parameters on Carbon Nanotube Based Gas Sensors, Sensors, vol 14, pp 5502–5515 [18] M Kumar (2010), Carbon nanotube synthesis and growth mechanism, Nanotechnology Perceptions, vol 6, pp 7–28 [19] K Shanmugam, J Manivannan, M Manjuladevi (2020), Stupendous Nanomaterials: Carbon Nanotubes Synthesis, Characterization, and Applications, in Nanomaterials - Toxicity, Human Health and Environment, vol 35, IntechOpen, 2020, pp 455–460 [20] N L W Septiani, B Yuliarto (2016), Review—The Development of Gas Sensor Based on Carbon Nanotubes, Journal of The Electrochemical Society, vol 163, pp B97–B106 [21] J Prasek, J Drbohlavova, J Chomoucka, J Hubalek, O Jasek, V Adam, R Kizek (2011), Methods for carbon nanotubes synthesis—review, Journal of Materials Chemistry, vol 21, p 15872 [22] N Gupta, S M Gupta, S K Sharma (2019), Carbon nanotubes: synthesis, properties and engineering applications, Carbon Letters, vol 29 pp 419–447 [23] Gore, A Sane (2011), Flame Synthesis of Carbon Nanotubes, in Carbon Nanotubes - Synthesis, Characterization, Applications, Siva Yellampalli, Ed InTech [24] W Huang, Y Wang, G Luo, F Wei (2003), 99.9% Purity Multi-Walled Carbon Nanotubes By Vacuum High-Temperature Annealing, Carbon, vol 41, pp 2585–2590 [25] J T W Yeow, Y Wang (2009), A review of carbon nanotubes-based gas sensors, Journal of Sensors, vol 2009, p 24 [26] J Zhang, A Boyd, A Tselev, M Paranjape, P Barbara (2006), Mechanism of NO2 detection in carbon nanotube field effect transistor chemical sensors, Applied Physics Letters, vol 88, p 123112 [27] N Peng, Q Zhang, C L Chow, O K Tan, N Marzari (2009), Sensing Mechanisms for Carbon Nanotube Based NH3 Gas Detection, Nano Letters, vol 9, pp 1626–1630 120 [28] Y Li, M Hodak, W Lu, J Bernholc (2016), Mechanisms of NH3 and NO2 detection in carbon-nanotube-based sensors: An ab initio investigation, Carbon, vol 101, pp 177–183 [29] J F Fennell, S F Liu, J M Azzarelli, J G Weis, S Rochat, K A Mirica, J B Ravnsbæk, T M Swager (2016), Nanowire Chemical/Biological Sensors: Status and a Roadmap for the Future, Angewandte Chemie - International Edition, vol 55, pp 1266–1281 [30] R Tang, Y Shi, Z Hou, L Wei (2017), Carbon nanotube-based chemiresistive sensors, Sensors (Switzerland), vol 17 [31] E Conts-de, J Li, C R (2013), Latest Advances in Modified/Functionalized Carbon Nanotube- Based Gas Sensors, in Syntheses and Applications of Carbon Nanotubes and Their Composites, InTech [32] M Mittal, A Kumar (2014), Carbon nanotube (CNT) gas sensors for emissions from fossil fuel burning, Sensors and Actuators B: Chemical, vol 203, pp 349–362 [33] A G Osorio, I C L Silveira, V L Bueno, C P Bergmann (2008), H2SO4 /HNO3/HCl—Functionalization and its effect on dispersion of carbon nanotubes in aqueous media, Applied Surface Science, vol 255, pp 2485– 2489 [34] M Karimi, N Solati, M Amiri, H Mirshekari, E Mohamed, M Taheri, M Hashemkhani, A Saeidi, M A Estiar, P Kiani, A Ghasemi, S M M Basri, A R Aref, M R Hamblin (2015), Carbon nanotubes part I: preparation of a novel and versatile drug-delivery vehicle, Expert Opinion on Drug Delivery, vol 12, pp 1071–1087 [35] F V Ferreira, L D S Cividanes, F S Brito, B R C de Menezes, W Franceschi, E A N Simonetti, G P Thim (2016), Functionalization of Carbon Nanotube and Applications, in SpringerBriefs in Applied Sciences and Technology, Springer, pp 31–61 [36] I.-Y Jeon, D Wook, N Ashok, J.-B Baek (2011), Functionalization of Carbon Nanotubes, in Carbon Nanotubes - Polymer Nanocomposites, InTech [37] N L W Septiani, B Yuliarto (2016), Review—The Development of Gas Sensor Based on Carbon Nanotubes, Journal of The Electrochemical Society, vol 163, pp B97–B106 [38] M Ates, A A Eker, B Eker (2017), Carbon nanotube-based nanocomposites and their applications, Journal of Adhesion Science and Technology, vol 31, pp 1977–1997 [39] R Malik, V K Tomer, Y K Mishra, L Lin (2020), Functional gas sensing nanomaterials: A panoramic view, Applied Physics Reviews, vol 7, p 021301 121 [40] V M Aroutiounian (2016), Metal oxide gas sensors decorated with carbon nanotubes, Lithuanian Journal of Physics, vol 55, pp 319–329 [41] Q T M Nguyet, N