Microsensors, MEMS and Smart Devices - Gardner Varadhan and Awadelkarim Part 15 pps
microsensors mems and smart devices gardner varadhan and awadelkarim pot
... methacrylate)-co-ethylacrylate] (COP)Dichloropropyl acrylate and glycidylmethacrylate-co-ethyl acrylate (DCOPA)LithographyOpticalOpticalOpticalE-beam and X rayE-beam and X rayXrayTypeNegativePositivePositivePositiveNegativeNegativevi ... (MST); the main ones are as follows:30 0- 25 0- I 20 0- I 15 0- S 10 0- 5 0- 01990 1992 19941996Year1998 2000 2002Figure 1.4 World market for ICs and microsensors from 1990 to 2000. ... Physics(Italy). Dr. Awadelkarim& apos;s research interests include nanoelectronics, power semicon-ductor devices, and micro-electromechanical systems. Dr. Awadelkarim has authored/co-authored...
- 521
- 185
- 0
Microsensors, MEMS and Smart Devices - Gardner Varadhan and Awadelkarim Part 1 pdf
... Accelerometers and Gyroscopes 41414.7 Concluding Remarks 416References 416 15 Smart Sensors and MEMS 417 15. 1 Introduction 417 15. 2 Smart Sensors 421 15. 3 MEMS Devices 434 15. 4 Concluding ... soild-state device physics, micro-electronics, material science, MEMS/ Smart structures, and mechanics. Prior to joiningAbout the AuthorsINTRODUCTIONDimension of object -1 0 -9 -8 – 7-6 - 5-4 ... 129809Library of Congress Cataloguing-in-Publication Data Gardner, J. W. (Julian W.), 195 8- Microsensors, MEMS, and smart devices / Julian W. Gardner, Vijay K. Varadan.p. cm.Includes...
- 30
- 198
- 0
Microsensors, MEMS and Smart Devices - Gardner Varadhan and Awadelkarim Part 2 ppt
... etc.0, 1,2,3, ,(n- 1)-l,-l + 1, -l + 2, ,-! ,0, l, l-2,l- 1,l+ ior-Inumber ms, which takes two values +| and — |. Therefore, four quantum numbers n, l,m, and ms are required ... methacrylate)-co-ethylacrylate] (COP)Dichloropropyl acrylate and glycidylmethacrylate-co-ethyl acrylate (DCOPA)LithographyOpticalOpticalOpticalE-beam and X rayE-beam and X rayXrayTypeNegativePositivePositivePositiveNegativeNegativeETCHING ... 10 -5 16811.71906.9GaAs5316 151 010 -1 14712 - —SiO2 154 41880 - 6. 5-1 14. 3-4 .538014Si3N434401900 - 197.538014Al2699660377236 - 7050Au193201064488319 - 78200Ti450816602622 - -4 0480"Measured...
- 30
- 272
- 0
Microsensors, MEMS and Smart Devices - Gardner Varadhan and Awadelkarim Part 3 pdf
... (ºC) 1150 –1225102 5-1 1001100–117595 0-1 050Dopant typennPDepositionrateL(um/min)0. 2-1 .00. 1-1 .00. 2-2 .00. 1-0 .25N/AN/AN/AA number of different sources of both silicon and the ... Electronics and Optoelec-tronics, Chapman and Hall, London, p. 351.Culshaw, B. (1996). Smart Structures and Materials, Artech House, Boston, p. 209. Gardner, J. W. and Bartlett, ... mm125 mm 150 mmThickness (mm)Primary flatalength (mm)Secondary flatlength (mm)Bow (mm)Total thicknessvariation (u,m)Surface orientation0.5 0-0 .553 0-3 51 6-2 00.6 0-0 .654 0-4 52 5-3 070650.6 5-0 .705 5-6 03 5-4 06050(100)...
- 30
- 266
- 0
Microsensors, MEMS and Smart Devices - Gardner Varadhan and Awadelkarim Part 4 pdf
... testReworkabilityDie attach and wire bond130 0-5 002 0-1 002. 0-3 .5 4-7 ExcellentDCPoorTAB>250 0-7 00 3-4 4. 0-5 .0 3-4 FairACPoor/FairFlipTAB>250 0-7 00 3-4 4. 0-5 .0 3-4 FairACFairFlipChip0.8100010<1.010PoorACPoorbasic ... 102COPPMMAPBSLithographyOpticalOpticalOpticalOpticalE-beam and X-rayE-beam and X-rayE-beam and X-rayTypeNegativeNegativeNegativePositiveNegativePositivePositiveMaskWaferExposing radiationGlassChromium (80 nm)An image-forming ... consists of either a p-type region sandwiched between two n-type regionsfor an n-p-n transistor or an n-type region sandwiched between two p-type regions fora p-n-p transistor; hence,...
