Luận án tiến sĩ kỹ thuật cơ khí nghiên cứu ảnh hưởng của một số thông số ổ khí tĩnh đến độ cứng vững của ổ trong gia công lỗ nhỏ

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƢỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI Trƣơng Minh Đức NGHIÊN CỨU ẢNH HƢỞNG CỦA MỘT SỐ THƠNG SỐ Ổ KHÍ TĨNH ĐẾN ĐỘ CỨNG VỮNG CỦA Ổ TRONG GIA CÔNG LỖ NHỎ Ngành: Kỹ thuật khí Mã số: 9520103 LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT CƠ KHÍ Hà Nội - 2022 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƢỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI Trƣơng Minh Đức NGHIÊN CỨU ẢNH HƢỞNG CỦA MỘT SỐ THƠNG SỐ Ổ KHÍ TĨNH ĐẾN ĐỘ CỨNG VỮNG CỦA Ổ TRONG GIA CÔNG LỖ NHỎ Ngành: Kỹ thuật khí Mã số: 9520103 LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT CƠ KHÍ NGƢỜI HƢỚNG DẪN KHOA HỌC: PGS.TS Vũ Toàn Thắng Hà Nội - 2022 LỜI CAM ĐOAN Tơi xin cam đoan cơng trình nghiên cứu khoa học riêng Những nội dung, số liệu sử dụng phân tích luận án có nguồn gốc rõ ràng, công bố theo quy định Các kết nghiên cứu luận án tự tìm hiểu, phân tích cách trung thực, khách quan phù hợp với điều kiện Việt Nam Các kết chƣa có tác giả cơng bố nghiên cứu khác Hà Nội, ngày 04 tháng 03 năm 2022 Ngƣời hƣớng dẫn khoa học Nghiên cứu sinh PGS TS Vũ Toàn Thắng Trƣơng Minh Đức I LỜI CẢM ƠN Trong trình thực luận án, đƣợc hƣớng dẫn tận tình tập thể hƣớng dẫn khoa học, đƣợc tạo điều kiện Phịng Đào tạo, Viện Cơ khí, Giảng viên thuộc Bộ mơn Cơ khí Chính xác Quang học – Trƣờng Đại học Bách Khoa Hà Nội Để phục vụ cho q trình nghiên cứu tơi đƣợc: Phòng Đo lƣờng Độ dài – Viện Đo lƣờng Việt Nam Trung tâm đo lƣờng – Viện Công nghệ – Bộ Quốc Phịng tạo điều kiện cho tơi đo đạc, thử nghiệm ổ khí quay Ban Giám hiệu, Khoa Cơ khí, Bộ mơn Cơng nghệ chế tạo máy, Trƣờng Đại học Kinh tế Kỹ thuật Công nghiệp, Cơng ty TNHH khí Thành Nam tạo điều kiện cho nghiên cứu khoa học, giúp đỡ gia công số chi tiết, thiết bị phục vụ cho thực nghiệm liên quan đến nội dung đề tài Tơi đƣợc Giáo sƣ, Phó Giáo sƣ, Tiến sĩ đồng nghiệp góp ý, tƣ vấn nhiều ý kiến cung cấp số tài liệu liên quan đến nội dung đề tài, đặc biệt PGS.TS Nguyễn Tiến Thọ, ngƣời thầy giúp lĩnh hội đƣợc nhiều kiến thức chuyên sâu bổ ích lĩnh vực đệm khí Đồng thời, tơi đƣợc Nghiên cứu sinh Bộ mơn Cơ khí xác Quang học, nhƣ Viện Cơ khí chia sẻ, động viên q trình hồn thành thủ tục, nội dung luận án Tôi xin đƣợc chân thành cám ơn sâu sắc tập thể, cá nhân hƣớng dẫn, giúp đỡ, tạo điều kiện thời