Cac_loai_mang_quang_hoc

Các loại màng quang học B GV H môn: Quang h c ng d ng ng d n: TS Lê V Tu n hùng HV th c hi n: Lê Th L a Tô Lâm Vi n Khoa Địa bạn tải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/sem Nơi bạn thảo luận: http://myyagy.com/mientay/ Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_ngha Dự án dịch học liệu mở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com Dàn ý • Phân loại loại màng quang học • Các phương pháp tạo màng quang học • Màng chống phản xạ • Màng phản xạ cao • Màng ITO • Màng lọc giao thao I CÁC LOẠI MÀNG QUANG HỌC: Giới thiệu • Màng quang học là: • hay nhiều lớp vật liệu mỏng • phủ thiết bị quang học thấu kính hay gương (những thiết bị cho phép biến đổi đường ánh sáng phản xạ hay truyền qua) I CÁC LOẠI MÀNG QUANG HỌC: Giới thiệu Hiệu quang lộ: Độ phản xạ  đế: I CÁC LOẠI MÀNG QUANG HỌC: Giới thiệu Ma trận truyền qua: Đối với 1  lớp màng Đối với màng  đa lớp Sử dụng nhiều ma trận Mi  liên tiếp nhau I CÁC LOẠI MÀNG QUANG HỌC: Phân loại Màng chống phản xạ Màng phản xạ cao Màng dẫn điện trong suốt Màng lọc giao thoa II.CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG Phương pháp ngưng tụ vật lý (PVD) Phương pháp ngưng tụ hóa học (CVD) Physical Vapor Deposition Chemical Vapor Deposition  Các hạt vật liệu ngưng tụ đế → Màng  Các hạt vật liệu ngưng tụ đế, phản ứng với chất khí → Hợp chất → Màng Tđế < 5000C  Các hạt vật liệu di chuyển Tđế ≈ 900 – 12000C  Các phản ứng hình thành hợp chất (nếu có), xảy đường  Với tác nhân cung cấp lượng, vật liệu cần phủ màng bị hóa  Một chất khí đưa vào (precursor)  Các hạt vật liệu di chuyển  Với tác nhân cung cấp lượng, vật liệu cần phủ màng bị hóa • Các phương pháp PVD phổ biến – Bốc bay • Nhiệt bốc bay • Bốc bay chùm điện tử • Bốc bay xung laser (PLD) – Phún xạ • Phún xạ DC • Phún xạ RF • Phún xạ phản ứng • Phún xạ magnetron