bionanofluidic mems
bionanofluidic mems
... Engineering, Georgia Institute of Technology, Atlanta, GA 30332, USA P. J. Hesketh (ed.), BioNanoFluidic MEMS. C Springer 2008 2 J. D. Meindl is profoundly motivated by the ensuing prospect of ... Technology, Atlanta, GA 30332-0245, USA e-mail: zhong.wang@mse.gatech.edu P. J. Hesketh (ed.), BioNanoFluidic MEMS. C Springer 2008 12 C. Hu et al. nanoparticles or thin films in an effor...
Ngày tải lên: 28/04/2014, 11:28
Mô phỏng gia tốc kế theo công nghệ MEMS bằng SIMULINK
... những công nghệ mới đang tạo ra những thay đổi mang tính cách mạng là Công nghệ vi cơ điện tử (MEMS - Micro Eletro Mechanical Systems). Cảm biến gia tốc là một trong các thiết bị được chế tạo
Ngày tải lên: 15/10/2012, 09:21
Khảo sát đặc trưng và khả năng ứng dụng của cảm biến gia tốc MEMS
... Gad-el-Hak, “The MEMS handbook”, CPR Press, New York, 2002 3. http://www.analog.com/en/prod/0,2877,ADXL202,00.html 1 KHẢO SÁT ĐẶC TRƯNG VÀ KHẢ NĂNG ỨNG DỤNG CỦA CẢM BIẾN GIA TỐC MEMS ... tốc chế tạo theo công nghệ MEMS, trên cơ sở đó thực hiện một bài toán sử dụng cảm biến gia tốc: Bài toán đo góc nghiêng và độ rung. 2. Lý thuyết 2.1 Tổng quan về MEMS Vào thế k...
Ngày tải lên: 16/11/2012, 10:19
Nghiên cứu chế tạo Sensor gia tốc kiểu tụ trên cơ sở công nghệ Mems
Ngày tải lên: 19/11/2012, 10:29
Simulation and Fabrication of Piezoelectric mems Inkjet Print head
... the MEMS device. Fig. 1-6. A typical approach to MEMS application from concept to devices. The process of developing a MEMS application starts with determining the specifications for MEMS ... simulation A typical approach to MEMS application from concept to devices can be shown in Fig. 1-6. The approach consists of several steps such as specifications of MEMS device, desig...
Ngày tải lên: 10/04/2013, 13:48
khảo sát đặc trưng và khả năng ứng dụng của cảm biến áp suất MEMS
... trước đây. Song công nghệ MEMS mới đang ở giai đoạn đầu của nó và cần rất nhi ều những nghiên cứu cơ bản hơn, sâu hơn. 2. Công nghệ chế tạo các sản phẩm MEMS Các sản phẩm MEMS là sự tích hợp vi ... Systems) viết tắt là MEMS cũng đã được ra đời và phát triển trong giai đoạn này. Công nghệ vi cơ đã và đang tiến xa hơn nhiều so với nguồn gốc của nó là công nghiệp bán dẫn. MEMS b...
Ngày tải lên: 11/04/2013, 16:01
Non-Destructive Resonant Frequency Measurement on MEMS Actuators
... parametric measurements for MEMS, such as sheet resistance, contact resistance, and electrical line width are directly transferable from the microelectronics industry. MEMS devices also require ... frequency measurements provide useful insight into the repeatability of MicroElectroMechanical Systems (MEMS) manu- facturing processes. Several techniques are available for making this measurem...
Ngày tải lên: 23/10/2013, 16:15
Design and Simulation of A CMOS-MEMS Accelerometer
... Composite Comb Fingers: Gap capacitance of comb fingers in CMOS -MEMS technology is rather different from that in homo- geneous polysilicon MEMS technology. However, since the dielectric material between ... drops between the air gap. Therefore, to first-order, the capacitance model for CMOS -MEMS is similar to polysilicon MEMS. As shown in Figure 2.10, the total gap capacitance can be mod...
Ngày tải lên: 27/10/2013, 23:15
Tài liệu Ứng dụng cảm biến áp suất MEMS trong thiết bị điện tử y tế pdf
... Ứng dụng cảm biến áp suất MEMS trong thiết bị điện tử y tế Applications of MEMS pressure sensors in the medicine electronic devices Chử Đức ... systems (MEMS) components in medicine electronic devices are nowadays very attractive for many scientists in different fields. This paper describes the applications of the homemade MEMS pressure ... nhà ITIMS, 01 Đại Cồ Việt, Hà Nội,...
Ngày tải lên: 10/12/2013, 14:15