THIẾT BỊ ĐO MỨC CHUẨN TỰ ĐỘNG QUY TRÌNH HIỆU CHUẨN Automatic Standard level gauge - Calibration procedure

ĐLVN VĂN BẢN KỸ THUẬT ĐO LƯỜNG VIỆT NAM ĐLVN 273 : 2021 THIẾT BỊ ĐO MỨC CHUẨN TỰ ĐỘNG QUY TRÌNH HIỆU CHUẨN Automatic Standard level gauge - Calibration procedure SOÁT XÉT LẦN HÀ NỘI - 2021 Lời nói đầu: ĐLVN 273 : 2021 thay cho ĐLVN 273 : 2015 ĐLVN 273 : 2021 Ban kỹ thuật đo lường “Đo đại lượng chất lỏng” biên soạn, Viện Đo lường Việt Nam đề nghị, Tổng cục Tiêu chuẩn Đo lường Chất lượng ban hành VĂN BẢN KỸ THUẬT ĐO LƯỜNG VIỆT NAM ĐLVN 273 : 2021 Thiết bị đo mức chuẩn tự động - Quy trình hiệu chuẩn Automatic Standard level gauge - Calibration procedure Phạm vi áp dụng Văn kỹ thuật quy định quy trình hiệu chuẩn thiết bị đo mức chuẩn tự động có phạm vi đo tới 30 m có độ khơng đảm bảo đo  0,5 mm áp dụng cho thử nghiệm phục vụ phê duyệt mẫu có độ khơng đảm bảo đo  1,3 mm áp dụng cho kiểm định Giải thích từ ngữ Các từ ngữ văn hiểu sau: 2.1 Mức chất lỏng: vị trí mặt thống phía bề mặt chất lỏng 2.2 Thiết bị đo mức chất lỏng, ALG: thiết bị dùng để đo hiển thị (bằng cấu điện tử kết cấu khí) chiều cao mức chất lỏng chứa bể chứa cố định 2.3 Thiết bị đo mức chuẩn tự động, SALG: thiết bị hệ thống thiết bị dùng để hiệu chuẩn, kiểm định đo thử nghiệm thiết bị đo mức chất lỏng 2.4 Hệ thống công nghệ phục vụ hiệu chuẩn SALG: hệ thống công nghệ đặc thù nhằm phục vụ việc hiệu chuẩn loại SALG theo nguyên lý khác (kiểu servo, kiểu radar, phao từ, ) với yêu cầu kỹ thuật Phụ lục 2.5 Ống đứng: ống chứa chất lỏng mà mực chất lỏng thay đổi 2.6 Mia phản xạ: kim loại phẳng di chuyển qua lại ray dẫn hướng, theo phương nằm ngang 2.7 Khay chất lỏng di động: thiết bị chứa chất lỏng có gắn gương phản xạ dịch chuyển theo phương thẳng đứng hệ thống công nghệ phục vụ hiệu chuẩn SALG 2.8 Vạch chia: tập hợp vạch in, khắc, đánh dấu, SALG qua xác định giá trị đo SALG 2.9 Các ký hiệu: Các ký hiệu sử dụng quy trình quy định sau: - RES: giá trị độ chia nhỏ (sự chênh lệch giá trị liên tiếp thị) - ACC: cấp xác - ĐKĐBĐ: độ không đảm bảo đo mở rộng - MPE: sai số cho phép lớn - SALG: Thiết bị đo mức chuẩn, tự động Các phép hiệu chuẩn Phải tiến hành phép hiệu chuẩn ghi Bảng ĐLVN 273 : 2021 Bảng Các phép hiệu chuẩn Theo điều mục quy trình Tên phép hiệu chuẩn TT Kiểm tra bên ngồi 7.1 1.1 Kiểm tra tính ngun vẹn 7.1.1 1.2 Kiểm tra nhãn mác hồ sơ kỹ thuật 7.1.2 Kiểm tra kỹ thuật 7.2 2.1 Kiểm tra khả cân mặt đồ gá SALG 7.2.1 2.2 Kiểm tra độ ổn định việc chuyển vị trí SALG 7.2.2 Kiểm tra đo lường 7.3 3.1 Xác định vị trí kiểm 7.3.1 3.2 Xác định sai số tuyệt đối SALG 7.3.2 3.3 Xác định sai số hồi sai SALG 7.3.3 Phương tiện hiệu chuẩn Các