Van Duy, C Manh Hung, N D Hoa, N Van Hieu (2018), Ultrasensitive NO2 gas sensors using hybrid heterojunctions of multi-walled carbon nanotubes and on-chip grown SnO2 nanowires, Applied Physics Letters, vol 112, p 153110 [42] N Van Duy, N D Hoa, N T Dat, D T T Le, N Van Hieu (2016), AmmoniaGas-Sensing Characteristics of WO3/Carbon Nanotubes Nanocomposites: Effect of Nanotube Content and Sensing Mechanism, Science of Advanced Materials, vol 8, pp 524–533 [43] J M Tulliani, A Cavalieri, S Musso, E Sardella, F Geobaldo (2011), Room temperature ammonia sensors based on zinc oxide and functionalized graphite and multi-walled carbon nanotubes, Sensors and Actuators, B: Chemical, vol 152, pp 144–154 [44] N Van Hieu, V Van Quang, N D Hoa, D Kim (2011), Preparing large-scale WO3 nanowire-like structure for high sensitivity NH3 gas sensor through a simple route, Current Applied Physics, vol 11, pp 657–661 [45] N Ansari, M Y Lone, Shumaila, J Ali, M Zulfequar, M Husain, S S Islam, S Husain (2020), Trace level toxic ammonia gas sensing of single-walled carbon nanotubes wrapped polyaniline nanofibers, Journal of Applied Physics, vol 127 [46] R J Oweis, B A Albiss, M I Al-Widyan, M A Al-Akhras (2014), Hybrid zinc oxide nanorods/carbon nanotubes composite for nitrogen dioxide gas sensing, Journal of Electronic Materials, vol 43, pp 3222–3228 [47] S Abdulla, D V Ponnuvelu, B Pullithadathil (2017), Rapid, Trace-Level Ammonia Gas Sensor Based on Surface-Engineered Ag Nanoclusters@Polyaniline/Multiwalled Carbon Nanotubes and Insights into Their Mechanistic Pathways, ChemistrySelect, vol 2, pp 4277–4289 [48] M Iqbal, B Yuliarto, N Nugraha (2013), Modifications of multi-walled carbon nanotubes on zinc oxide nanostructures for carbon monoxide (CO) gas sensitive layer, Advanced Materials Research, vol 789, pp 12–15 [49] Y J Kwon, A Mirzaei, S Y Kang, M S Choi, J H Bang, S S Kim, H W Kim (2017), Synthesis, characterization and gas sensing properties of ZnOdecorated MWCNTs, Applied Surface Science, vol 413, pp 242–252 [50] A Hannon, J Li (2019), Solid state electronic sensors for detection of carbon dioxide, Sensors (Switzerland), vol 19, pp 1–14 [51] M Dai, L Zhao, H Gao, P Sun, F Liu, S Zhang, K Shimanoe, N Yamazoe, G Lu (2017), Hierarchical Assembly of α-Fe2O3 Nanorods on Multiwall 122 Carbon Nanotubes as a High-Performance Sensing Material for Gas Sensors, ACS Applied Materials and Interfaces, vol 9, pp 8919–8928 [52] T D Vu, T N Cong, B L Huu, C N Duc, L N Huu (2019), SurfaceModified Carbon Nanotubes for Enhanced Ammonia Gas Sensitivity at Room Temperature, Journal of Nanoscience and Nanotechnology, vol 19, pp 7447– 7451 [53] H Zheng, J Z Ou, M S Strano, R B Kaner, A Mitchell, K Kalantar-Zadeh (2011), Nanostructured tungsten oxide - Properties, synthesis, and applications, Advanced Functional Materials, vol 21, pp 2175–2196 [54] R Malik, V K Tomer, Y K Mishra, L Lin (2020), Functional gas sensing nanomaterials: A panoramic view, Applied Physics Reviews, vol 2020 [55] A Danine, L Cojocaru, C Faure, C Olivier, T Toupance, G Campet, A Rougier (2014), Room Temperature UV treated WO3 thin films for electrochromic devices on paper substrate, Electrochimica Acta, vol 129, pp 113–119 [56] J Wang, X W Sun, Z Jiao (2010), Application of nanostructures in electrochromic materials and devices: Recent progress, Materials, vol 3, pp 5029–5053 [57] N Tahmasebi Garavand, M Ranjbar, S M Mahdavi, A Iraji Zad (2012), Colouration process of colloidal tungsten oxide nanoparticles in the presence of hydrogen gas, Applied Surface Science, vol 258, pp 10089–10094 [58] G Hai, J Huang, Y Jie, J Li, L Cao, G Zhang, Y Wang (2016), Influence of octadecylamine on the phase composition and the photocatalytic property of the tungsten oxide, Materials Letters, vol 174, pp 134–137 [59] Y Kong, H Sun, X Zhao, B Gao, W Fan (2015), Fabrication of hexagonal/cubic tungsten oxide homojunction with improved photocatalytic activity, Applied Catalysis A: General, vol 505, pp 447–455 [60] V Ioannis, G Irene, V Dimitra, K George, K Nikos (2015), Synthesis of WO3 catalytic powders: evaluation of photocatalytic activity