3.2. Đánh giá tác động và đề xuất các biện pháp, công trình bảo vệ môi trường
3.2.1. Đánh giá, dự báo tác động
3.2.1.1 Đánh giá, dự báo tác động liên quan đến chất thải
- Nước thải sinh hoạt phát sinh từ hoạt động của công nhân làm việc trong dự án.
- Nước thải phát sinh từ công đạn sản xuất tế bào quang điện.
+ Nước thải sản xuất phát sinh từ công đoạn tạo nhám gai bề mặt, thành phần chủ yếu gồm: NaOH, H2O2,Na2SiO2(OH)2, HF, HCl, Chất rắn lơ lửng.
+ Nước thải sản xuất phát sinh từ công đoạn khắc mặt sau, thành phần chủ yếu gồm:
NaOH, H2O2,Na2SiO2(OH)2, HF, HCl, Chất rắn lơ lửng.
+ Nước thải sản xuất phát sinh từ công đoạn khắc mặt chính (mặt trước), thành phần chủ yếu gồm: NaOH, H2O2,Na2SiO2(OH)2, HF, HCl, Chất rắn lơ lửng.
+ Nước thải phát sinh từ hệ thống xử lý khí thải, thành phần chủ yếu gồm: pH, COD, Chất rắn lơ lửng, Flo, Amoniac, Tổng Nito.
+ Nước thải từ hệ thống tháp làm mát
- Nước mưa chảy tràn phát sinh vào những ngày mưa b. Quy mô, tính chất của nước thải
b1. Nước thải sinh hoạt:
- Nước thải sinh hoạt phát sinh chủ yếu từ hoạt động của khu nhà vệ sinh khu vực nhà ăn.
- Thành phần: pH, TSS, BOD5, tổng chất rắn hòa tan, Coliform, tổng N, tổng P, vi sinh vật,...
- Tải lượng:
+ Nhà máy sử dụng số lượng công nhân là 2.400 người được chia làm 2 ca làm việc. Lượng nước cấp cho sinh hoạt tại dự án là 300 m3/ngày.đêm. Theo Nghị định số 80/2014/NĐ-CP ngày 06/08/2014 của Chính Phủ thì lượng nước thải sinh hoạt được tính bằng 100% lượng nước cấp. Như vậy nước thải sinh hoạt phát sinh trong quá trình sản xuất là 300 m3/ngày.đêm.
+ Thành phần nước thải: Nước thải sinh hoạt chứa các chất cặn bã, chất rắn lơ lửng (TSS), chất hữu cơ (BOD5, COD), chất dinh dưỡng (N, P).
+ Tải lượng và nồng độ các chất ô nhiễm trong nước thải được tổng hợp và trình bày tại bảng sau:
Bảng 3. 19: Tải lượng và nồng độ các chất ô nhiễm trong nước thải sinh hoạt trước xử lý trong giai đoạn hoạt động của nhà máy
Chất ô nhiễm
Tải lượng * (g/người.ngđ)
Lưu lượng
thải (m3/ngđ)
Nồng độ (mg/l)
QCVN 14:2008/BTNMT
(Cột B) Cmax
BOD5 45 - 54
276
25.470 - 30.564 60
COD 72 - 103 40.752 - 58.298 -
TSS 70 - 145 39.620 - 82.070 120
NO3- (Nitrat) 6 - 12 3.396 - 6.792 60
PO43-
(Photphat) 0,8 - 4,0
452,8 -
2.264 12
Amoni 2,4 - 4,8 1.358,4 - 2.716,8 12
(*) Tải lượng phát thải các chất ô nhiễm trong nước thải sinh hoạt của 1 người/ngày.đêm theo hướng dẫn của WHO.
Quy chuẩn so sánh: QCVN 14 :2008/BTNMT Quy chuẩn kỹ thuật Quốc gia về nước thải sinh hoạt - cột B áp dụng cho nguồn nước không dùng cho mục đích cấp nước sinh hoạt.
Kết quả tại bảng trên cho thấy nồng độ các chất ô nhiễm trong nước thải sinh hoạt trước xử lý cao hơn nhiều lần giới hạn cho phép theo QCVN tương ứng.