phương tiện dùng để hiệu chuẩn nêu Bảng Bảng Phương tiện hiệu chuẩn TT Tên phương tiện dùng để hiệu chuẩn Chuẩn đo lường Hệ thống thiết bị đo chiều dài chuẩn Áp dụng cho Đặc trưng kỹ thuật đo lường điều mục quy trình - Phạm vi đo: phù hợp với SALG cần hiệu chuẩn - ĐKĐBĐ ≤ 1/3 ĐKĐBĐ SALG cần hiệu chuẩn Phương tiện đo 2.1 Nhiệt ẩm kế 2.2 Phương tiện đo nhiệt độ 7.3 7.3 - Phạm vi đo: (10 ÷ 100) C & (30 ÷ 100) %RH - Giá trị độ chia: 0,1 C & 0,1% RH - Phạm vi đo: (10 ÷ 100) oC - Giá trị độ chia: 0,1 oC - Độ xác:  0,2 oC 7.3 7.3.2 ĐLVN 273 : 2021 TT 3.1 3.2 3.3 Tên phương tiện dùng để hiệu chuẩn Áp dụng cho Đặc trưng kỹ thuật đo lường điều mục quy trình Phương tiện phụ - Phù hợp với SALG cần hiệu chuẩn Hệ thống tạo ổn - Độ ổn định: Sự thay đổi mức thị định mức chất lỏng SALG  0,1mm theo phương thẳng - Thỏa mãn yêu cầu Mục 1, đứng Phụ lục - Phù hợp với SALG cần hiệu chuẩn - Độ ổn định: Sự thay đổi mức thị Hệ thống tạo mô SALG  0,1 mm mức chất lỏng, - Sai số chuyển mốc: ≤ 0,3 mm nằm ngang - Thỏa mãn yêu cầu Mục 1, Phụ lục - Phù hợp với SALG cần hiệu chuẩn Hệ thống tạo mô - Độ ổn định: Sự thay đổi mức thị mức chất lỏng SALG  0,1 mm sử dụng khay chất - Thỏa mãn yêu cầu Mục 3, lỏng di động Phụ lục 7.2.2 7.3 7.2.1 7.3 7.2.2 7.3 Điều kiện hiệu chuẩn Khi tiến hành hiệu chuẩn phải đảm bảo điều kiện sau đây: - Địa điểm hiệu chuẩn phải sẽ, thống mát, khơng có chất ăn mịn hóa học, khơng có nguồn gây biến đổi lớn nhiệt độ môi trường nhiệt độ mức chất lỏng (nếu có); khơng có nguồn gây rung động trình hiệu chuẩn - Tiến hành hiệu chuẩn điều kiện mơi trường hiệu chuẩn có tốc độ thay đổi nhiệt độ không ± oC/1 - Điều kiện môi trường lưu giữ chuẩn: + Nhiệt độ (20 ± 5) oC; + Độ ẩm: (40 ÷ 70) %RH Chuẩn bị hiệu chuẩn Trước tiến hành hiệu chuẩn cần phải tiến hành công việc chuẩn bị sau đây: - SALG cần phải gá, lắp vào hệ thống công nghệ phục vụ hiệu chuẩn phải lắp đặt, vận hành theo hướng dẫn nhà sản xuất - Hệ thống chuẩn phục vụ hiệu chuẩn SALG với ALG điện tử cần cấp nguồn điện tối thiểu 30 phút trước tiến hành hiệu chuẩn - Với hệ thống công nghệ phụ phục vụ hiệu chuẩn cần vận hành thử trước tiến hành hiệu chuẩn để đảm bảo hiệu chuẩn đầy đủ mức cho SALG cần hiệu chuẩn ĐLVN 273 : 2021 Tiến hành hiệu chuẩn 7.1 Kiểm tra bên Phải kiểm tra bên theo yêu cầu sau đây: 7.7.1 Kiểm tra tính ngun vẹn SALG phải đảm bảo ngun vẹn, khơng có vết nứt thân, vỏ phận thị Bộ phận thị phải đảm bảo đọc rõ ràng xác 7.7.2 Kiểm tra nhãn mác hồ sơ kỹ thuật Trên nhãn mác hồ sơ kỹ thuật SALG cần thể tối thiểu thông tin sau: - Hãng sản xuất; - Tên SALG; - Kiểu chế tạo; - Số chế tạo; - Nơi năm chế tạo; - Phạm vi đo; - ACC RES; - Phạm vi nhiệt