Trên hình 2.1 là thiết bị bốc bay nhiệt VHD được lắp đặt tại Phòng Vật liệu và linh kiện năng lượng cao, Viện Khoa học Vật liệu, Viện Hàn lâm Khoa học và Công nghệ Việt Nam. Bốc bay chân không sử dụng nguồn nhiệt trực tiếp nhờ thuyền điện trở còn gọi là bốc bay nhiệt. Thuyền điện trở thường dùng là các lá volfram, tantan, molipden hoặc dây xoắn thành giỏ. Chúng là những kim loại có nhiệt độ nóng chảy cao và bền trong chân không, nhất là chân không siêu caọ Vật liệu cần bốc bay (vật liệu gốc) được đặt trực tiếp lên thuyền trong buồng hút chân không. Khi có dòng điện chạy qua, thuyền được đốt nóng lên đến nhiệt độ cao bằng hoặc hơn nhiệt độ hoá hơi của vật liệu gốc
21
Hình 2.1: Máy bốc bay nhiệt VHD
thì các phần tử hoá hơi sẽ bay ra và lắng đọng trên đế. Đây là phương pháp thuận tiện, có nhiều ưu điểm để chế tạo các màng mỏng kim loại đơn chất như nhôm, bạc, vàng. Để bốc bay màng mỏng hợp chất nhiều thành phần phương pháp này ít được sử dụng vì một số nhược điểm chính sau đây: Nó dễ xảy ra sự “hợp kim hoá” giữa thuyền
và vật liệu gốc, trong chân không sự hoá hơi của các vật liệu phụ thuộc vào nhiệt hoá hơi riêng của từng chất cho nên màng nhận được có chất lượng không cao về hợp thức hoá học. Trong phương pháp này có sự tiếp xúc trực tiếp giữa vật liệu nguồn và vật liệu thuyền ở nhiệt độ cao nên dễ hình thành dạng hợp kim của các vật liệu này làm ảnh hưởng tới độ tinh khiết của
màng. Mặt khác nhiệt độ nóng chảy của các thuyền điện trở thường không cao (nhỏ hơn 1800 oC), cho nên với các vật liệu có nhiệt độ nóng chảy và hoá hơi lớn hơn thì phương pháp này không thực hiện được. Thông thường phương pháp bốc bay nhiệt được dùng để chế tạo các điện cực kim loại, các màng mỏng đơn chất. Để chế tạo các màng mỏng của các vật liệu hợp chất hoặc nhiều thành phần thì phương pháp này gặp nhiều khó khăn trong việc đảm bảo hợp thức hoá học cho mỗi thành phần có nhiệt độ hoá hơi khác nhaụ
22
Hình 2.2. Nhiễu xạ kế tia X (Simens D5000)