- Vị trí phát thải: Nhà vệ sinh trong khu vực Nhà máy.
b2. Nước thải sản xuất:
a. Lượng nước thải phát sinh tại nhà máy:
* Tổng lượng nước thải phát sinh tại dự án khoảng 9.150 m3/ngày.đêm, bao gồm:
- Nước thải sinh hoạt từ hoạt động sinh hoạt của cán bộ công nhân viên của dự án với lượng là 300 m3/ngày.đêm. Thông số ô nhiễm đặc trưng: TSS, BOD, Phosphat, amoni.
- Tổng khối lượng nước thải công nghiệp phát sinh từ hoạt động sản xuất các sản phẩm của Dự án là 8.850 m3/ngày đêm, bao gồm:
+ Nước loại từ hệ thống tháp giải nhiệt phát sinh 500 m3/ngày.đêm. Thông số ô nhiễm đặc trưng: TSS.
+ Nước thải từ công đoạn pha loãng hóa chất sử dụng cho hệ thống xử lý nước thải phát sinh 400 m3/ngày.đêm. Thông số ô nhiễm đặc trưng: HF, HCl.
+ Nước thải axit loãng phát sinh 4.250 m3/ngày.đêm dẫn về HTXLNT số 1.
Thông số ô nhiễm đặc trưng: HF, HCl.
+ Nước thải chứa axit đậm phát sinh 250 m3/ngày.đêm. Thông số ô nhiễm đặc trưng: HF, HCl, H2[SiF6].
+ Nước thải chứa kiềm đậm phát sinh 700 m3/ngày.đêm. Thông số ô nhiễm đặc trưng: Na2SiO2(OH)2, H2O2, NaOH.
+ Nước thải chứa kiềm loãng phát sinh 2.000 m3/ngày.đêm dẫn về Hệ thống xử lý nước thải (HTXLNT) số 1. Thông số ô nhiễm đặc trưng: H2O2, NaOH.
+ Nước thải từ hệ thống xử lý khí thải chứa axit và kiềm phát sinh 400 m3/ngày.đêm. Thông số ô nhiễm đặc trưng: HF, HCl, H2[SiF6].
+ Nước thải từ hệ thống xử lý khí thải có thành phần amoniac cao phát sinh 350 m3/ngày.đêm. Thông số ô nhiễm đặc trưng: NH3.
Bảng cân bằng nước dẫn về HTXLNT như sau :
STT Công đoạn phát sinh Lượng nước thải phát sinh (m3/ngày.đêm)
Nước thải ra
môi trường Biện pháp thu gom
1 Nước thải dẫn vào hệ thống xử lý số 1
1.1
Nước thải phát sinh từ quy trình sản xuất tế bào quang điện có
thành phần axit, bazo
7.200 7.200
Dẫn vào Hệ thống xử lý nước thải số 1 công suất 8.500 m3/ngày.đêm 1.2 Nước thải phát sinh từ hệ thống xử
lý khí thải có thành phần axit bazo 400 400
1.3
Nước pha loãng hóa chất trong
trạm xử lý nước thải 400 400
1.4 Nước sau hệ thống tháp giải nhiệt 500 500
TỔNG Q1 8.500 8.500
2 Nước thải dẫn vào hệ thống xử lý số 2 2.1
Nước thải phát sinh từ hệ thống xư rlys khí thải có thành phần amoniac cao
350 350 Hệ thống xử lý nước thải số 2 công suất 650 m3/ngày.đêm
2.2 Nước thải sinh hoạt phát sinh từ 300 300
3 Tổng Q2 650 650
5 Tổng (Q1+Q2) 9.150 9.150
Tổng công suất của trạm xử lý nước thải là: 9.150 m3/ngày.đêm: trong đó
HTXLNT số 1 công suất 8.500 m3/ngày.đêm; HTXLNT số 2 công
suất 650 m3/ngày.đêm;
3. Tác động của nước thải đến môi trường xung quanh Các chất dinh
dưỡng (N, P)
- các chất này gây hiện tượng phù dưỡng nguồn nước, làm ảnh hưởng đến chất lượng nước, gây tác hại cho đời sống các vi sinh vật thủy sinh, ảnh hưởng đến sức khỏe của con người.
Ngoài ra, ô nhiễm môi trường nước mặt, nước ngầm còn ảnh hưởng đến môi trường, cảnh quan khu vực. Gây mùi hôi do quá trình lên men yếm khí các chất thải hữu cơ.