độ làm việc/hiệu chuẩn 7.2 Kiểm tra kỹ thuật Phải kiểm tra kỹ thuật theo yêu cầu sau đây: 7.2.1 Kiểm tra độ ổn định việc chuyển vị trí SALG (Áp dụng cho SALG dùng hệ thống bia di động để hiệu chuẩn Nguyên lý yêu cầu kỹ thuật hệ thống bia di động xem Mục 2- Phụ lục 2) Do hành trình di chuyển bia ray dẫn hướng m, với SALG có phạm vi đo lớn m SALG cần dịch chuyển tới vị trí khác trình hiệu chuẩn (như hình bên vị trí S1, S2, S3 S4) Trình tự kiểm tra độ ổn định việc dịch chuyển vị trí SALG sau: Ray dẫn hướng Laser S1 VT1 S2 S3 S4 VT2 Hình Sơ đồ minh họa vị trí mốc đặt SALG - Bước 1: Đánh dấu vị trí (VT1, VT2) ray dẫn hướng với khoảng cách tối thiểu m ĐLVN 273 : 2021 - Bước 2: Đặt SALG vị trí S1; đưa bia chuẩn vị trí VT1; xóa số thiết bị đo chiều dài chuẩn; lưu lại giá trị ban đầu hiển thị SALG, LSALG1 - Bước 3: Kéo bia chuẩn từ vị trí VT1 vị trí VT2; ghi lại số thiết bị đo chiều dài chuẩn (Lstd) giá trị SALG, LSALG2 - Bước 4: Tính tốn sai số vị trí mốc S1  S1  Lstd  LSALG2  LSALG1 (1) - Bước 5: Lặp lại bước từ bước tới bước cho vị trí đặt SALG (S2, S3, S4, ) Tại vị trí sai số tính sau:  S   S1  LSALG2  LSALG1  Lstd (2) - Bước 6: Độ ổn định việc chuyển vị trí SALG tính theo công thức:   max(  Si ) với i = 1, 2, 3, … (3) Yêu cầu:  ≤ 0,5 mm 7.2.2 Kiểm tra độ ổn định mức chất lỏng (Áp dụng cho việc hiệu chuẩn SALG dùng hệ thống ống đứng khay chất lỏng di động Nguyên lý yêu cầu kỹ thuật hệ thống sử dụng ống đứng hệ thống sử dụng khay chất lỏng di động xem Mục Mục 3, Phụ lục 2) - Vận hành hệ thống để đảm bảo hệ thống có khả thay đổi mức chất lỏng cách liên tục từ mức chất lỏng thấp tới mức chất lỏng cao ngược lại - Việc kiểm tra độ ổn định mức chất lỏng thực mức chất lỏng (mức thấp nhất, mức cao mức giữa) toàn chiều cao mức chất lỏng tạo hệ thống Tại mức, trình tự kiểm tra sau: + Vận hành hệ thống đến mức cần kiểm tra; + Đợi cho mức chất lỏng ổn định sau đọc giá trị mức chất lỏng hiển thị SALG; + Quan sát số mức chất lỏng SALG Hệ thống xem đạt việc ổn định mức chất lỏng quan sát thấy số mức chất lỏng thị SALG không thay đổi 0,1 mm vòng 10 phút 7.3 Kiểm tra đo lường SALG kiểm tra đo lường theo trình tự nội dung, phương pháp yêu cầu sau đây: 7.3.1 Xác định mức cần hiệu chuẩn - Sai số SALG xác định mức chất lỏng, xấp xỉ (10 ÷ 20) %, (25 ÷ 35) %, (45 ÷ 55) %, (65 ÷ 75) %, (80 ÷ 90) % phạm vi đo SALG - Sai số hồi sai xác định mức: (10 ÷ 20) %, (45 ÷ 55) % (80 ÷ 90) % phạm vi đo SALG ĐLVN 273 : 2021 7.3.2 Xác định sai số SALG Việc xác định sai số SALG thực lặp lại tối thiểu lần cách so sánh trực tiếp số giá trị mức chất lỏng thị SALG với giá trị chuẩn hệ thống chuẩn Việc xác định sai số thông thường