gian qua, đặc biệt xin đƣợc bày tỏ biết ơn đến thầy giáo hƣớng dẫn: PGS Vũ Toàn Thắng Tôi xin đƣợc cám ơn đồng nghiệp, bạn bè gia đình động viên, chia sẻ, tạo thuận lợi thời gian thực đề tài nghiên cứu Xin trân trọng cám ơn! ii MỤC LỤC DANH MỤC KÝ HIỆU, THUẬT NGỮ VÀ CHỮ VIẾT TẮT vi DANH MỤC HÌNH VẼ vii DANH MỤC BẢNG BIỂU ix LỜI MỞ ĐẦU 1 Lý lựa chọn đề tài luận án Mục đích, đối tƣợng, phƣơng pháp phạm vi nghiên cứu Ý nghĩa khoa học thực tiễn đề tài nghiên cứu Những kết Chƣơng TỔNG QUAN VỀ Ổ KHÍ DỤNG TRONG GIA CƠNG LỖ NHỎ ĐẶT VẤN ĐỀ 1.2 PHÂN TÍCH ƢU, NHƢỢC ĐIỂM CỦA Ổ KHÍ TĨNH 1.2.1 Ƣu điểm ổ bơi trơn khí 1.2.2 Nhƣợc điểm ổ khí 1.3 ỨNG DỤNG Ổ KHÍ TRONG GIA CƠNG LỖ NHỎ 1.4 TÌNH HÌNH NGHIÊN CỨU VỀ Ổ KHÍ QUAY ỨNG DỤNG TRONG GIA CÔNG LỖ NHỎ 18 KẾT LUẬN CHƢƠNG 24 CHƢƠNG CƠ SỞ LÝ THUYẾT THIẾT KẾ Ổ KHÍ QUAY ỨNG DỤNG TRONG GIA CÔNG LỖ NHỎ 25 2.1 CƠ SỞ LÝ THUYẾT NGHIÊN CỨU VỀ Ổ KHÍ 25 2.1.1 Đặt vấn đề 25 2.1.2 Đặc điểm cấu tạo vịng bi khí tĩnh 25 2.1.3 Tổng thể tình hình xu hƣớng phát triển lĩnh vực vịng bi khí tĩnh 26 2.2 PHÂN TÍCH CÁC ĐẶC TÍNH KỸ THUẬT CỦA Ổ KHÍ QUAY 28 2.2.1 Phân tích định vị 28 2.2.2 Phân tích lực tác động lên ổ khí 29 2.2.3 Phân tích phƣơng án phân vùng đệm khí riêng biệt bề mặt trục31 2.2.4 Phân tích quán tính ly tâm độ lệch tâm gây 33 2.3 MỘT SỐ PHƢƠNG TRÌNH TÍNH TỐN CƠ BẢN CỦA BƠI TRƠN BẰNG KHÍ 34 iii 2.3.1 Phƣơng trình bơi trơn khí trƣờng hợp tổng qt [3] 34 2.3.2 Phƣơng trình bơi trơn khí trƣờng hợp ổ khí quay 35 2.3.3 Phƣơng trình bơi trơn cho chi tiết bạc 37 2.3.4 Phƣơng trình đệm khí dƣới 38 2.4 TÍNH TỐN ÁP SUẤT, LỰC NÂNG CỦA ĐỆM KHÍ THEO PHƢƠNG PHÁP ĐIỆN KHÍ TƢƠNG ĐƢƠNG 39 2.4.1 Các u cầu tính tốn đệm khí 39 2.4.2 Cơ sở phƣơng pháp tính tốn đệm khí 40 2.4.3 Xây dựng cơng thức tính tốn cho mơ hình đệm khí dƣới 41 2.4.4 Tính áp suất, lực nâng bạc đệm khí mặt trụ theo mơ hình điện khí tƣơng đƣơng 48 KẾT LUẬN CHƢƠNG 51 CHƢƠNG NGHIÊN CỨU ĐÁNH GIÁ CÁC THÔNG SỐ ẢNH HƢỞNG ĐẾN ĐỘ CHÍNH XÁC CỦA Ổ KHÍ QUAY 52 3.1 ĐẶT VẤN ĐỀ 52 3.2 KHẢO SÁT MƠ HÌNH Ổ KHÍ 53 3.2.1 Mơ hình thiết kế 53 3.2.2 Mơ hóa mơ hình phân tích 57 3.2.2 Khảo sát ảnh hƣởng khe hở đến lực đẩy đệm khí mặt đầu 65 3.2.3 Khảo sát ảnh hƣởng tốc độ quay đến áp suất trung bình bề mặt bạc66 KẾT LUẬN CHƢƠNG 66 CHƢƠNG NGHIÊN CỨU THỰC NGHIỆM ĐÁNH GIÁ CÁC ĐẶC TÍNH KỸ THUẬT Ổ KHÍ TĨNH ỨNG DỤNG TRONG GIA CÔNG LỖ NHỎ 68 4.1 ĐÁNH GIÁ CÁC THƠNG SỐ KÍCH THƢỚC, SAI SỐ HÌNH DÁNG HÌNH HỌC VÀ SAI SỐ VỊ TRÍ BỀ MẶT CỦA Ổ KHÍ 68 4.2 THỰC NGHIỆM ĐÁNH