đây là kỹ thuật phân tắch thành phần hóa học của vật rắn dựa vào việc ghi lại phổ tia X phát ra từ vật rắn do tương tác với các bức xạ (mà chủ yếu là chùm ựiện tử có năng lượng cao trong các kắnh hiển vi ựiện tử). Trong các tài liệu khoa học, kỹ thuật này thường ựược viết tắt là EDX hay EDS xuất phát từ tên gọi tiếng Anh Energy Dispersive X-ray Spectroscopy.
Kỹ thuật EDX chủ yếu ựược thực hiện trong các kắnh hiển vi ựiện tử, ở ựó
ảnh vi cấu trúc vật rắn ựược ghi lại thông qua việc sử dụng chùm ựiện tử có năng lượng cao tương tác với vật rắn. Khi chùm ựiện tử có năng lượng lớn ựược chiếu vào vật rắn, nó sẽ ựâm xuyên sâu vào nguyên tử vật rắn và tương tác với các lớp ựiện tử bên trong của nguyên tử. Tương tác này dẫn ựến việc tạo ra các tia X có bước sóng ựặc trưng tỉ lệ với nguyên tử số (Z) của nguyên tử theo ựịnh luật Mosley.
Có nghĩa là, tần số tia X phát ra là ựặc trưng với nguyên tử của mỗi chất có mặt trong chất rắn. Việc ghi nhận phổ tia X phát ra từ vật rắn sẽ cho thông tin về các nguyên tố hóa học có mặt trong mẫu ựồng thời cho các thông tin về tỉ phần các nguyên tố này.
Có nhiều thiết bị phân tắch EDX nhưng chủ yếu EDX ựược phát triển trong các kắnh hiển vi ựiện tử, ở ựó các phép phân tắch ựược thực hiện nhờ các chùm ựiện tử có năng lượng cao và ựược thu hẹp nhờ hệ các thấu kắnh ựiện từ. Phổ tia X phát ra sẽ có tần số (năng lượng photon tia X) trải trong một vùng rộng và ựược phân tich nhờ phổ kế tán sắc năng lượng do ựó ghi nhận thông tin về các nguyên tố cũng như thành phần.