tiến hành từ mức gần khơng “0” sau tăng dần tới mức chất lỏng gần với giá trị đo lớn phạm vi đo SALG Tại mức chất lỏng trình tự hiệu chuẩn tiến hành sau: - Bước 1: Điều chỉnh mức chất lỏng (theo hệ thống công nghệ phục vụ hiệu chuẩn SALG) tới mức chất lỏng cần hiệu chuẩn Kiểm tra để đảm bảo mức chất lỏng thay đổi không ± mm vịng phút cách đọc giá trị mức tối thiểu lần - Bước 2: Đọc ghi nhận giá trị hiển thị SALG giá trị thiết bị đo chiều dài chuẩn giá trị nhiệt độ chất lỏng vào Biên Phụ lục - Sai số SALG (ΔSALG) mức chất lỏng tính theo cơng thức:  SALG  Lstd  LSALG (5) Trong đó: LSALG: Mức chất lỏng hiển thị SALG Lstd: Mức chất lỏng hiển thị thiết bị đo chiều dài chuẩn Tiến hành lặp lại bước tối thiểu thêm lần cho mức (giảm mức xuống lượng sau tăng trở lại mức ban đầu) 7.3.3 Xác định sai số hồi sai SALG Việc kiểm tra sai số hồi sai áp dụng cho SALG có phận cảm biến đo mức chuyển động, kiểu phao từ, servo Việc kiểm tra sai số hồi sai tiến hành theo trình tự sau: - Bước 1: Bắt đầu từ giá trị mức chất lỏng cần kiểm tra, tăng mức chất lỏng hệ thống công nghệ phục vụ hiệu chuẩn lên khoảng xấp xỉ 1/3 phạm vi đo SALG - Bước 2: Khi mức chất lỏng ổn định tiến hành ghi nhận giá trị SALG, LSALG1 giá trị thiết bị chuẩn, Lstd1 - Bước 3: Sau từ mức chất lỏng bước 2, tiếp tục thay đổi mức chất lỏng thêm lượng xấp xỉ 1/10 giá trị mức chất lỏng Ngay sau đó, thay đổi mức chất lỏng mức chất lỏng bước Đợi cho mức chất lỏng ổn định sau tiến hành ghi nhận giá trị SALG, LALG2 giá trị thiết bị đo chiều dài chuẩn, Lstd2 - Bước 4: Sai số hồi sai SALG tính theo công thức: (6) ĐLVN 273 : 2021 Ước lượng độ không đảm bảo đo 8.1 Độ không đảm bảo đo tổng hợp (uc) - Với SALG hiệu chuẩn sử dụng hệ thống ống đứng: (7) Trong đó: ustd: ĐKĐBĐ thiết bị đo chiều dài chuẩn; u1: ĐKĐBĐ loại A; u2: ĐKĐBĐ độ phân giải SALG; u3: ĐKĐBĐ ảnh hưởng nhiệt độ lên thiết bị đo chiều dài chuẩn - Với SALG hiệu chuẩn sử dụng hệ thống bia di động (8) Trong đó: ustd: ĐKĐBĐ thiết bị đo chiều dài chuẩn; u1: ĐKĐBĐ loại A; u2: ĐKĐBĐ độ phân giải SALG; u3: ĐKĐBĐ việc chuyển vị trí đặt SALG; u4: ĐKĐBĐ không song song trục ray dẫn hướng SALG; u5: ĐKĐBĐ hệ số giãn nở nhiệt độ ray dẫn hướng; u6: ĐKĐBĐ biến thiên nhiệt độ trình hiệu chuẩn - Với SALG hiệu chuẩn sử dụng hệ thống khay chất lỏng di động: uc  ustd  u12  u22  u32  u42  u52 (9) Trong đó: ustd: ĐKĐBĐ thiết bị đo chiều dài chuẩn; u1: ĐKĐBĐ loại A; u2: ĐKĐBĐ độ phân giải SALG; u3: ĐKĐBĐ không song song trục ray dẫn hướng SALG; u4: ĐKĐBĐ hệ số giãn nở nhiệt độ dây dẫn hướng; u5: ĐKĐBĐ biến thiên nhiệt độ trình hiệu chuẩn ĐLVN 273 : 2021 8.2 Độ khơng đảm bảo đo mở rộng: U Được tính với mức tin cậy