Kết quả và thảo luận
3.1.2. Quá trình tái kết tinh của màng ITO
Màng mỏng ITO ngay sau khi bay hơi ( mẫu Mo) th−ờng là màng giàu kim loại Inđi. Các
màng này có độ dẫn điện cao gần với kim loại, nh−ng lại hầu nh− không cho ánh sáng truyền qua. Điều này đ−ợc giải thích là do sự thiếu hụt ôxy trong quá trình bay hơi và cấu trúc tinh thể của màng ITO ch−a hoàn thiện. Để nhận đ−ợc màng ITO có độ dẫn điện cao và trong suốt với ánh
sáng khả kiến, màng ITO sau khi bay hơi cần đ−ợc tiến hành xử lý nhiệt. Khi ủ màng trong không khí, màng sẽ bị ôxy hoá d−ới tác dụng của khí ôxy trong môi tr−ờng. Đồng thời có sự sắp xếp lại một cách có trật tự các nguyên tử để hình thành cấu trúc tinh thể ITO. Quá trình này đ−ợc gọi là quá trình tái kết tinh của màng. Trong quá trình tái kết tinh, việc chọn nhiệt độ ủ và thời gian ủ thích hợp cho phép nhận đ−ợc màng ITO có các tính chất nh− mong muốn là rất quan trọng. Để khảo sát các tính chất cấu trúc, điện , quang của màng mỏng ITO vào nhiệt độ ủ, các mẫu khác nhau đ−ợc ủ nhiệt trong 1 giờ theo chế độ ủ trong bảng 2.1. Sự phụ thuộc điện trở của màng vào nhiệt độ ủ cũng đã đ−ợc khảo sát và đ−ợc chỉ ra trên hình 3.6. Từ hình này nhận thấy điện trở của màng tăng dần theo nhiệt độ ủ trong khoảng từ nhiệt độ phòng đến 350
0C. Trong khoảng nhiệt độ từ 350 0C đến 450 0C điện trở của màng có sự gia tăng rất nhanh và tiến tới bão hoà. Điều này chứng tỏ rằng ở vùng nhiệt độ này
Hình 3.6 : Sự phụ thuộc của điện trở vào nhiệt độ ủ
0 50 100 150 200 250 300 350 400 450 50010 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 Đi ện t rở (O h m ) Nhiệt độ (oC)
quá trình ôxy hoá và tái kết tinh đã xảy ra. Các kết quả nghiên cứu về cấu trúc cũng cho các kết quả t−ơng tự. Nó cho thấy ở nhiệt độ ủ 400 0C trong môi tr−ờng không khí là thích hợp đối với các màng sau khi bay hơi [8,24].