Tác hại của chất hữu cơ
- Mức độ ô nhiễm chất hữu cơ trong nguồn nước được biểu hiện thông qua thông số BOD5, COD. Khi hàm lượng chất hữu cơ cao sẽ dẫn đến suy giảm nồng độ oxy hòa tan trong nước do vi sinh sử dụng lượng oxy để phân hủy các chất hữu cơ.
- Lượng Oxy hòa tan giảm dưới mức 50% bão hòa sẽ gây tác hại nghiêm trọng đến tài nguyên thủy sinh. Ngoài ra, nồng độ oxy hòa tan thấp còn ảnh hưởng đến khả năng tự làm sạch của nguồn nước.
Tác hại của chất rắn lơ lửng
- Chất rắn lơ lửng cũng là tác nhân gây ảnh hưởng tiêu cực đến tài nguyên thủy sinh đồng thời gây tác hại về mặt cảm quan do làm tăng độ đục nguồn nước và gây bồi lắng nguồn nước mặt tiếp nhận. Độ đục tăng sẽ làm cản trở ảnh sáng mặt trời xuống bên dưới, các loài sinh vật phía dưới sẽ bị ảnh hưởng do thiếu ánh sáng. Đồng thời trong quá trình vận chuyển, sự lắng đọng của chúng sẽ tạo ra cặn làm tắc nghẽn hệ thống cống.
Các vi khuẩn gây bệnh
- Nước có lẫn vi khuẩn gây bệnh là nguyên nhân của các dịch bệnh thương hàn,lỵ, tả
- Coliform là nhóm vi khuẩn gây bệnh đường ruột - E.Coli là vi khuẩn thuộc nhóm Coliform
Hóa chất HCl - HCl có tính chất tan nhiều trong nước tạo thành dung dịch axit clohidric rất độc hại. Nếu ta uống vào nguồn nước có dung dịch axit HCL hay tưới cho cây cối thì đều gây ảnh hưởng tới sức khỏe và sự phát triển của cây cối
Hóa chất HF - HF cũng là tác nhân gây ảnh hưởng tiêu cực đến tài nguyên thủy sinh đồng thời gây tác hại về mặt cảm quan và phát sinh mùi làm thay đổi nồng độ pH, gây chế vi sinh vật và các sinh vật thủy sinh trong nước.
b3. Nước mưa chảy tràn
Nước mưa chảy tràn trên bề mặt sân bãi khu vực dự án. Vào mùa mưa lượng nước mưa chảy tràn phụ thuộc vào chế độ mưa của khu vực.
Lượng nước mưa chảy tràn này còn kéo theo bụi, đất, cát và các loại chất lơ lửng vào nguồn nước mặt trong khu vực nguồn tiếp nhận thì sẽ gây ảnh hưởng đến chất lượng nước mặt và làm ảnh hưởng đến thủy sinh trong lưu vực.
Lưu lượng nước mưa chảy tràn được tính toán như sau:
Q = F x a x (m3/ngày.đêm) Trong đó:
- F: Diện tích lưu vực: 400.285,17 m2
- a: Vũ lượng mưa lớn nhất trong một ngày đêm (trung bình a = 0,26mm).
- : Hệ số dòng chảy mặt; lấy = 0,85 (đối với mặt nền bê tông).
Thay vào công thức ta có: Q = 88.462 m3/ngày.đêm.
Bảng 3. 20. Hệ số dòng chảy theo đặc điểm mặt phủ
TT Loại mặt phủ Hệ số (Ψ)
1 Mái nhà, đường bê tông 0,8 – 0,9
2 Đường nhựa 0,6 – 0,7
3 Đường lát đá hộc 0,45 – 0,5
4 Đường rải sỏi 0,3 – 0,35
5 Mặt đất san 0,2 – 0,3
6 Bãi cỏ 0,1 – 0,15
Nguồn: TCXDVN 51:2006 - Bản thân nước mưa là sạch nhưng khi chảy tràn qua mặt bằng nhà máy thì sẽ bị nhiễm bẩn. Trong trường hợp này bị ô nhiễm cơ học (đất, cát, rác), ô nhiễm hữu cơ và dầu mỡ. Vấn đề ô nhiễm nước mưa sẽ kéo theo sự ô nhiễm nguồn nước tại khu vực dự án và từ đó gây tác động đến môi trường khu vực.
