Khi chất lỏng chuyển động qua cực của tụ điện, làm thay đổi từ trường xuất hiện trên tụ, làm hằng số điện môi thay đổi. Một mạch điện tử của cảm biến sẽ cảm nhận được sự thay đổi đó chuyển thành một tín hiệu điện để xử lý.
Hình 2. 11a) giọt chất lỏng chờ qua điện cực nối với mạch điện tử b) giọt chất lỏng rơi qua điện cực, làm hằng số điện môi ɛ thay đổi [6]
Hình 2. 12Mô hình của cảm biến chất lỏng với tín hiệu cảm biến theo thời gian [6]
Sự thay đổi hằng số điện môi do giọt chất lỏng di chuyển qua cực của cảm biến ở hình 2.11 (a và b) sẽ được đo bằng giá trị điện áp U0 biến thiên từ (Umin đến Umax) đầu ra cảm biến theo thời gian thực như tại mô hình điện áp theo thời gian tại hình 2.12
2.5 Cảm biến tụ kép vi sai
Tụ kép là hệ tụ gồm các tụ đơn kết hợp với nhau các bản cực của tụ đơn thường đặt song song, trượt tịnh tiến hoặc quay quanh trục hoặc tâm.
Hình 2. 13Cảm biến tụ kép vi sai[3]
Tụ kép vi sai có khoảng cách giữa các bản cực biến thiên dịch chuyển thẳng như hình 2.12 a)
Hoặc có diện tích bản cực biến thiên dịch chuyển quay như theo hình 2.12 b Theo như hình 2.12 c tụ kép có sự dịch chuyển thẳng gồm ba bản cực. Bản cực động A1 dịch chuyển giữa hai bản cực cố định A2 và A3 tạo thành cùng với hai bản cực này hai tụ điện có điện dung C21 và C31 biến thiên ngược chiều nhau.
Do vậy, độ nhạy và độ tuyến tính của tụ kép vi sai cao hơn tụ đơn và lực tương hỗ giữa các bản cực triệt tiêu lẫn nhau do ngược chiều nhau.[3]