GIÁ KHẢ NĂNG TIẾP XÚC CƠ KHÍ CỦA Ổ KHÍ 72 4.3 THỰC NGHIỆM ĐÁNH GIÁ KHẢ NĂNG TẢI VÀ ĐỘ CỨNG VỮNG CỦA Ổ KHÍ 74 4.4 THỰC NGHIỆM XÁC ĐỊNH TẢI TRỌNG TÁC DỤNG LÊN TRỤC THEO PHƢƠNG NGANG 77 4.5 THỰC NGHIỆM XÁC ĐỊNH ÁP SUẤT TẠI MỘT SỐ VỊ TRÍ CỦA Ổ KHÍ 81 4.6 ĐÁNH GIÁ ĐỘ ỔN ĐỊNH TÂM QUAY Ổ KHÍ THƠNG QUA GIA CƠNG KHOAN LỖ 83 iv KẾT LUẬN CHƢƠNG 87 KẾT LUẬN 89 HƢỚNG NGHIÊN CỨU TIẾP THEO 90 TÀI LIỆU THAM KHẢO 91 DANH MỤC CƠNG TRÌNH ĐÃ CƠNG BỐ CỦA LUẬN ÁN 100 v DANH MỤC KÝ HIỆU, THUẬT NGỮ VÀ CHỮ VIẾT TẮT Stt Ký hiệu N μm, mm v/ph kG/cm 10 11 12 13 Kw Hz l/ph Sr Ps Nm ζ φ U = r.ω 14 15 16 17 ω r h y 18 19 20 21 22 23 24 25 μ τ ρ p K S R Bar, MPa, Pa, kG/cm2 P0 TCVN Viet Nam Standards FEM Finite Element Method CFD Computational Fluid Dynamics ESA Engineering Simplification Algorithm MPCM Multi-Physics Coupling Method FDM Finite Difference Method 26 27 28 29 30 31 32 Tiếng Anh Newton Micromet, milimet Revolutions per minute kilogram per square centimetre Kilowatt hour Hertz Litre/minute Tiếng Việt Đơn vị đo lực Đơn vị đo chiều dài Đơn vị đo vòng/phút Đơn vị độ cứng Đơn vị đo công suất Đơn vị đo tần số Đơn vị đo lƣu lƣợng khí Độ cứng hƣớng kính Áp nguồn cấp Đơn vị momen Độ lệch tâm Góc lệch tâm Vận tốc chuyển động ngõng trục Vận tốc góc Bán kính ổ Khe hở ngõng ổ Tọa độ trọng tâm phần tử bơi trơn Độ nhớt động lực học khí Ứng suất trƣợt Khối lƣợng riêng Áp suất tuyệt đối Độ cứng Tiết diện chảy Điện trở khí Đơn vị đo áp suất Áp suất đầu vào Tiêu chuẩn Việt Nam Phƣơng pháp phần tử hữu hạn Mô động lực học dịng chảy Thuật tốn đơn giản hóa kỹ thuật Phƣơng pháp ghép nối đa vật lý Phƣơng pháp sai phân hữu hạn vi DANH MỤC HÌNH VẼ Hình 1 Đồ thị nhiệt độ ổ bi theo thời gian vận tốc quay [4] Hình Hình ảnh tƣơng quan giá thành loại ổ trục [4] 10 Hình Độ xác thay đổi theo tốc độ quay trục máy tiện D1733 [4] 11 Hình Các loại máy sử dụng trục sử dụng ổ khí hãng WestWind [4] 11 Hình Tuổi thọ dao tiện máy PCB hãng WestWind [4] 12 Hình So sánh độ cứng biến thiên hai loại đệm trục [4] 12 Hình So sánh tuổi thọ hai loại ổ [4] 13 Hình Nhiệt sinh trục máy khoan PCB quay tốc độ 200.000 vòng/phút [4] 13 Hình Trục sử dụng ổ khí quay cao tốc dẫn động động [13] 14 Hình 10 Các phận trục sử dụng ổ khí quay cao tốc dẫn động động [4] 15 Hình 11 Các phận trục sử dụng ổ khí quay cao tốc dẫn động cánh tuốc bin [4] 15 Hình 12 Cấu tạo ổ khí quay dùng máy khoan hãng Westwind – UK [4] 16 Hình 13 Cấu tạo ổ khí quay dùng máy khoan hãng EXCELLON AUTOMATION [4] 16 Hình 14 Ổ khí quay cao tốc cho máy phay lỗ nhỏ [14] 16 Hình 15 Sơ đồ hạn chế khe hẹp [30] 19 Hình 16 Áp suất cấp dạng rãnh 19 Hình 17 Cấu tạo ổ khí sử dụng áp suất cấp dạng xốp [35] 19 Hình 18 Ổ khí quay ứng dụng thiết bị đo độ trịn 23 Hình 19 Ổ khí quay dùng máy chuẩn mơ men 23 Hình Mơ hình định vị lắp ráp ổ khí quay 29 Hình 2 Áp lực bên bạc đệm khí trục quay 30 Hình Phân tích lực tạo lớp màng khí nén 30 Hình Phân vùng cấp khí bề mặt bạc đệm khí 31 Hình Phân bố áp suất bề mặt đệm khí 31 Hình Quan hệ lực đẩy khe hở đệm khí 32 Hình Khảo sát phân bố vận tốc theo chiều cao khe hở [3] 34 Hình Mơ hình động lực học trục ổ khí quay 35 Hình Hệ tọa độ trụ xét mơ hình trục bị nghiêng 37 Hình 10 Cấu tạo đệm khí loại rãnh 39 Hình 11 Sơ đồ chuyển đổi khí điện 41 Hình 12 Mơ hình chuyển đổi điện khí tƣơng đƣơng 41 Hình 13 Điện trở phân tố chiều dài 43 Hình 14 Đồ thị khảo sát lực nâng theo z 47 Hình 15 Đồ thị khảo sát lực nâng theo rd 48 Hình 16 Mơ hình điện khí tƣơng đƣơng bạc khí 48 Hình 17 Đệm khí bề mặt trụ mơ hình điện khí tƣơng đƣơng 49 Hình 18 Phân bố áp suất bề mặt đệm khí chữ nhật 49 Hình 19 Đồ thị quan hệ lực đẩy khe hở đệm khí 50 Hình Đệm khí rãnh dẫn liên kết với 54 vii Hình Đệm khí dạng rãnh dẫn liên kết hình chữ nhật 54 Hình 3 Đệm khí dạng rãnh dẫn liên kết hình chữ nhật phân lập 54 Hình Bản vẽ chi tiết trục 55 Hình Bản vẽ chi tiếp nắp ổ khí 55 Hình Bản vẽ chi tiết bạc 56 Hình Mơ hình vẽ lắp ráp 56 Hình Mơ hình sau đặt điều kiện biên 59 Hình Q trình tính tốn phần mềm 60 Hình 10 Mơ hình trục lệch theo phƣơng z 61 Hình 11 Sự phân bố áp suất ba mô hình riêng biệt 61 Hình 12 Sự phân bố áp suất bề mặt ba mơ hình 62 Hình 13 Sự phân bố vận tốc khơng khí bề mặt đẩy ba mơ hình 62 Hình 14 Mơ tả giả thuyết mô 63 Hình 15 Mơ hình phân bố áp suất xung quanh bề mặt ngõng trục trục quay đƣợc đặt lệch tâm theo ba mơ hình 63 Hình 16 Khảo sát hiệu việc tự cân trục ba mơ hình riêng biệt 64 Hình 17 Quan hệ lực đẩy mặt đầu khe hở 65 Hình 18 Quan hệ vận tốc quay áp suất trung bình bề mặt bạc 66 Hình 19 Trích áp suất bề mặt ổ điểm A B 66 Hình Gá chi tiết ổ khí máy đo tọa độ 69 Hình Gá đặt chi tiết đo độ thẳng 69 Hình Sơ đồ gá đặt đo độ đồng tâm chi tiết trục 70 Hình 4 Hình ảnh đo độ nhám chi tiết trục 71 Hình Hình ảnh độ nhám chi tiết bạc 71 Hình Mơ hình đo tiếp xúc 72 Hình Thực nghiệm đo tiếp xúc 73 Hình Mơ hình đo tải dọc trục 75 Hình Hình ảnh đo tải dọc trục 76 Hình 10 Đồ thị quan hệ tải trọng F khe hở Z mặt