- Nước mưa chảy tràn từ nhà máy cuốn theo đất, cát, rác… nếu không có biện pháp xử lý hợp lý sẽ làm ô nhiễm nguồn nước, ảnh hưởng đến hệ sinh thái lưu vực tiếp nhận như: làm tăng độ đục trong nước, giảm nồng độ ôxy hòa tan trong nước dẫn đến giảm hiệu suất quang hợp làm số lượng thuỷ sinh trong nước bị suy giảm.
- Nhìn chung, Nhà máy đã được bê tông hóa, có nền công trình phù hợp với phương án thoát nước của KCN Hải Hà nên việc thoát nước mưa chảy tràn tương đối dễ dàng. Hệ thống thoát nước mưa của khu công nghiệp được thiết kế là hệ thống rãnh đậy tấm đan BTCT và được thiết kế theo nguyên tắc tự chảy. Các đoạn rãnh cắt ngang qua đường được thiết kế dạng cống hộp bê tông cốt thép. Nước mưa được thu vào rãnh thông qua cửa thu hàm ếch đặt dọc theo bó vỉa đường.
2/ Nguồn phát sinh, quy mô, tính chất của bụi và khí thải a. Nguồn phát sinh:
Bảng 3. 21: Tổng hợp các nguồn phát sinh bụi, khí thải từ hoạt động của nhà máy
TT Nguồn phát sinh Thành phần ô nhiễm
I Khí thải phát sinh từ nhà xưởng sản xuất tế bào quang điện
1 Khí thải từ công đoạn tạo nhám, gai bề mặt Hơi axit HCl, HF 2 Khí thải từ công đoạn làm sạch sau và khuếch
tán boron Hơi Cl2, Hơi HF, HCl
3 Khí thải phát sinh từ công đoạn khắc mặt sau Hơi axit HCl, HF 4 Khí thải từ công đoạn khuếch tán Phot pho Khí thải Cl2, Hơi HF 5 Khí thải từ công đoạn khắc mặt trước Hơi axit HCl, HF 6 Hệ thống xử lý khí thải axit và kiếm kho hóa chất
+ công đoạn vệ sinh thuyền thạch anh Hơi axit HCl, HF 7 Khí thải phát sinh từ công đoạn tạo màng
LPCVD
N2O, khí SiH4, NH3
Khí oxy 8 Khí thải từ công đoạn CVD oxy hóa màng nhôm Khí thải NH3
9 Khí thải từ công đoạn phủ lớp chống phản xạ
mặt chính SiH4, NH3, bụi
10 Khí thải từ công đoạn phủ lớp chống phản xạ
mặt sau SiH4, NH3, bụi
11 Khí thải phát sinh trong công đoạn in lưới sợi,
thêu kết Benzen, SO2, NOx, CO.
12 Bụi phát sinh từ gian vệ sinh thiết bị Bụi tổng 13
Nhiệt độ cao phát sinh tại khu vực khuếch tán boron, khuếch tán photpho, thụ động mặt trước, in lưới sợi và thêu kết
Khí nóng
II Khí thải phát sinh tại nhà xưởng sản xuất tấm quang năng
1
Khí thải hữu cơ phát sinh từ công đoạn hàn mặt trước, mặt sau của quá trình sản xuất tấm quang năng
SO2, NOx, CO, CO2
2 Khí thải từ quá trình vệ sinh làm sạch tấm quang
năng SO2, NOx, CO, CO2.
III Khí thải phát sinh từ trạm xử lý nước thải
TT Nguồn phát sinh Thành phần ô nhiễm 1 Khí thải phát sinh từ bể thu gom của hệ thống xử
lý nước thải HCl, HF và Cl2
V Khí thải phát sinh từ các hoạt động khác tại nhà máy 1 Khí thải từ hoạt động của máy phát điện dự
phòng Bụi, SO2, NOx, CO, CO2
2 Bụi, khí thải từ hoạt động của các phương tiện
giao thông ra vào nhà máy Bụi, SO2, NOx, CO, CO2
b. Đánh giá tác động:
(1)/ Nguồn gây ô nhiễm bụi và khí thải
a. Khí thải từ hoạt động sản xuất tế bào quang điện và trạm xử lý nước thải Để đánh giá tác động của khí thải HCl, HF, SiH4, NH3 và Cl2 thải từ các ống thải, ĐTM này dựa trên các giả thiết đầu vào sau đây:
- Hiệu suất xử lý các chất ô nhiễm này bằng các tháp rửa khí được coi là trên 90%
(theo nhà cung cấp); như vậy tải lượng thải sau các tháp rửa khí còn lại là 10% so với số liệu từ bảng cân bằng vật chất cho từng loại hóa chất (HCl, HF, NH3, SiH4, Cl2).
