microfabrication & MEMS technology 1

... thướccủahốc ăn mòn. a < ;11 0> [0 01] B z a a [0 01] < ;11 0> Đường đánh dấu tr ụ c TT < ;11 0 > [10 0] a ụ L < ;11 0> [ 010 ] 54,74 0 < ;11 0> V. Vi chế tạo và công nghệ MEMS 1. Kỹ thuật ănmòn/Etching ... đế/nền (substrate). ) Vai tr ò củaSi: • {11 0} [ 010 ] • {11 1} ª 3mặtphẳng nguyên lý đặctrưng cho tính dị hướng : [10 0], [11 0] và [11 1]. CÔNG NGHỆ VÀ LIN...

Ngày tải lên: 23/04/2014, 10:19

... Q u i t r ì n h SUMMiT (Sandia Ultraplanar Multilevel MEMS IC Technology) ) Phủ lớp p olysilicon th ứ hai – MMPOLY1 trên bề mặtlớpSACOX1đã được quang khắc định dạng. ) Phủ lớp SACOX2 (độ dày ... khắc ) Ă ò MMPOLY 2 à lớ hỗ h ả MMPOLY 1 à MMPOLY 2 bằ ) Phủ lớp polysilicon – MMPOLY2 pha tạp(độ dày ~ 1, 5 μm)t rựctiếp lêntrênbề mặtlớp MMPOLY1. ) Ă nm ò n MMPOLY 2 v à lớ p hỗ n h ợp...

Ngày tải lên: 23/04/2014, 10:19

... kếthợp). ) 3 mặt phẳng nguyên lý đặc trưng cho 3 mặt phẳng nguyên lý đặc trưng cho tính dị hướng : [10 0], [11 0] và [11 1]. Z ZZ Z Y (10 0) Y ( 11 0 ) (11 1) X Y (10 0) X Y () X Y 19 CÔNG NGHỆ VÀ LINH KIỆN CÔNG NGHỆ VÀ LINH KIỆN MEMS Một thế giới rộng mở và ... trục [ 0 01 ] ; cũng trong mf này a [ 0 01 ] ; cũng trong mf này , nhưng nghiêng góc 45 0 ⇒ trục [10 1]; phương đ...

Ngày tải lên: 23/04/2014, 10:16

... 80 d=5.39393 d=4.2 619 5 d=3.43584 d=3.40 314 d=3.352 01 d=2.88432 d=2.69550 d=2.54964 d=2.4 612 6 d=2.28569 d=2. 210 60 d=2 .12 612 d =1. 8 217 1 d =1. 54423 d =1. 52469 d =1. 38295 d =1. 37278 d =1. 225 51 Figure 6. XRD result ... Started: 16 s - 2-Theta: 10 .000 ° - Theta: 5.000 ° - Chi: 0.00 Lin (Counts) 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 10 0 11 0 12 0 13 0 14 0 15 0 2-Theta -...

Ngày tải lên: 01/04/2013, 22:46

... language sections 10 . Table 10 : Test reliability coefficient 10 . Table 11 : p-value of items in 4 sections 11 . Table 12 : Discrimination value of items in 4 sections 12 . Table 13 : Number of test items ... Limitations of MCQs test 10 2.3.4. Principles on designing a good MCQs test 11 2.4. Reliability of a test 11 2.4 .1. Definition 11 2.4.2. Methods for test reliability e...

Ngày tải lên: 10/04/2013, 14:46

... Turbine 14 7 Steam Turbine Problems 15 2 Start Up a Steam Turbine 15 3 Gas Turbines 15 4 Electric Motors 15 5 Turbine and Motor Symbols 15 7 Summary 15 9 Review Questions 16 0 Chapter 7 Heat Exchangers 16 1 Key ... Symbols 13 8 Summary 13 8 Review Questions 14 1 Chapter 6 Turbines and Motors 14 3 Key Terms 14 4 Kinds of Turbines 14 5 History of Steam Turbines 14 5 Operating Pr...

Ngày tải lên: 15/08/2013, 07:50

... distribution 91 4.5 Conclusions 11 5 References 11 6 5. Surface effects in film coating Michael E.Aulton Summary 11 8 5 .1 Introduction 11 8 5.2 Wetting 11 9 5.3 Penetration 13 9 5.4 Spreading 14 0 ... description 276 11 .5 Equipment history file 277 11 .6 Physical validation 277 11 .7 Standard operating procedure (SOP) development 282 11 .8 Analytical support...

Ngày tải lên: 24/12/2013, 18:15

Ngày tải lên: 30/12/2013, 20:34

Ngày tải lên: 12/02/2014, 15:20

... Burn O 2 17 . 01 – 17 . 01 N 2 63.99 – C 3 H 8 2.5 C 3 H 8 þ 5O 2 ¼ 3CO 2 þ 4H 2 O 2:5 1 Â 5 ¼ 12 :5 C 4 H 10 16 .5 2C 4 H 10 þ 13 O 2 ¼ 8CO 2 þ 10 H 2 O 16 :5 2 Â 13 ¼ 10 7:25 Total 10 0 10 2.74 So 1 m 3 of ... Vapour O 2 17 . 01 N 2 63.99 C 3 H 8 2.5 C 3 H 8 þ 5O 2 ¼ 3CO 2 þ 4H 2 O 2:5 1 Â 3 ¼ 7:5 2:5 1 Â 4 ¼ 10 :0 C 4 H 10 16 .5 2C 4 H 10 þ 13 O 2 ¼ 8CO 2 þ...

Ngày tải lên: 16/02/2014, 07:20