- 30
- 316
- 0
Microsensors, MEMS and Smart Devices - Gardner Varadhan and Awadelkarim Part 5 pdf
... c[ p-S'i s etc^^\I**,: , , ,| , i::::•:•:• •:• !&*()Wth | :!:|R:j: - Mi)n /!!!!!hed m m•^ - - - -= ^ Oxide growthS] on p-Si and IE passivationm ^-4 -_ _-_ _-_ ^fllrSSvtf_ ... conductivityUnits% - 1 0- 6/°Cg/cm3 - 10–3kV/mmGPaft-cmJ/g.°KW/m.°KAI2O399.5White7.63.879.90.1244001014 - 2 0-3 5AI2O396White7.13.79.50.4262501014 - 2 0-3 5BeO99.5White9.03.016.50.49.517 0-2 4010 15 - 25 0-2 60A1N9 8-9 9.8Dark grey4.43.2558. 8-8 .90. 7-2 .01 0-1 428 0-3 20>10130.748 0-2 60The choice of ceramic substrate is important and the >99 percent ... (Au) 15 10 0-1 5025 0-3 5025 0-3 505 to 10+0. 2-0 .33.0904.3HTCCMCM-CAlumina9.510 0-7 5010 0-2 00W(Co) 15 10 0-1 2525 0-6 2520 0-3 0050+0. 8-1 10.01022.1Adapted from Doane and FranzonThin filmMCM-DPolyimide3.52525Cu...
- 30
- 374
- 0
Microsensors, MEMS and Smart Devices - Gardner Varadhan and Awadelkarim Part 9 ppt
... types of MEMS RADIATION SENSORS241RaditionsensorsNumberparticlesX rayX ray - Plastic film - Thermoluminescent - Solid-state-Photoconductive-Photovoltaic-Photoconductive - Photovoltaic" ... microfluidic devices, " Sensors and Actuators A, 70, 15 3-1 58.Sun, C., Jiang, X. N. and Zhang, X. (1999). "Experimental and numerical study on microstereo-lithography ... wavelengths from the ultraviolet-to-near-infrared (UV-NIR) region, whichincludes visible, through the NIR and thermal-infrared region and into the microwave and radio regions. The most...
- 30
- 653
- 0
Microsensors, MEMS and Smart Devices - Gardner Varadhan and Awadelkarim Part 10 docx
... density(mg/Hz)Package"Price(€)*MotorolaXMMAS401G1D1±40 g20 g -4 0 to 10554000.5N/A7.816-pin DIP,SIP11BoschSMB0501±35 g - - 74000.5N/A - 28-pinPLCCN/ABoschSMB0602±35 g - - 124000.51 - 28-pinPLCCN/AAnalog devices ADXL50JH1±50 ... control9999n/a79301003.3974551419 0-1 055 0-1 05 0-1 05 0-1 05500200005 0-1 05CurrentCurrent19891994199 4-1 995199 4-1 995Current devices have an accuracy of 0.01 percent root-mean-square (rms) or better, ... found, that is,1 dVH rnkg rpkg5, = - j- = =- (n-Si) and + -^ -f-Ix dBz ned ped(8.44)Thus, a low carrier concentration (and hence high resistivity) generally produces...
- 30
- 317
- 0
Microsensors, MEMS and Smart Devices - Gardner Varadhan and Awadelkarim Part 11 pps
... SnO2UndopedoxideUndopedoxideMeasurandMethaneHydrogensulfideAir quality(smoke)Toxic gas - COHydrocarbonsChlorineOzoneRange(PPM)50 0-1 0000 5-1 00<101 0-1 0001 0-1 000 0-5 0-0 .3(PowermW)835660660120400650800Costa(euro)13501313 15 2525aPrice ... Shurmer, H. V. and Gardner, J. W. (1993). "Integrated tin oxide sensors of low powerconsumption for use in gas and odour sensing," Sensors and Actuators B, 1 5-1 6, 3 2-3 7.Covington, ... either in-line or at-line — this is extremelydemanding and rules out conventional CMOS devices that operate only up to a temperatureof about +125°C. However, there is a field-effect...