- Các ống khói để thải khí thải có giá trị khác nhau (những đều thuộc loại chiều cao thấp (lớn nhất 25 mét) và có miệng thoát lớn (lớn hơn 1000mm).
- Lưu lượng thải được lấy theo số liệu từ quạt hút.
- Mô hình phát tán được sử dụng là mô hình AUSPLUME của Australia (được sử dụng cho các cơ quan quản lý nhà nước) cho phép mô hình hóa đến 100 nguồn thải các loại (ống khói cao, thấp, nguồn điện), và sử dụng file khí tương của 1 năm.
- Nguồn số liệu khí tượng năm 2022 được lấy từ trạm khí tượng thủy văn môi trường Uông Bí. Dưới đây là kết quả tính toán phát tán đối với HCl, HF, SiH4, NH3 và Cl2 với giá trị trung bình 8 giờ và trung bình 24 giờ.
- Từ các kết quả mô hình phát tán ô nhiễm đối với HCl, HF, Si4, NH3 và Cl2 từ các ống khói của dây chuyền sản xuất “tế bào quang điện” tại công ty Jinko có thể nhận thấy:
- Nếu hiệu quả xử lý các khí acid bằng phương pháp hấp thụ nhiều lớp dung dịch NaOH đúng theo công bố của nhà thầu là trên 90%, thì tải lượng thải còn lại sau tháp xử lý là rất nhỏ, và dẫn đến nồng độ ô nhiễm của các khí này trong môi trường là điều nhỏ (cỡ microgam, thấp hơn nhiều so với tiêu chuẩn chất lượng không khí xung quanh. Duy có thể chỉ có Cl2 có hàm lượng tuy thấp hơn tiêu chuẩn môi trường nền, nhưng có thể vẫn chạm ngưỡng mùi, Trên thực tế Cl2 khí hòa tan trong dung dịch kiềm cũng không phải là mạnh, nên có thể sẽ là vấn đề gây phát sinh mùi trong giai đoạn vận hành dự án.
- Do tất cả các ống khói đều có chiều cao thấp (nhỏ hơn 25 mét) nên các giá trị cực đại đều nằm trong khuôn viên của dự án; ít có nguy cơ ảnh hướng đến khu dân cư cách dự án trên 1000 mét.
(a1) Khí thải phát sinh tại công đoạn tạo nhám, gai bề mặt:
Tại công đoạn tạo nhám, gai bề mặt sử dụng dung dịch axit HF, HCl, dung dịch kiềm NaOH để rửa tấm pin. Quá trình rửa có khả năng làm phát sinh hơi axit HF, HCl, H2.
Căn cứ vào bảng cân bằng vật chất, tải lượng phát thải hơi axit từ công đoạn tạo nhám, gai bề mặt như sau:
Bảng 3. 22. Tải lượng khí thải phát sinh từ công đoạn tạo nhám, gai bề mặt
TT Tên axit Tải lượng
(Tấn/năm)
Tải lượng (mg/s)
1 HCl 51,18 1.682,84
2 HF 16,1 529,38
3 H2 2,12 69,7
Ghi chú: Nhà máy làm việc 2 ca/ngày, 8h/ca, 365 ngày/năm.
- Nguồn thải này là nguồn thải thấp (nguồn điểm) nằm trong mái nhà xưởng sản xuất thuộc vùng gió quẩn phía trên của nhà đứng độc lập.
(a2) Khí thải phát sinh từ công đoạn làm sạch sau và khuếch tán Boron Quá trình khuếch tán có khả năng làm phát sinh Cl2, và các khí trơ như O2 và N2.
Tuy nhiên, khí Cl2 là khí có khả năng gây độc tính cao, với nồng độ ô nhiễm được tính toán như sau:
- Căn cứ vào bảng cân bằng vật chất, tải lượng phát thải hơi Cl2 từ hoạt động khuếch tán Boron là 813,54 tấn/năm tương đương với 26.749 mg/s.