P  95% hệ số phủ k = U  k  uc   uc (10) Ghi chú: Hướng dẫn ước lượng thành phần tham gia đóng góp vào độ khơng đảm bảo đo mở rộng Phụ lục Xử lý chung 9.1 SALG sau hiệu chuẩn có ĐKĐBĐ ≤ 0,5 mm (áp dụng cho SALG sử dụng để phê duyệt mẫu phục vụ kiểm định) ĐKĐBĐ ≤ 1,3 mm (áp dụng cho SALG sử dụng để kiểm định kiểm định thiết bị đo mức) sai số hồi sai mức ≤ mm cấp chứng hiệu chuẩn (tem hiệu chuẩn, giấy chứng nhận hiệu chuẩn , ) theo quy định 9.2 SALG chuẩn sau hiệu chuẩn không đạt yêu cầu Mục 9.1 khơng cấp chứng hiệu chuẩn xóa dấu hiệu chuẩn cũ (nếu có) 9.3 Chu kỳ hiệu chuẩn SALG: 12 tháng 10 Phụ lục BIÊN BẢN HIỆU CHUẨN Tên quan hiệu chuẩn Số: Tên chuẩn/phương tiện đo: Kiểu: Số: Cơ sở sản xuất: Năm sản xuất: Đặc trưng kỹ thuật : Phạm vi đo: Giá trị độ chia: Độ xác: Cơ sở sử dụng: Phương pháp thực hiện: Chuẩn, thiết bị sử dụng: Điều kiện môi trường: Nhiệt độ: ……… oC Người thực hiện: Độ ẩm: ……… %RH Ngày thực hiện: Địa điểm thực hiện: KẾT QUẢ HIỆU CHUẨN Kiểm tra bên ngồi: Đạt  Khơng đạt  Lý khơng đạt: Kiểm tra kỹ thuật: 2.1 Kiểm tra độ ổn định việc chuyển vị trí SALG: Kết luận Đạt  Khơng đạt  Lý không đạt 2.2 Kiểm tra độ ổn định việc chuyển vị trí SALG: Kết luận Đạt  Không đạt  Lý không đạt 11 Kiểm tra đo lường 3.1 Xác định sai số SALG Mức đo ( mm) Lần đo Lần Lần Lần Lần Lần Trung bình Lần Lần Lần Lần Lần Trung bình Lần Lần Lần Lần Lần Trung bình Lần Lần Lần Lần Lần Trung bình Lần Lần Lần Lần Lần Trung bình 12 Giá trị thị SALG (mm) Giá trị thị chuẩn (mm) Nhiệt độ hiệu chuẩn (oC) Sai số (mm) 3.2 Xác định sai số hồi sai SALG Mức …… ….mm Mức … ….mm Mức … ….mm Lstd1, mm LSALG1, mm Lstd2, mm LSALG2, mm δi Kết luận: Người soát lại Người thực 13 Phụ lục YÊU CẦU KỸ THUẬT CỦA CÁC HỆ THỐNG CÔNG NGHỆ PHỤC VỤ HIỆU CHUẨN SALG Nguyên lý yêu cầu kỹ thuật hệ thống sử dụng ống đứng Ống đứng hệ thống có tác dụng tạo thay đổi mức chất lỏng nhằm phục vụ việc hiệu chuẩn SALG Cấu tạo hệ thống bao gồm ống chứa chất lỏng đặt theo phương thẳng đứng nối thông với nhằm đảm bảo cân mức chất lỏng hai ống Ngồi ra, mức chất lỏng ống thay đổi (tăng giảm) nhờ bơm hệ thống van ghép nối bơm nguồn chất lỏng sơ đồ Hình 1 2M Hình Sơ đồ hệ thống sử dụng cột chất lỏng phục vụ hiệu chuẩn SALG sử dụng thước chuẩn 1: TB đo độ dài chuẩn; 2: Cột chất lỏng 1; 3: Bơm hệ thống van công nghệ điểu chỉnh mức chất lỏng; 4: Bể chứa; 5: Ống thủy; 6: Cột chất lỏng Trong ống chứa chất lỏng ống thứ dùng để lắp đặt thiết bị đo chiều dài chuẩn (như hệ đo xa dùng laser tuyệt đối, hay hệ dùng giao thoa kế laser, ), ống 14 thứ hai dùng để lắp đặt SALG cần hiệu chuẩn Do ống nối thông nên thay đổi mức chất lỏng ống Ngoài để tạo thuận lợi việc hiệu chuẩn