under NUV/visible light irradiation and alkaline reaction pH, Journal of Sol-Gel Science and Technology, vol 76, pp 120–128 [61] A Maity, S B Majumder (2015), NO2 sensing and selectivity characteristics of tungsten oxide thin films, Sensors and Actuators B: Chemical, vol 206, pp 423–429 [62] J Yu, K W Cheung, W H Yan, Y X Li, D Ho (2017), High-sensitivity lowpower tungsten doped niobium oxide nanorods sensor for nitrogen dioxide air pollution monitoring, Sensors and Actuators, B: Chemical, vol 238, pp 204– 213 123 [63] A Ponzoni, E Comini, G Sberveglieri, J Zhou, S Z Deng, N S Xu, Y Ding, Z L Wang (2006), Ultrasensitive and highly selective gas sensors using threedimensional tungsten oxide nanowire networks, Applied Physics Letters, vol 88, pp 203101–203104 [64] J Hu, Y Sun, X Wang, L Chen, W Zhang, Y Chen (2017), Synthesis and gas sensing properties of molybdenum oxide modified tungsten oxide microstructures for ppb-level hydrogen sulphide detection, RSC Advances, vol 7, pp 28542–28547 [65] Y Lee, T Lee, W Jang, A Soon (2016), Unraveling the Intercalation Chemistry of Hexagonal Tungsten Bronze and Its Optical Responses, Chemistry of Materials, vol 28, pp 4528–4535 [66] A Al Mohammad, M Gillet (2002), Phase transformations in WO3 thin films during annealing, Thin Solid Films, vol 408, pp 302–309 [67] H Zheng, J Z Ou, M S Strano, R B Kaner, A Mitchell, K Kalantar-zadeh (2011), Nanostructured Tungsten Oxide - Properties, Synthesis, and Applications, Advanced Functional Materials, vol 21, pp 2175–2196 [68] C Lambert-Mauriat, V Oison, L Saadi, K Aguir (2012), Ab initio study of oxygen point defects on tungsten trioxide surface, Surface Science, vol 606, pp 40–45 [69] M.-T Chang, L.-J Chou, Y.-L Chueh, Y.-C Lee, C.-H Hsieh, C.-D Chen, Y.-W Lan, L.-J Chen (2007), Nitrogen-Doped Tungsten Oxide Nanowires: Low-Temperature Synthesis on Si, and Electrical, Optical, and Field-Emission Properties, Small, vol 3, pp 658–664 [70] R S Vemuri, M H Engelhard, C V Ramana (2012), Correlation between surface chemistry, density, and band gap in nanocrystalline WO3 thin films, ACS Applied Materials and Interfaces, vol 4, pp 1371–1377 [71] V Hariharan, B Gnanavel, R Sathiyapriya, V Aroulmoji (2019), A Review on Tungsten Oxide (WO3) and their Derivatives for Sensor Applications, International Journal of Advanced Science and Engineering, vol 5, pp 1163– 1168 [72] H Long, W Zeng, H Zhang (2015), Synthesis of WO3 and its gas sensing: a review, Journal of Materials Science: Materials in Electronics, vol 26, pp 4698–4707 [73] A Oprea, D Degler, N Barsan, A Hemeryck, J Rebholz (2019), Basics of semiconducting metal oxide–based gas sensors, in Gas Sensors Based on Conducting Metal Oxides, Elsevier, pp 61–165 [74] P Shankar, J B B Rayappan (2017), Monomer: Design of ZnO Nanostructures (Nanobush and Nanowire) and Their Room-Temperature 124 Ethanol Vapor Sensing Signatures, ACS Applied Materials & Interfaces, vol 9, pp 38135–38145 [75] W Yu-De, C Zhan-Xian, L Yan-Feng, Z Zhen-Lai, W Xing-Hui (2001), Electrical and gas-sensing properties of WO3 semiconductor material, SolidState Electronics, vol 45, pp 639–644 [76] C Wongchoosuk, A Wisitsoraat, D Phokharatkul, A Tuantranont, T Kerdcharoen (2010), Multi-walled carbon nanotube-doped tungsten oxide thin films for hydrogen gas sensing, Sensors, vol 10 pp 7705–7715 [77] I M Szilágyi, L Wang, P I Gouma, C Balázsi, J Madarász, G Pokol (2009), Preparation of hexagonal WO3 from hexagonal ammonium tungsten bronze for sensing NH3, Materials Research Bulletin, vol 44, pp 505–508 [78] D Punetha, S K Pandey (2019), Optimization in NH3 gas response of WO3 nanorods based sensor array, in 2019 IEEE SENSORS, Oct 2019, pp 1–4 [79] M Takács, C Dücső, Z Lábadi, A E Pap (2014), Effect of Hexagonal WO3 Morphology on NH3 Sensing, Procedia Engineering, vol 87, pp 1011–1014 [80] P T H Van, D D Dai, N Van Duy, N D Hoa, N Van Hieu (2016), Ultrasensitive NO2 gas sensors using tungsten oxide nanowires with multiple junctions self-assembled on discrete catalyst islands via on-chip fabrication, Sensors and Actuators, B: Chemical, vol 227, pp 198–203 [81] D.