... sát sản phẩm cảm biến áp suất thương mại hóa ứng dụng thiết bị dân dụng, nhóm thực đề tài thực thiết kế, mô phỏng, chế tạo ứng dụng thử nghiệm chip cảm biến áp suất với dải ứng suất hoạt động ... bước chế Tài liệu, Chip cảm biến áp tạo Độ đồng >20 CD-ROM suất dải làm việc Hoàn thành chip/ wafer 0-6 Bar Bộ mask chế tạo Đạt tiêu chuẩn chế tạo Chip cảm biến áp Chip cảm biến áp suất suất công ... kỹ thuật Chip cảm biến áp để chạy cảm biến áp suất suất hướng tới ứng dụng dân dụng Quy trình đóng Trình bày chi tiết Tài liệu, gói Chip cảm biến quy trình đóng gói CD-ROM áp suất chế tạo phân...