SALG, ống thủy (ống thủy tinh ống nhựa suốt) nối thông với hai ống chứa chất lỏng để quan sát mắt thường thay đổi mức chất lỏng trình hiệu chuẩn SALG Tại mức hiệu chuẩn, mực chất lỏng hai ống phải đảm bảo ổn định đến 0,1 mm (căn vào việc đọc giá trị mức chất lỏng bị đo chiều dài chuẩn) Bơm, hệ thống van, đường ống công nghệ phải đảm bảo có khả điều chỉnh tăng giảm mực chất lỏng ống đến mm đáp ứng phép hiệu chuẩn SALG Ngoài ra, bơm hệ thống ống cơng nghệ phải có khả thay đổi mức chất lỏng với vận tốc nhỏ mm / phút vận tốc lớn 600 mm / phút SALG đặt hệ thống thử nghiệm phải gắn chặt ống đỡ có kết cấu vững chắc, ống đỡ phải cố định cho dịch chuyển thẳng đứng so với điểm mốc phải nhỏ 0,02 % chiều cao chứa đo Nguyên lý yêu cầu kỹ thuật hệ thống bia di động Hệ thống xây dựng nhằm mục đích mơ mức chất lỏng (theo phương nằm ngang) phục vụ việc hiệu chuẩn SALG (theo nguyên lý sóng siêu âm radar) Về nguyên lý: hệ thống xây dựng theo phương nằm ngang Một phẳng (bia chuẩn) di chuyển (nhờ dẫn động hệ thống động vơ cấp) hành trình m nhờ ray dẫn hướng Thiết bị đo khoảng cách chuẩn (theo nguyên lý giao thoa laser) SALG gá hai phía bia đo khoảng cách tới bề mặt bia Sau hành trình m bia, di chuyển SALG xa m so với vị trí ban đầu tiếp tục lại bước đo làm với m SALG 10 11 Hình : Sơ đồ nguyên lý hệ thống nằm ngang phục vụ hiệu chuẩn SALG sử dụng thiết bị đo chiều dài chuẩn kiểu giao thoa kế laser 1: TB đo độ dài chuẩn; 2: Động dẫn động; 3: Bia chuẩn; 4: Ray dẫn hướng; 5: SALG mốc chuẩn Về mặt yêu cầu kỹ thuật hệ thống: bia chuẩn dẫn động nhờ động bước với tốc độ điều khiển từ máy tính (với độ phân giải 1,8 độ/bước) kết hợp với tang 15 quấn thiết kế đặc biệt (1 lô quấn dây, lô dải dây trục quay) hệ thống lò xo có nhiệm vụ làm căng dây hành trình hành trình (mốc thiết bị đo chiều dài chuẩn) bia Ray dẫn hướng làm vật liệu có hệ số giãn nở nhiệt thấp, yêu cầu độ lệch theo phương đứng phương ngang ray khơng q 0,1 mm Tồn liệu từ thiết bị đo chiều dài chuẩn, thiết bị đo mức hệ thống dẫn động bia thu thập, đồng điều khiển nhờ chương trình phầm mềm (Labview) máy tính Nguyên lý yêu cầu kỹ thuật hệ thống sử dụng khay chất lỏng di động Hệ thống công nghệ xây dựng nhằm mục đích mơ mức chất lỏng (theo phương thẳng đứng) phục vụ việc hiệu chuẩn SALG (theo nguyên lý servo) Hệ thống bao gồm phần chính: 1- Cụm giá; 2- Dây dẫn hướng máng di động; 3- Máng chất lỏng di động ; 4- Ròng rọc; 5- Bộ gương giao thoa; 6- SALG; 7- Nguồn phát laser thiết bị đo chiều dài chuẩn; 8- Đồ gá thiết bị đo chiều dài chuẩn; 9- Bộ thị; 10- Bàn gá; 11- Động tang nhả Hình Sơ đồ nguyên lý hệ thống dùng khay chất lỏng di động theo phương thẳng