-H Baek, K Lee, J Choi, J Kim, H Na (2018), Simple fabrication method of silicon/tungsten oxide nanowires heterojunction for NO2 gas sensors, Sensors and Actuators B: Chemical, vol 265, pp 522–528 [82] P S Kolhe, P Mutadak, N Maiti, K M Sonawane (2020), Synthesis of WO3 nanoflakes by hydrothermal route and its gas sensing application, Sensors and Actuators A: Physical, vol 304, p 111877 [83] S Kim, S Park, S Park, C Lee (2015), Acetone sensing of Au and Pddecorated WO3 nanorod sensors, Sensors and Actuators, B: Chemical, vol 209, pp 180–185 [84] K H Kim, S J Kim, H J Cho, N H Kim, J S Jang, S J Choi, I D Kim (2017), WO3 nanofibers functionalized by protein-templated RuO2 nanoparticles as highly sensitive exhaled breath gas sensing layers, Sensors and Actuators, B: Chemical, vol 241, pp 1276–1282 [85] V Kruefu, A Wisitsoraat, A Tuantranont, S Phanichphant (2015), Ultrasensitive H2S sensors based on hydrothermal/impregnation-made Rufunctionalized WO3 nanorods, Sensors and Actuators B: Chemical, vol 215, pp 630–636 [86] X Geng, J You, J Wang, C Zhang (2017), Visible light assisted nitrogen dioxide sensing using tungsten oxide - Graphene oxide nanocomposite sensors, 125 Materials Chemistry and Physics, vol 191, pp 114–120 [87] X Jie, D Zeng, J Zhang, K Xu, J Wu, B Zhu, C Xie (2015), Graphenewrapped WO3 nanospheres with room-temperature NO2 sensing induced by interface charge transfer, Sensors and Actuators B: Chemical, vol 220, pp 201–209 [88] T Wang, J Hao, S Zheng, Q Sun, D Zhang, Y Wang (2018), Highly sensitive and rapidly responding room-temperature NO2 gas sensors based on WO3 nanorods/sulfonated graphene nanocomposites, Nano Research, vol 11, pp 791–803 [89] G Jeevitha, R Abhinayaa, D Mangalaraj, N Ponpandian, P Meena, V Mounasamy, S Madanagurusamy (2019), Porous reduced graphene oxide (rGO)/WO3 nanocomposites for the enhanced detection of NH3 at room temperature, Nanoscale Advances, vol 1, pp 1799–1811 [90] P V Tòng (2016), “Nghiên cứu chế tạo vật liệu WO3 cấu trúc nano phương pháp hóa nhằm ứng dụng cảm biến khí NO2 NH3,” Luận án TS [91] S Choi, M Bonyani, G J Sun, J K Lee, S K Hyun, C Lee (2018), Cr2O3 nanoparticle-functionalized WO3 nanorods for ethanol gas sensors, Applied Surface Science, vol 432 pp 241–249, 2018 [92] Y Jian, W Hu, Z Zhao, P Cheng, H Haick, M Yao, W Wu (2020), Gas Sensors Based on Chemi-Resistive Hybrid Functional Nanomaterials, NanoMicro Letters, vol 12, p 71 [93] Y Deng (2019), Semiconducting Metal Oxides for Gas Sensing Singapore: Springer Singapore [94] Q A Drmosh, Z H Yamani, A K Mohamedkhair, A H Y Hendi, A Ibrahim (2018), Room-temperature detection of hydrogen by platinumdecorated tin oxide thin films augmented by heat-treatment, Vacuum, vol 156, pp 68–77 [95] S Yan, Z Li, H Li, Z Wu, J Wang, W Shen, Y Q Fu (2018), Ultra-sensitive room-temperature H2S sensor using Ag–In2O3 nanorod composites, Journal of Materials Science, vol 53, pp 16331–16344 [96] Q A Drmosh, Z H Yamani, A K Mohamedkhair, A H Y Hendi, M K Hossain, A Ibrahim (2018), Gold nanoparticles incorporated SnO2 thin film: highly responsive and selective detection of NO2 at room temperature, Materials Letters, vol 214 pp 283–286 [97] O Lupan, V Postica, F Labat, I Ciofini, T Pauporté, R Adelung (2018), Ultra-sensitive and selective hydrogen nanosensor with fast response at room temperature based on a single Pd/ZnO nanowire, Sensors and Actuators B: 126 Chemical, vol 254, pp 1259–1270 [98] P P Subha, K Hasna, M K Jayaraj (2017), Surface modification of TiO2 nanorod arrays by Ag nanoparticles and its enhanced room temperature ethanol sensing properties, Materials Research Express, vol 4, p 105037 [99] Y Wang, B Liu, D Cai, H Li, Y Liu, D Wang, L Wang, Q Li, T Wang (2014), Room-temperature hydrogen sensor based on grain-boundary controlled Pt decorated In2O3 nanocubes, Sensors and Actuators, B: Chemical, vol 201 pp 351–359 [100] H Tang, M Yan, H Zhang, S Li, X Ma, M Wang, D Yang (2006), A selective NH3 gas sensor based on Fe2O3-ZnO nanocomposites at room temperature, Sensors and Actuators, B: Chemical, vol 114 pp 910–915 [101] J Zhou, M Ikram, A U Rehman, J Wang, Y Zhao, K Kan, W Zhang, F