I, INTRODU CTION
8.Tht; ti/, bai viét giri theo dia chi:
Ban bién tàp Chuyén san Toàn - Vàt iy Tap chi Khoa hoc - Dai hpc Quóc già Ha Nói 144 Dirang Xuan Thùy, Càu Giàỵ Ha Nói
In Lai Mia in Dai hoc Quoc ^ia Ila Nóị Ib phó llàng Chiiói, Ha Nói Ciav phép » 3305/CPbC. ngà)' 3 t.han5 11 nàm 1994
NGHIÉN Ciru CHE TAO MÀNG ZnO BANG PHUONG PHÀP SOL-GEL Khùc Quang Dat, Phùng Quóc Bào, Nguyén Thi Thuc Hién
Pham Nguyén Hai, Le Vàn Vù, Nguyén Chi Thành
Tniòng Dai hoc Khoa hoc Tu nhién, Dai hoc Quóc già Ha nói
5 ? ^ ^^'o ; ! S ; f "'^J ^"^ ^ " ^ ' '^'""'^^ ^^"5 ^'"'"^'8 phàp sol-gel vài dung dich ban in!Ì^ J^ ^nk^''^''^' ''ì'" "''" ^''^'"^ ''"''• ^^"^'' ^^ " ^'^^^ '/"/^ /"^" trong khodng tu WU C den 400' C. Két qua do nhiéu xg lia X cho thày càc màng tao duac là da tinh thè Pho huynh quang tgi nhiét dò phòng xuàt hién hai dai: mot dai hep gàn bò hàp thu mg vài dinh 380nm va mot dai nhoè róngà khoàng 500nm. Phó truyén qua cho thày dò truyén qua cao nhàt dat 80%.
1. M Ò DÀU
Trong nhùng nàm gàn day ZnO lai duac chù y nghién cmi mot càch manh me nhàm ung dung vào linh vuc quang dién tir, nhu làm cùa so quang cho pin mat trai, man hién thi ..., do nhùng uu the nói bàt cùa ZnO so vói càc vàt liéu khàc nhu do róng vùng Cam lón (Eg * 3.3 eV a nhiét dò phòng), nàng luong lién két exciton lón (60 meV)...
Co nhiéu phuong phàp tao màng tu vàt liéu này, vi du phuang phàp phun tinh dién [1,2J, phùn xa [3,4], làng dong bang xung laser [5]... Tuy nhién, phuong phàp sol- gel co mot uu diém hcm so vói càc phuang phàp khàc là khà don giàn, tién Igi va kinh té' vi khóng càn phài dùng dén nhùng thié't bi tòt, qua dàt va dòi hòi co che do nghiém ngat nhu chàn khóng cao, nhiét dò caọ.. Phuang phàp này cho phép tao màng ó nhiét do thàp bang càc phàn ùng hoà hoc cùa càc chat hùu co co chùa Zn. Tuy nhién, chat luang cùa màng hién tai khóng the dat dén dò hoàn hào nhu nhùng màng tao bang phuang phàp epitaxi, sputtering... Sau khi tao gel, chat luang cùa màng phu thuóc rat nhiéu vào nhiét do ù. Tim dugc che dò tòi uu va xem xét su ón dinh cùa màng là mot nhiém vu quan trong cùa cóng nghé nàỵ Trong bào cào này chùng tói trình bay càc két qua buóc dàu trong viéc nghicn cùu che tao màng ZnO khóng pha tap làm cùa so quang hoc bang phuang phàp sol-gel tu hop chat Zn(CH3COO)'3.2H,0.