... 9E- 15 5.2E-14 7.6E510 7.6E5 9E-17 5. 2E-16 7.6E410 5 . 25 E3 1.4E-17 1.6E-16 5 . 25 E2 50 7.6E5 2. 9E-17 1.6E-16 1.5E4Macroscale (from Vargo Table 3)0.1 7.6E5 9.1E-16 1.3E- 12 7.6E61.0 7.6E5 2. 8E-17 ... (SP) 1E-7, 1E3 2. 2 1.1E -2 1.7E- 15 1E10 Based on Suetsugu, 1993, 1 .5 cmdia., 3.1 cm lengthTurbomolecular (TM -2 ) 1E-6, 1E1 4 7 5E-14 1E7 Kenton, 20 03Scroll (SCL -2 ) 1E-1, 1E3 . 12 25 7.8E-17 1E4 ... p. 25 3Diffusion (DIF) 1E -5 , 1E-1 2. 5E4 1.4E3 2. 5E- 15 1E4 Zyrianka, catalogTurbo/drag (T/DR) 1E -5 , 4.5E1 30 20 2. 5E- 15 4.5E6 Alcatel, catalog (30Hϩ30)Orbitron (ORB) 1E-7, 1E3 1700 750 2E-13...