Raziq, L Li, K Shi (2018), Highly selective detection of NH3 and H2S using the pristine CuO and mesoporous In2O3@CuO multijunctions nanofibers at room temperature, Sensors and Actuators B: Chemical, vol 255, pp 1819– 1830 [102] P Chaudhari, S Mishra (2016), Effect of CuO as a dopant in TiO2 on ammonia and hydrogen sulphide sensing at room temperature, Measurement, vol 90, pp 468–474 [103] M Bao, Y Chen, F Li, J Ma, T Lv, Y Tang, L Chen, Z Xu, T Wang (2014), Plate-like p–n heterogeneous NiO/WO3 nanocomposites for high performance room temperature NO2 sensors, Nanoscale, vol 6, p 4063 [104] A Dey (2018), Semiconductor metal oxide gas sensors: A review, Materials Science and Engineering B: Solid-State Materials for Advanced Technology, vol 229, pp 206–217 [105] A U Rehman, J Zhang, J Zhou, K Kan, L Li, K Shi (2017), Synthesis of mesoporous K2O-In3O3 nanowires and NOx gas sensitive performance study in room temperature, Microporous and Mesoporous Materials, vol 240, pp 50– 56 [106] C Jiang, S Xu, G Zhang, L Li, Y Yang, K Shi (2013), Facile synthesis of CaO-SnO2 nanocrystalline composite rods by electrospinning method with enhanced gas sensitive performance at room temperature, CrystEngComm, vol 15 pp 2482–2489 [107] M Kaur, B K Dadhich, R Singh, KailasaGanapathi, T Bagwaiya, S Bhattacharya, A K Debnath, K P Muthe, S C Gadkari (2017), RF sputtered SnO2: NiO thin films as sub-ppm H2S sensor operable at room temperature, Sensors and Actuators, B: Chemical, vol 242 pp 389–403 [108] G Lu, L E Ocola, J Chen (2009), Reduced graphene oxide for room127 temperature gas sensors, Nanotechnology, vol 20, p 445502 [109] Y Wang, S Gong (2015), Cotton-like Fe2O3 anchored on graphene sheets for improved NO2 sensing at room temperature, Journal of Materials Science: Materials in Electronics, vol 26, pp 5024–5029 [110] H Tai, Z Yuan, W Zheng, Z Ye, C Liu, X Du (2016), ZnO Nanoparticles/Reduced Graphene Oxide Bilayer Thin Films for Improved NH3-Sensing Performances at Room Temperature, Nanoscale Research Letters, vol 11 [111] Y Yang, L Sun, X Dong, H Yu, T Wang, J Wang, R Wang, W Yu, G Liu (2016), Fe3O4 /rGO nanocomposite: synthesis and enhanced NOx gas-sensing properties at room temperature, RSC Advances, vol 6, pp 37085–37092 [112] R Ghosh, A K Nayak, S Santra, D Pradhan, P K Guha (2015), Enhanced ammonia sensing at room temperature with reduced graphene oxide/tin oxide hybrid films, RSC Advances, vol 5, pp 50165–50173 [113] S Thomas, N Joshi, V K Tomer, Eds (2020), Functional Nanomaterials: Advances in Gas Sensing Technologies Singapore: Springer Singapore [114] C Dong, R Zhao, L Yao, Y Ran, X Zhang, Y Wang (2020), A review on WO3 based gas sensors: Morphology control and enhanced sensing properties, Journal of Alloys and Compounds, vol 820, p 153194 [115] Z Liu, L Yu, F Guo, S Liu, L Qi, M Shan, X Fan (2017), Facial development of high performance room temperature NO2 gas sensors based on ZnO nanowalls decorated rGO nanosheets, Applied Surface Science, vol 423 pp 721–727 [116] B Y Wei, M C Hsu, P G Su, H M Lin, R J Wu, H J Lai (2004), A novel SnO2 gas sensor doped with carbon nanotubes operating at room temperature, Sensors and Actuators, B: Chemical, vol 101 pp 81–89 [117] G Lu, L E Ocola, J Chen (2009), Room-temperature gas sensing based on electron transfer between discrete tin oxide nanocrystals and multiwalled carbon nanotubes, Advanced Materials, vol 21 pp 2487–2491 [118] N Phansiri (2020), Response properties of nitrogen dioxide gas sensors with tin oxide decorated carbon nanotube channel fabricated by two-step dielectrophoretic assembly, AIP Advances, vol 10, p 055223 [119] V Srivastava, K Jain (2016), At room temperature graphene/SnO2 is better than MWCNT/SnO2 as NO2 gas sensor, Materials Letters, vol 169, pp 28–32 [120] F Schütt, V Postica, R Adelung, O Lupan (2017), Single and Networked ZnO–CNT Hybrid Tetrapods for Selective Room-Temperature HighPerformance Ammonia Sensors, ACS Applied Materials & Interfaces, vol 9, pp 23107–23118 128 [121] S N Behera, M Sharma, V P Aneja, R Balasubramanian (2013), Ammonia in the atmosphere: a review on emission sources, atmospheric