... kêch thêch maûnh. Khi
1
BÀI GIẢNG MÔN HỌC
CÔNG NGHỆ VI ĐIÊN TỬ
Credits: 2
Prerequisites:- Semiconductor Devices
- Microelectronic Circuit Design
References
1. HONG H. LEE, Fundamentals ... (1. 4) v (1. 5):
n
n
≈ N
D
- N
A
(1. 6)
p
p
≈ N
A
- N
D
(1. 7)
Näưng âäü hảt ti khäng cå bn (thiãøu säú) cọ thãø âỉåüc tênh xáúp xè tỉì (1. 6) , (1. 7) vaì (1. 3):
AD
i
n
NN
n...
...
⎟
⎟
⎠
⎞
⎜
⎜
⎝
⎛
=
⎟
⎟
⎠
⎞
⎜
⎜
⎝
⎛
=
⎟
⎟
⎠
⎞
⎜
⎜
⎝
⎛
=
p
b
E
p
b
C
p
b
B
L
W
aI
L
W
aI
L
W
aI
coth
csch
2
tanh
1
1
1
15
Khi âọ (1. 12) tråí thnh:
(1.15)
(
)
kTEE
c
fc
eNn
/−−
=
Tỉång tỉû:
(1.16)
(
)
kTEE
v
vf
eNp
/
=
2/ 3
2
2
2
=
h
kTm
N
p
v
Vồùi ... Vồùi Si, ồớ nhióỷt õọỹ 20
o
C, à
n
= 1900 cm
2
/(V.s) vaỡ à
p
= 425
cm
2
/(V.s). Quan hóỷ (1 .20 ) âụn...
...
()
=
2
2
1
DDTG
in
D
VVVV
L
ZC
I
à
Z: chiu sõu ca kờnh, L: chiều dài kênh, C
i
: điện
dung lớp cách điện trờn n v din tớch,
n
à
linh
ng b mặt của điện tử.
18
trong âọ η l hãû säú phủ thüc vo mỉïc pha tảp ... tỉång æïng våïi sæû suy giaím 3 dB cuía âäü låüi so våïi giạ
trë ca nọ åí táưn säú tháúp:
f
α
= 1/(2πτ
B
)
vaì:
n
b
B
D
W
η
τ
2
=
19
17
17...
... trë tiãu biãøu cuớa G
E
(5x10
13
cm
-4
). Giaớ thióỳt thoớa
maợn (coù thãø kiãøm tra laûi sau), tênh G
B
:
G
B
= G
E
/β = 5x10
13
/45 = 1.11x10
12
cm
-4
s
Näưng âäü pha tảp trung bỗnh ồớ ... 10
18
cm
-3
(tổỡ hỗnh 1-25). Duỡng giạ trë ny cng våïi phán bäú
Gauss cọ thãø tờnh X
2
= 2 .44 àm.
7. Giaù trở tờnh õổồỹc cuớa x
2
lồùn hồn giaù trở thổớ (2àm). ióửu naỡy chỉïng t
låïp...