đầu 77 Hình 11 Mơ hình kiểm tra tải theo phƣơng ngang 78 Hình 12 Hình ảnh kiểm tra tải theo phƣơng ngang 78 Hình 13 Đồ thị độ dịch chuyển trục theo phƣơng ngang 80 Hình 14 Mơ hình đo áp suất 82 Hình 15 Hình ảnh hệ thống đo áp suất 82 Hình 16 Thực nghiệm nguyên công khoan chi tiết vật liệu CT3 84 Hình 17 Mũi khoan 1.00 ULL 8730403 84 Hình 18 Máy nén khí FuSheng model 03 – E 85 Hình 19 Chi tiết thép CT3 sau khoan 85 Hình 20 Hình ảnh đo đƣờng kính lỗ kính hiển vi 86 viii and experiment of noncontact eddy current damping module in air bearing– guided linear motion system,'' Advances in Mechanical Engineering, Mec Eng 2019, Vol 11(8) 1–11 [86] H Mori, H Yabe, T Ono e (1965), ''Theory of Externally Pressurized Circular Thrust Porous Gas Bearing,'' Journal of Fluids Engineering Volume 87, Issue J Basic Eng Sep 1965, 87(3): 613-620 (8 pages) [87] A.Andrisano, A.Maggiore e (1978), ''Theoretical and experimental analysis of an externally pressurized porous gas thrust bearing,'' Tribology International Volume 11, Issue 5, October 1978, Pages 285-288 99 DANH MỤC CƠNG TRÌNH ĐÃ CƠNG BỐ CỦA LUẬN ÁN Trƣơng Minh Đức, Vũ Tồn Thắng, Lê Cơng Du, Nguyễn Anh Tuấn, (2017) “Giải pháp khắc phục rung động đệm khí phẳng ứng dụng ổ khí quay cao tốc” Tạp chí Cơ khí Việt Nam số 11 năm 2017 Trƣơng Minh Đức, Vũ Toàn Thắng, Nguyễn Anh Tuấn, (2017) “Tính tốn mơ phân bố áp suất đệm khí trụ ứng dụng ổ khí quay cao tốc”, Tạp chí Cơ khí Việt nam số 11 năm 2017, Truong Minh Duc, Vu Van Quang, Vu Toan Thang, Le Cong Du, (2017) “A research of stabilization for high speed air bearing spindles” Journal of Engineering and Science Research (2), e-ISSN: 2289-7127, (228-233), Vu Toan Thang*, Truong Minh Duc, Nguyen Trong Dat, Nguyen Thanh Trung and Vu Thanh Tung, (2020) “Simulation in design air spindle with orifice and distribution grooves” ISI Q4, 8/2020, International Journal of Modern Physics B, ISSN 0217-9792, 100 PHỤ LỤC PL1 Giấy chứng nhận kết đo, thử nghiệm chi tiết trục 101 PL2 Kết kiểm tra chi tiết trục 102 PL3 Giấy chứng nhận kết đo, thử nghiệm chi tiết bạc 103 PL4 Kết kiểm tra chi tiết bạc 104 PL5 Giấy chứng nhận kết đo, thử nghiệm chi tiết nắp 105 PL6 Kết kiểm tra chi tiết nắp 106 PL7 Giấy chứng nhận kết đo đƣờng kính lỗ 107 PL6 Kết kiểm tra lỗ đƣờng kính 1 108 PL9 Bản vẽ chi tiết trục PL10 Bản vẽ chi tiết bạc 109 PL11 Bản vẽ chi tiết nắp 110 PL 12 Chƣơng trình gia cơng khoan lỗ phần mềm mach3 (Toolpaths used in this file: with one