chemistry and deposition on terrestrial bodies, Environmental Science and Pollution Research, vol 20, pp 8092–8131 [122] B Timmer, W Olthuis, A Van Den Berg (2005), Ammonia sensors and their applications - A review, Sensors and Actuators, B: Chemical, vol 107 pp 666–677 [123] R A Michaels (1999), Emergency planning and the acute toxic potency of inhaled ammonia., Environmental Health Perspectives, vol 107, pp 617–627 [124] NIOSH, CDC, USDHHS (1992), Occupational Safety and Health Guideline for Ammonia, Occupational Safety and Health Guidelines pp 1–7 [125] EPA (2013), Aqautic Life Ambient Water Quality Criteria for Ammonia Freshwater 2013, United States Environmental Protection Agency [126] P M Calaque, C J Vergara, L I Ballesteros, A Somintac (2017), Development and characterization of a novel ZnO nanorods-SnO2:F nanoflakes thin film for room-temperature ammonia and humidity sensing, AIP Conference Proceedings, vol 1808 [127] J Wang, P Yang, X Wei (2015), High-Performance, Room-Temperature, and No-Humidity-Impact Ammonia Sensor Based on Heterogeneous Nickel Oxide and Zinc Oxide Nanocrystals, ACS Applied Materials & Interfaces, vol 7, pp 3816–3824 [128] S Bhuvaneshwari, S Papachan, N Gopalakrishnan (2017), Free standing CuO-MnO2 nanocomposite for room temperature ammonia sensing, AIP Conference Proceedings, vol 1832 [129] G P Evans, M J Powell, I D Johnson, D P Howard, D Bauer, J A Darr, I P Parkin (2018), Room temperature vanadium dioxide–carbon nanotube gas sensors made via continuous hydrothermal flow synthesis, Sensors and Actuators B: Chemical, vol 255, pp 1119–1129 [130] Y Chen, W Zhang, Q Wu (2017), A highly sensitive room-temperature sensing material for NH3: SnO2-nanorods coupled by rGO, Sensors and Actuators B: Chemical, vol 242, pp 1216–1226 [131] H Meng, W Yang, K Ding, L Feng, Y Guan (2015), Cu2O nanorods modified by reduced graphene oxide for NH3 sensing at room temperature, Journal of Materials Chemistry A, vol 3, pp 1174–1181 [132] X Li, Y Zhao, X Wang, J Wang, A M Gaskov, S A Akbar (2016), Reduced graphene oxide (rGO) decorated TiO2 microspheres for selective roomtemperature gas sensors, Sensors and Actuators B: Chemical, vol 230, pp 330–336 129 [133] P.-G Su, L.-Y Yang (2016), NH3 gas sensor based on Pd/SnO2 /RGO ternary composite operated at room-temperature, Sensors and Actuators B: Chemical, vol 223, pp 202–208 [134] P G Su, F Y Chen, C H Wei (2018), Simple one-pot polyol synthesis of Pd nanoparticles, TiO2 microrods and reduced graphene oxide ternary composite for sensing NH3 gas at room temperature, Sensors and Actuators, B: Chemical, vol 254, pp 1125–1132 [135] G Singh, A Choudhary, D Haranath, A G Joshi, N Singh, S Singh, R Pasricha (2012), ZnO decorated luminescent graphene as a potential gas sensor at room temperature, Carbon, vol 50 pp 385–394 [136] N Van Hieu, L T B Thuy, N D Chien (2008), Highly sensitive thin film NH3 gas sensor operating at room temperature based on SnO2/MWCNTs composite, Sensors and Actuators B: Chemical, vol 129, pp 888–895 [137] N Q Lịch (2016), Nghiên cứu chế tạo ống nano cacbon phương pháp CVD ứng dụng làm cảm biến khí NH3, Luận án TS [138] E S Snow, F K Perkins, E J Houser, S C Badescu, T L Reinecke (2005), Chemical detection with a single-walled carbon nanotube capacitor, Science, vol 307, pp 1942–1945 [139] A Modi, N Koratkar, E Lass, B Wei, P M Ajayan (2003), Miniaturized gas ionization sensors using carbon nanotubes, Nature, vol 424, pp 171–174 [140] T Someya, J Small, P Kim, C Nuckolls, J T Yardley (2003), Alcohol vapor sensors based on single-walled carbon nanotube field effect transistors, Nano Letters, vol 3, pp 877–881 [141] J Li, Y Lu, Q Ye, M Cinke, J Han, M Meyyappan (2003), Carbon nanotube sensors for gas and organic vapor detection, Nano Letters, vol 3, pp 929–933 [142] Q T M Nguyệt (2018), Nghiên cứu chế tạo tính chất nhạy khí cấu trúc dị thể SnO2 ống nano carbon, Luận án TS [143] V Datsyuk, M Kalyva, K Papagelis, J Parthenios, D Tasis, A Siokou, I Kallitsis, C Galiotis (2008), Chemical oxidation of multiwalled carbon nanotubes, Carbon, vol 46, pp 833–840 [144] S K Biswas, J O Baeg, S J