- 30
- 351
- 0
Microsensors, MEMS and Smart Devices - Gardner Varadhan and Awadelkarim Part 12 pps
... operationDevicetypeLoveSAWRayleighSAWSH-SAW SH-APMFPWSubstrateTypicalfrequency(MHz)ST-quartz ST-quartz LiTaO3 ST-quartz SixNy/ZnO9 5-1 30 8 0-1 000 9 0-1 50 160 1-6 UaUbtMediaTransverseParallelIce ... Surface-Wave Devices for Signal Processing, Elsevier, The Netherlands.Nakamura, N., Kazumi, M. and Shimizu, H. (1977). "SH-type and Rayleigh-type surface waves onrotated Y-cut ... details of the SAW-based ice microsensor.316INTRODUCTION TO SAW DEVICES Table 9.2 Structures of Love, Rayleigh SAW, SH-SAW, SH-APM and FPW devices and compar-ison of their operationDevicetypeLoveSAWRayleighSAWSH-SAW...
- 30
- 256
- 0
Từ khóa: modeling compensation and control of smart devices with hysteresisfabrication of mems and nemsmicroengineering mems and interfacing a practical guideprinting saving and closing part fileskaplan toefl paper and pencil part 2kaplan toefl paper and pencil part 8kaplan toefl paper and pencil part 4kaplan toefl paper and pencil part 7kaplan toefl paper and pencil part 3kaplan toefl paper and pencil part 5kaplan toefl paper and pencil part 6kaplan toefl paper and pencil part 1ielts listening section example and skills part 2dreamweaver cs5 tutorial how to make a website using photoshop and dreamweaver part 1dual boot windows 8 and linux mint 15Báo cáo thực tập tại nhà thuốc tại Thành phố Hồ Chí Minh năm 2018Báo cáo quy trình mua hàng CT CP Công Nghệ NPVNghiên cứu sự hình thành lớp bảo vệ và khả năng chống ăn mòn của thép bền thời tiết trong điều kiện khí hậu nhiệt đới việt namNghiên cứu tổ chức pha chế, đánh giá chất lượng thuốc tiêm truyền trong điều kiện dã ngoạiđề thi thử THPTQG 2019 toán THPT chuyên thái bình lần 2 có lời giảiGiáo án Sinh học 11 bài 13: Thực hành phát hiện diệp lục và carôtenôitGiáo án Sinh học 11 bài 13: Thực hành phát hiện diệp lục và carôtenôitGiáo án Sinh học 11 bài 13: Thực hành phát hiện diệp lục và carôtenôitPhát triển du lịch bền vững trên cơ sở bảo vệ môi trường tự nhiên vịnh hạ longĐịnh tội danh từ thực tiễn huyện Cần Giuộc, tỉnh Long An (Luận văn thạc sĩ)Sở hữu ruộng đất và kinh tế nông nghiệp châu ôn (lạng sơn) nửa đầu thế kỷ XIXKiểm sát việc giải quyết tố giác, tin báo về tội phạm và kiến nghị khởi tố theo pháp luật tố tụng hình sự Việt Nam từ thực tiễn tỉnh Bình Định (Luận văn thạc sĩ)BT Tieng anh 6 UNIT 2Tăng trưởng tín dụng hộ sản xuất nông nghiệp tại Ngân hàng Nông nghiệp và Phát triển nông thôn Việt Nam chi nhánh tỉnh Bắc Giang (Luận văn thạc sĩ)Tranh tụng tại phiên tòa hình sự sơ thẩm theo pháp luật tố tụng hình sự Việt Nam từ thực tiễn xét xử của các Tòa án quân sự Quân khu (Luận văn thạc sĩ)Giáo án Sinh học 11 bài 15: Tiêu hóa ở động vậtGiáo án Sinh học 11 bài 14: Thực hành phát hiện hô hấp ở thực vậtGiáo án Sinh học 11 bài 14: Thực hành phát hiện hô hấp ở thực vậtTrách nhiệm của người sử dụng lao động đối với lao động nữ theo pháp luật lao động Việt Nam từ thực tiễn các khu công nghiệp tại thành phố Hồ Chí Minh (Luận văn thạc sĩ)Chiến lược marketing tại ngân hàng Agribank chi nhánh Sài Gòn từ 2013-2015