N1400G00Z-0.980 hole) N1410G1Z-1.200F200.0 (Drill 1, time 39s) N1420G00Z-1.000 (Tools used in this file: ) N1430G1Z-1.220F200.0 (1 = End Mill {1 mm}) N1440G00Z-1.020 N120G00G21G17G90G40G49G80 N1450G1Z-1.240F200.0 N130G71G91.1 N1460G00Z-1.040 N140T1M06 N1470G1Z-1.260F200.0 N150 (End Mill {1 mm}) N1480G00Z-1.060 N160G00G43Z20.000H1 N1490G1Z-1.280F200.0 N170S20000M03 N1500G00Z-1.080 N180(Toolpath:- Drill 1) N1510G1Z-1.300F200.0 N190() N1520G00Z-1.100 N200G94 N1530G1Z-1.320F200.0 N210X0.000Y0.000F200.0 N1540G00Z-1.120 N220G00X-9.998Y26.584Z6.000 N1550G1Z-1.340F200.0 N230G1Z-0.020F200.0 N1560G00Z-1.140 N240G00Z0.180 N1570G1Z-1.360F200.0 N250G1Z-0.040F200.0 N1580G00Z-1.160 N260G00Z0.160 N1590G1Z-1.380F200.0 N270G1Z-0.060F200.0 N1600G00Z-1.180 N280G00Z0.140 N1610G1Z-1.400F200.0 N290G1Z-0.080F200.0 N1620G00Z-1.200 N300G00Z0.120 N1630G1Z-1.420F200.0 N310G1Z-0.100F200.0 N1640G00Z-1.220 N320G00Z0.100 N1650G1Z-1.440F200.0 N330G1Z-0.120F200.0 N1660G00Z-1.240 N340G00Z0.080 N1670G1Z-1.460F200.0 N350G1Z-0.140F200.0 N1680G00Z-1.260 N360G00Z0.060 N1690G1Z-1.480F200.0 N370G1Z-0.160F200.0 N1700G00Z-1.280 N380G00Z0.040 N1710G1Z-1.500F200.0 N390G1Z-0.180F200.0 N1720G00Z-1.300 N400G00Z0.020 N1730G1Z-1.520F200.0 N410G1Z-0.200F200.0 N1740G00Z-1.320 N420G00Z0.000 N1750G1Z-1.540F200.0 N430G1Z-0.220F200.0 N1760G00Z-1.340 N440G00Z-0.020 N1770G1Z-1.560F200.0 N450G1Z-0.240F200.0 N1780G00Z-1.360 N460G00Z-0.040 N1790G1Z-1.580F200.0 N470G1Z-0.260F200.0 N1800G00Z-1.380 N480G00Z-0.060 N1810G1Z-1.600F200.0 N490G1Z-0.280F200.0 N1820G00Z-1.400 N500G00Z-0.080 N1830G1Z-1.620F200.0 N510G1Z-0.300F200.0 N1870G1Z-1.660F200.0 111 N520G00Z-0.100 N530G1Z-0.320F200.0 N540G00Z-0.120 N550G1Z-0.340F200.0 N560G00Z-0.140 N570G1Z-0.360F200.0 N580G00Z-0.160 N590G1Z-0.380F200.0 N600G00Z-0.180 N610G1Z-0.400F200.0 N620G00Z-0.200 N630G1Z-0.420F200.0 N640G00Z-0.220 N650G1Z-0.440F200.0 N660G00Z-0.240 N670G1Z-0.460F200.0 N680G00Z-0.260 N690G1Z-0.480F200.0 N700G00Z-0.280 N710G1Z-0.500F200.0 N720G00Z-0.300 N730G1Z-0.520F200.0 N740G00Z-0.320 N750G1Z-0.540F200.0 N760G00Z-0.340 N770G1Z-0.560F200.0 N780G00Z-0.360 N790G1Z-0.580F200.0 N800G00Z-0.380 N810G1Z-0.600F200.0 N820G00Z-0.400 N830G1Z-0.620F200.0 N840G00Z-0.420 N850G1Z-0.640F200.0 N860G00Z-0.440 N870G1Z-0.660F200.0 N880G00Z-0.460 N890G1Z-0.680F200.0 N900G00Z-0.480 N910G1Z-0.700F200.0 N920G00Z-0.500 N930G1Z-0.720F200.0 N940G00Z-0.520 N950G1Z-0.740F200.0 N960G00Z-0.540 N970G1Z-0.760F200.0 N1880G00Z-1.460 