Moon, K J Kong, W W So (2012), Morphologically different WO3 nanocrystals in photoelectrochemical water oxidation, Journal of Nanoparticle Research, vol 14 [145] R Lu, X Zhong, S Shang, S Wang, M Tang (2018), Effects of sintering temperature on sensing properties of WO3 and Ag-WO3 electrode for NO2 sensor, Royal Society Open Science, vol 5, pp 1–11 [146] I M Szilágyi, J Madarász, G Pokol, P Király, G Tárkányi, S Saukko, J 130 Mizsei, A L Tóth, A Szabó, K Varga-Josepovits (2008), Stability and controlled composition of hexagonal WO3, Chemistry of Materials, vol 20, pp 4116–4125 [147] R F Garcia-Sanchez, T Ahmido, D Casimir, S Baliga, P Misra (2013), Thermal effects associated with the raman spectroscopy of WO3 gas-sensor materials, Journal of Physical Chemistry A, vol 117, pp 13825–13831 [148] H Murphy, P Papakonstantinou, T I T Okpalugo (2006), Raman study of multiwalled carbon nanotubes functionalized with oxygen groups, Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, vol 24, p 715 [149] P Puech, T Hu, A Sapelkin, I Gerber, V Tishkova, E Pavlenko, B Levine, E Flahaut, W Bacsa (2012), Charge transfer between carbon nanotubes and sulfuric acid as determined by Raman spectroscopy, Physical Review B Condensed Matter and Materials Physics, vol 85, pp 1–6 [150] M Mews, L Korte, B Rech (2016), Oxygen vacancies in tungsten oxide and their influence on tungsten oxide/silicon heterojunction solar cells, Solar Energy Materials and Solar Cells, vol 158, pp 77–83 [151] H Chang, J Do Lee, S M Lee, Y H Lee (2001), Adsorption of NH3 and NO2 molecules on carbon nanotubes, Applied Physics Letters, vol 79, pp 3863– 3865 [152] K Bradley, J C P Gabriel, M Briman, A Star, G Grüner (2003), Charge transfer from ammonia physisorbed on nanotubes, Physical Review Letters, vol 91, pp 1–4 [153] A J Kulandaisamy, J R Reddy, P Srinivasan, K J Babu, G K Mani, P Shankar, J B B Rayappan (2016), Room temperature ammonia sensing properties of ZnO thin films grown by spray pyrolysis: Effect of Mg doping, Journal of Alloys and Compounds, vol 688, pp 422–429 [154] S G Wang, Q Zhang, D J Yang, P J Sellin, G F Zhong (2004), Multiwalled carbon nanotube-based gas sensors for NH3 detection, Diamond and Related Materials, vol 13, pp 1327–1332 [155] M E Franke, T J Koplin, U Simon (2006), Metal and metal oxide nanoparticles in chemiresistors: Does the nanoscale matter?, Small, vol 2, pp 36–50 [156] K Wetchakun, T Samerjai, N Tamaekong, C Liewhiran, C Siriwong, V Kruefu, A Wisitsoraat, A Tuantranont, S Phanichphant (2011), Semiconducting metal oxides as sensors for environmentally hazardous gases, Sensors and Actuators, B: Chemical, vol 160, pp 580–591 [157] I Kim, A Rothschild, H L Tuller (2013), Advances and new directions in 131 gas-sensing devices, Acta Materialia, vol 61, pp 974–1000 [158] A Staerz, C Berthold, T Russ, S Wicker, U Weimar, N Barsan (2016), The oxidizing effect of humidity on WO3 based sensors, Sensors and Actuators B: Chemical, vol 237, pp 54–58 [159] W Kang, S Park (2014), H2S Gas Sensing Properties of CuO Nanotubes , Applied Science and Convergence Technology, vol 23, pp 392–397 [160] N Đ Diện (2017), Nghiên cứu chế tạo khảo sát đặc trưng nhạy khí vật liệu nano WO3 tổ hợp với oxit kim loại (CuO, ZnO, Fe2O3), Luận án TS [161] Y Q Wu, M Hu, X Y Wei (2014), A study of transition from n- to p-type based on hexagonal WO3 nanorods sensor, Chinese Physics B, vol 23 [162] Y S Kim, S C Ha, K Kim, H Yang, S Y Choi, Y T Kim, J T Park, C H Lee, J Choi, J Paek, K Lee (2005), Room-temperature semiconductor gas sensor based on nonstoichiometric tungsten oxide nanorod film, Applied Physics Letters, vol 86, pp 1–3 [163] S H Kim, G W Mulholland, M R Zachariah (2009), Density measurement of size selected multiwalled carbon nanotubes by mobility-mass characterization, Carbon, vol 47, pp 1297–1302 [164] P.-G Su, T.