Trước quá trình phún xạ, buồng phún xạđược hút chân không đến chân không cơ sở PCS = 10-7 ÷ 10-8 Torr. Các mẫu màng FePt được chế tạo trong môi trường Ar với áp suất PAr và công suất phún xạ PRF trong thời gian tS.
c)
Hình 3.1. Ảnh FE-SEM của các mẫu màng FePt chế tạo với thời gian phún tS a)tS = 10 phút, b)tS = 15 phút, c)tS = 20 phút (công suất của nguồn RF PRF = 75
W, áp suất khí Ar là PAr = 4 mTorr)
Các mẫu chế tạo ở PAr = 4 mTorr, PRF = 75 W, trong thời gian phún tS = 10 phút, 15 phút và 20 phút được dùng cho phép đo hiển vi điện tử quét để xác định chiều dày của các màng. Các ảnh chụp SEM được trình bày trên hình 3.1.
Dựa trên các kết quả này chúng ta có thể tính được chiều dày các màng và biểu diễn sự phụ thuộc của chiều dày d theo thời gian phún xạ tS như trên hình 3.2. Kết quả cho thấy các màng có độ dày cỡ vài chục nm và chiều dày màng tăng tuyến tính với thời gian phún xạ. Chúng ta có thể tính được tốc độ phún xạ trung bình của FePt vào khoảng 4 nm/phút.
Theo nghiên cứu của Y.K. Takahashi và các cộng sự [9], các màng mỏng FePt chế tạo có nhiệt độ đế với chiều dày lớn hơn 50 nm sẽ cho lực kháng từ lớn. Trên cơ sở đó, khi chế tạo các màng mỏng có nhiệt độđế chúng tôi chọn thời gian phún tS là 15 phút để khảo sát.