N1890G1Z-1.680F200.0 N1900G00Z-1.480 N1910G1Z-1.700F200.0 N1920G00Z-1.500 N1930G1Z-1.720F200.0 N1940G00Z-1.520 N1950G1Z-1.740F200.0 N1960G00Z-1.540 N1970G1Z-1.760F200.0 N1980G00Z-1.560 N1990G1Z-1.780F200.0 N2000G00Z-1.580 N2010G1Z-1.800F200.0 N2020G00Z-1.600 N2030G1Z-1.820F200.0 N2040G00Z-1.620 N2050G1Z-1.840F200.0 N2060G00Z-1.640 N2070G1Z-1.860F200.0 N2080G00Z-1.660 N2090G1Z-1.880F200.0 N2100G00Z-1.680 N2110G1Z-1.900F200.0 N2120G00Z-1.700 N2130G1Z-1.920F200.0 N2140G00Z-1.720 N2150G1Z-1.940F200.0 N2160G00Z-1.740 N2170G1Z-1.960F200.0 N2180G00Z-1.760 N2190G1Z-1.980F200.0 N2200G00Z-1.780 N2210G1Z-2.000F200.0 N2220G00Z-1.800 N2230G1Z-2.020F200.0 N2240G00Z-1.820 N2250G1Z-2.040F200.0 N2260G00Z-1.840 N2270G1Z-2.060F200.0 N2280G00Z-1.860 N2290G1Z-2.080F200.0 N2300G00Z-1.880 N2310G1Z-2.100F200.0 N2320G00Z-1.900 N2330G1Z-2.120F200.0 112 N980G00Z-0.560 N990G1Z-0.780F200.0 N1000G00Z-0.580 N1010G1Z-0.800F200.0 N1020G00Z-0.600 N1030G1Z-0.820F200.0 N1040G00Z-0.620 N1050G1Z-0.840F200.0 N1060G00Z-0.640 N1070G1Z-0.860F200.0 N1080G00Z-0.660 N1090G1Z-0.880F200.0 N1100G00Z-0.680 N1110G1Z-0.900F200.0 N1120G00Z-0.700 N1130G1Z-0.920F200.0 N1140G00Z-0.720 N1150G1Z-0.940F200.0 N1160G00Z-0.740 N1170G1Z-0.960F200.0 N1180G00Z-0.760 N1190G1Z-0.980F200.0 N1200G00Z-0.780 N1210G1Z-1.000F200.0 N1220G00Z-0.800 N1230G1Z-1.020F200.0 N1240G00Z-0.820 N1250G1Z-1.040F200.0 N1260G00Z-0.840 N1270G1Z-1.060F200.0 N1280G00Z-0.860 N1290G1Z-1.080F200.0 N1300G00Z-0.880 N1310G1Z-1.100F200.0 N1320G00Z-0.900 N1330G1Z-1.120F200.0 N1340G00Z-0.920 N1350G1Z-1.140F200.0 N1360G00Z-0.940 N1370G1Z-1.160F200.0 N1380G00Z-0.960 N1840G00Z-1.420 N1850G1Z-1.640F200.0 N1860G00Z-1.440 N1390G1Z-1.180F200.0 N2340G00Z-1.920 N2350G1Z-2.140F200.0 N2360G00Z-1.940 N2370G1Z-2.160F200.0 N2380G00Z-1.960 N2390G1Z-2.180F200.0 N2400G00Z-1.980 N2410G1Z-2.200F200.0 N2420G00Z-2.000 N2430G1Z-2.220F200.0 N2440G00Z-2.020 N2450G1Z-2.240F200.0 N2460G00Z-2.040 N2470G1Z-2.260F200.0 N2480G00Z-2.060 N2490G1Z-2.280F200.0 N2500G00Z-2.080 N2510G1Z-2.300F200.0 N2520G00Z-2.100 N2530G1Z-2.320F200.0 N2540G00Z-2.120 N2550G1Z-2.340F200.0 N2560G00Z-2.140 N2570G1Z-2.360F200.0 N2580G00Z-2.160 N2590G1Z-2.380F200.0 N2600G00Z-2.180 N2610G1Z-2.400F200.0 N2620G00Z-2.200 N2630G1Z-2.420F200.0 N2640G00Z-2.220 N2650G1Z-2.440F200.0 N2660G00Z-2.240 N2670G1Z-2.460F200.0 N2680G00Z-2.260 N2690G1Z-2.480F200.0 N2700G00Z-2.280 N2710G1Z-2.500F200.0 N2720G00Z6.000 N2730G00Z20.000 N2740G00X0.000Y0.000 N2750M09 N2760M30 % 113