-T Pan (2011), Fabrication of a room-temperature NO2 gas sensor based on WO3 films and WO3/MWCNT nanocomposite films by combining polyol process with metal organic decomposition method, Materials Chemistry and Physics, vol 125, pp 351–357 [165] H Chang, J Do Lee, S M Lee, Y H Lee (2001), Adsorption of NH3 and NO2 molecules on carbon nanotubes, Applied Physics Letters, vol 79, pp 3863– 3865 [166] Z Li, J Wang, S Zhang, S Yan, B Cao, W Shen, Z Wang, Y Q Fu (2018), Highly sensitive NH3 gas sensor based on the porous Ce0.94Zr0.06O2 nano-sheets with ppb level detection limit, Journal of Alloys and Compounds, vol 742, pp 712–720 [167] D Sun, Y Luo, M Debliquy, C Zhang (2018), Graphene-enhanced metal oxide gas sensors at room temperature: A review, Beilstein Journal of Nanotechnology, vol 9, pp 2832–2844 [168] M Shiraishi, M Ata (2001), Work function of carbon nanotubes, Carbon, vol 39, pp 1913–1917 [169] P Liu, Q Sun, F Zhu, K Liu, K Jiang, L Liu, Q Li, S Fan (2008), Measuring the work function of carbon nanotubes with thermionic method, Nano Letters, vol 8, pp 647–651 132 [170] J Meyer, S Hamwi, T Bülow, H.-H Johannes, T Riedl, W Kowalsky (2007), Highly efficient simplified organic light emitting diodes, Applied Physics Letters, vol 91, p 113506 [171] P Dong, B Yang, C Liu, F Xu, X Xi, G Hou, R Shao (2017), Highly enhanced photocatalytic activity of WO3 thin films loaded with Pt-Ag bimetallic alloy nanoparticles, RSC Advances, vol 7, pp 947–956 [172] P G Collins (2000), Extreme Oxygen Sensitivity of Electronic Properties of Carbon Nanotubes, Science, vol 287, pp 1801–1804 [173] X V Le, T L A Luu, H L Nguyen, C T Nguyen (2019), Synergistic enhancement of ammonia gas-sensing properties at low temperature by compositing carbon nanotubes with tungsten oxide nanobricks, Vacuum, vol 168, p 108861 [174] H L Hsu, J M Jehng, Y Sung, L C Wang, S R Yang (2008), The synthesis, characterization of oxidized multi-walled carbon nanotubes, and application to surface acoustic wave quartz crystal gas sensor, Materials Chemistry and Physics, vol 109, pp 148–155 [175] J Mäklin, T Mustonen, K Kordás, S Saukko, G Tóth, J Vähäkangas (2007), Nitric oxide gas sensors with functionalized carbon nanotubes, physica status solidi (b), vol 244, pp 4298–4302 [176] D Fu, H Lim, Y Shi, X Dong, S G Mhaisalkar, Y Chen, S Moochhala, L.J Li (2008), Differentiation of Gas Molecules Using Flexible and All-Carbon Nanotube Devices, The Journal of Physical Chemistry C, vol 112, pp 650– 653 [177] T H Tran, J.-W Lee, K Lee, Y D Lee, B.-K Ju (2008), The gas sensing properties of single-walled carbon nanotubes deposited on an aminosilane monolayer, Sensors and Actuators B: Chemical, vol 129, pp 67–71 [178] B Ye, S.-I Kim, M Lee, M Ezazi, H.-D Kim, G Kwon, D H Lee (2020), Synthesis of oxygen functionalized carbon nanotubes and their application for selective catalytic reduction of NOx with NH3, RSC Advances, vol 10, pp 16700–16708 [179] J Zhang, H Zou, Q Qing, Y Yang, Q Li, Z Liu, X Guo, Z Du (2003), Effect of Chemical Oxidation on the Structure of Single-Walled Carbon Nanotubes, The Journal of Physical Chemistry B, vol 107, pp 3712–3718 [180] K Rajavel, M Lalitha, J K Radhakrishnan, L Senthilkumar, R T Rajendra Kumar (2015), Multiwalled Carbon Nanotube Oxygen Sensor: Enhanced Oxygen Sensitivity at Room Temperature and Mechanism of Sensing, ACS Applied Materials & Interfaces, vol 7, pp 23857–23865 [181] A C Ferrari, J Robertson (2004), Raman spectroscopy of amorphous, 133 nanostructured, diamond-like carbon, and nanodiamond, Philosophical Transactions of the Royal Society A: Mathematical, Physical and Engineering Sciences, vol 362 pp 2477–2512 [182] H G Moon, Y.-S Shim, D H Kim, H Y Jeong, M Jeong, J Y Jung, S M Han, J K Kim, J.-S Kim, H.-H Park, J.-H Lee, H L Tuller, S.-J Yoon, H W Jang (2012), Self-activated ultrahigh chemosensitivity of oxide thin film nanostructures for transparent sensors, Scientific Reports, vol 2, p 588 [183] A S Alshammari, M R Alenezi, K T Lai, S R P Silva (2017), Inkjet printing of polymer functionalized CNT gas sensor with enhanced sensing properties, Materials Letters, vol 189, pp 299–302 [184] C Bittencourt, A Felten, E H Espinosa, R Ionescu, E Llobet, X Correig, J J Pireaux (2006), WO3 films modified with functionalised multi-wall carbon nanotubes: Morphological, compositional and gas response studies, Sensors and Actuators, B: Chemical, vol 115, pp 33–41 134