đứng phục vụ hiệu chuẩn SALG - Phần thứ nhất: Cụm đồ gá phía bao gồm phẳng, đồ gá nguồn laser để thu giao thoa, phận dẫn động (động bước với độ xác cao, điều khiển từ máy tính) khay chất lỏng di động, thị đồ gá SALG - Phần thứ hai: Cụm đồ gá phía bao gồm phẳng, thiết bị căng dây dẫn hướng 16 - Phần thứ ba: cụm đồ gá gồm dây dẫn hướng song song với để dẫn hướng khay chất lỏng di chuyển lên, xuống theo phương thẳng đứng - Phần thứ tư: Khay chứa chất lỏng di động cụm gương giao thoa laser di chuyển khay chất lỏng Yêu cầu kỹ thuật chung hệ thống: - Cân lực căng hệ dây dẫn hướng với lực căng dây khơng q 10 N - Tín hiệu giao thoa ổn định tồn hành trình hiệu chuẩn - Độ lệch dây dẫn hướng tồn hành trình không 0,1o 17 Phụ lục HƯỚNG DẪN ƯỚC LƯỢNG ĐỘ KHÔNG ĐẢM BẢO ĐO Với hệ thống sử dụng ống đứng 1.1 ĐKĐBĐ thiết bị đo chiều dài chuẩn (ustd) Thành phần độ không đảm bảo đo xác định từ giấy chứng nhận hiệu chuẩn thiết bị đo chiều dài chuẩn Nó xác định từ độ không đảm bảo đo mở rộng Ustd với hệ số phủ k = 2: ustd  (1) U std U std  k 1.2 ĐKĐBĐ loại A (u1) ĐKĐBĐ loại A (u1) xác định theo công thức sau: u1   SALG _ i   SALG  (2) n * (n  1) Trong đó:  SALG : sai số tuyệt đối, trung bình SALG, mm; n: số lần đo lặp lại mức 1.3 ĐKĐBĐ độ phân giải SALG (u2) (3) Trong đó: d: độ phân giải SALG, mm 1.4 ĐKĐBĐ ảnh hưởng nhiệt độ lên thiết bị đo chiều dài chuẩn (u3) u3  L  T  T (4) Trong đó: L: chiều dài thiết bị đo chiều dài chuẩn, mm; αT: hệ số phụ thuộc vào nhiệt độ thiết bị đo chiều dài chuẩn, 1/oC; ΔT: thay đổi nhiệt độ trình hiệu chuẩn, oC Với hệ thống sử dụng bia di động 2.1 ĐKĐBĐ thiết bị đo chiều dài chuẩn (ustd) Thành phần độ không đảm bảo đo xác định từ giấy chứng nhận hiệu chuẩn Nó xác định từ độ không đảm bảo đo mở rộng Ustd với hệ số phủ k = 2: ustd  18 U std U std  k (5) 2.2 ĐKĐBĐ loại A (u1) u1   SALG _ i   SALG  (6) n * (n  1) 2.3 ĐKĐBĐ độ phân giải SALG (u2) u2  (7) d 2 2.4 ĐKĐBĐ chuyển vị trí đặt SALG (u3) u3   (8) 2.5 ĐKĐBĐ không song song trục ray dẫn hướng theo phương ngang (u4) u4  1  cos   L (9) 2.6 ĐKĐBĐ hệ số giãn nở nhiệt độ ray dẫn hướng (u5) (10) 2.7 ĐKĐBĐ biến thiên nhiệt độ trình hiệu chuẩn (u6) u6  (11)  L    T 3 Với hệ thống sử dụng khay chất lỏng di động 3.1 ĐKĐBĐ thiết bị đo chiều dài chuẩn (ustd) ustd  (12) U std U std  k 3.2 ĐKĐBĐ loại A (u1) u1   SALG _ i   SALG  (13) n * (n  1) 3.3 ĐKĐBĐ độ phân giải SALG (u2) u2  d 2 (14) 19 3.4 ĐKĐBĐ không song song theo phương thẳng đứng thiết bị đo chiều dài chuẩn (u3) 1  cos   L u3  (15) 3.5 ĐKĐBĐ hệ số giãn nở nhiệt dây dẫn hướng máng di động (u4) u4   106  L  T (16) 3.6 ĐKĐBĐ biến thiên nhiệt độ trình hiệu chuẩn (u5) u5  20  L    T (17)