Mẫu ăng-ten sau khi được mạ đồng sẽ được khảo sát độ dày bằng máy đo độ dày bằng phương pháp cơ (máy Dentak - profilometer), mẫu sẽ được khảo sát độ dày ở các điểm ngẫu nhiên được chọn (khoảng 6 điểm), sau đó lấy giá trị trung bình để cho ra giá trị độ dày trung bình của mẫu ăng-ten được mạ đó. Mặt khác máy Dentak profilometer còn có khả năng cho ta biết mức độ ghồ ghề bề nặt mẫu khi quét, do đó bên cạnh độ dày màng chúng ta còn có thể đánh giá bề mặt của mẫu ăng-ten được mạ.
Thiết bị Dentak 6M (Hình 2.10) do hãng Veeco (Mỹ) sản xuất có khả năng đo vẽ profile trên bề mặt màng mỏng bằng cách dịch một thanh có đầu kim nhọn được phủ kim cương trên bề mặt mẫu. Khi kim dịch chuyển, dựa vào độ ghồ ghề của bề mặt màng mỏng mà kim sẽ dao động theo phương thẳng đứng và cho ra kết quả trên màn hình là những đường profile của bề mặt mẫu.
Hình 2.8. Cấu trúc của máy đo bề dày bằng phương pháp cơ
Các tính chất của máy Dentak 6M:
Máy đo độ dày bằng phương pháp cơ
Điều khiển và quản lý bằng máy tính
Khoảng dao động theo chiều thẳng đứng: 100Angstrong - 1 mm
Độ phân giải theo chiều thẳng đứng: xuống đến 1Å
Độ dài quét: từ 50 µm đến 30 mm
Lực tác động của mũi dò lên mẫu: 1-15mg
Số điểm quét có thể lên đến 60000 điểm cho mỗi lần quét.
Các thông số đo của máy: Độ ghồ ghề, Độ gợn sóng, Độ dày.
Hình 2.10. Máy Dentak 6M của Veeco