Mo_phong_va_phan_giai_pha_pho_quang

1 MÔ PHỎNG VÀ PHÂN GIẢI PHA PHỔ QUANG - PHẢN XẠ CỦA BÁN DẪN InP VÀ CẤU TRÚC ĐA LỚP DỊ THỂ AlxGa1-xAs (n)/GaAs (p) NỘI DUNG TRÌNH BÀY  Quang phản xạ (Photoreflectance PR)  Hiệu ứng Franz-Keldysh  Sai hỏng bề mặt – mức Tamm  Phổ học biến điệu (Modulation Spectroscopy) phương pháp quang phản xạ  Mô phân giải pha phổ quang phản xạ InP  Thành phần dao động Franz-Keldysh (FKO)  Thành phần Eciton  Phổ PR đa thành phần  Phân giải pha từ phổ PR  Phân giải phổ PR từ thực nghiệm  Phổ PR cấu trúc đa lớp dị thể  So sánh với kêt thực nghiệm  Vấn đề tồn Hiệu ứng Franz-Keldysh ur F ≠0 ur F =0 Ec qFz Eg Ei Ec Ev hω ≥ Eg hω ≥ Eg − qFz Ev α Phổ hấp thu (phản xạ) có điện trường dịch chuyển phía vùng lượng thấp F =0 F ≠0 Phổ hấp thu E g − ∆E E g E Sai hỏng bề mặt – Mức Tamm Tại bề mặt: - Tính tuần hồn bị gián đoạn (mức Tamm) - Hấp thu nguyên tử lạ, sai hỏng mạng (mức khác) Lý tưởng: khơng có trạng thái mặt ngồi Dải lượng mặt bị uốn cong lên bán dẫn loại n Bán dẫn pha tạp Bắt electron Trạng thái bề mặt Bắt lỗ trống Điện trường bề mặt Cong lên (n) Cong xuống (p) Phổ học biến điệu (Modulation Spectroscopy) Những phép đo quang với tính chất giống là: R, T Sample ∆R, ∆T Biến điệu Biến điệu - Điện phản xạ (Electroreflectance-ER) - Quang phản xạ (Photoreflectance-PL) - Từ phản xạ (Magnetoreflectance_MR) - Pizo phản xạ (Piezoreflectance) - Nhiệt phản xạ (Thermoreflectance) Biến điệu - Biến điệu độ dài bước sóng tia tới - Biến điệu phân cực ánh sáng tới - Thay đổi vị trí mẫu ………… Phương pháp quang phản xạ on Laser off Ec EF Ev Hiệu ứng Franz-Keldysh Seraphin Bottka ΔR R on - R off = R R off ∆R = α s ∆ε + β s ∆ε R Hệ đo quang phản xạ Hệ đo quang phản xạ Hữu lạ Xử lý mẫu Làm khơ Hình 7: Xử lý mẫu Nước cất Axeton loãng Nước cất dd HCl 2% Vô lạ Mô phổ quang phản xạ 10