(a3) Khí thải phát sinh trong công đoạn khắc mặt sau
Giai đoạn khắc mặt sau loại bỏ PSG sử dụng axit flohydric HCl, HF, NaOH để làm sạch lớp PSG phía sau của tấm silic. Khí thải mang tính axit được phát sinh từ công đoạn rửa axit HF, HCl, NaOH.
- Căn cứ vào bảng cân bằng vật chất, tải lượng phát thải hơi HF, HCl như sau:
Bảng 3. 23: Nồng độ khí thải phát sinh từ công đoạn khắc mặt sau
TT Tên axit Tải lượng
(Tấn/năm)
Tải lượng (mg/s)
1 HF 19,59 664,13
2 HCl 17,89 588,23
3 H2 2,55 83,84
Ghi chú: Nhà máy làm việc 2 ca/ngày, 8h/ca, 352 ngày/năm.
(a4) Khí thải phát sinh từ công đoạn khuếch tán Photpho:
* Khí thải từ công đoạn khuếch tán Photpho
Quá trình khuếch tán có khả năng làm phát sinh Cl2, và các khí trơ như O2 và N2.
Tuy nhiên, khí Cl2 là khí có khả năng gây độc tính cao, với nồng độ ô nhiễm được tính toán như sau:
- Căn cứ vào bảng cân bằng vật chất, tải lượng phát thải hơi Cl2, SiO2, O2 từ hoạt động khuếch tán Photpho là 92,73 tấn/năm tương đương với 3.049 mg/s.
(a5) Khí thải từ công đoạn khắc mặt chính
Tại công đoạn khắc mặt chính dự án sử dụng dung dịch axit HF, NaOH, H2O2 để rửa tấm pin. Quá trình rửa có khả năng làm phát sinh hơi axit HF, H2, HCl.
- Căn cứ vào bảng cân bằng vật chất, tải lượng phát thải hơi HF, HCl, H2 như sau:
TT Tên axit Tải lượng
(Tấn/năm)
Tải lượng (mg/s)
1 HF 57,25 1.882,43
2 HCl 49,69 1.633,85
3 H2 3,83 125,9
Ghi chú: Nhà máy làm việc 2 ca/ngày, 8h/ca, 352 ngày/năm.
(a6) Khí thải axit và kiềm phát sinh tại công đoạn vệ thiết bị và kho hóa chất - Tại phòng vệ sinh thuyền than chì và kho dự trữ hóa chất sẽ phát sinh một lượng nhỏ hơi axit HF, H2, HCl.
(a7) Khí thải phát sinh trong công đoạn tạo màng LPCVD:
- Công đoạn này chủ yếu sử dụng SiH4 và O2 để tạo màng LPCVD có cấu trúc nhỏ gọn, độ cứng cao, độ bền điện môi cao, chống ẩm tốt, kháng axit và kiềm trên bề mặt của tấm pin. Trong quá trình này sẽ phát sinh SiH4 dư. SiH4 sau khi vào hệ thống đốt sẽ tự cháy sẽ trở thành SiO4...
- Căn cứ vào bảng cân bằng vật chất, tải lượng phát thải hơi SiH4 từ hoạt động tạo màng LPCVD là 25,1 tấn/năm tương đương 989,71 mg/s.
- Căn cứ vào bảng cân bằng vật chất, tải lượng phát thải hơi NH3 từ hoạt tạo màng LPCVD là 35,1 tấn/năm tương đương 1.154,11 mg/s.
(a8) Khí thải từ công đoạn CVD oxy hóa màng nhôm - Quá trình oxy hóa nhôm nhà máy sử dụng TMA.
Các phản ứng hóa học chính xảy ra như sau:
2C3H9Al (TMA) + 24N2O → Al2O3 + 6CO2↑+ 9H2O + 24N2↑+Ar Từ phương trình phản ứng trên, cần tính toán phát thải CO2.
Theo cân bằng vật chất, lượng CO2 phát sinh là 7,6 tấn/năm = 249,89 mg/s (Nhà máy làm việc 02 ca/ngày, 8h/ca, 352 ngày/năm).
(a9) Khí thải từ quá trình phủ lớp chống phản xạ mặt chính
- Công đoạn này chủ yếu sử dụng SiH4 và NH3 để tạo màng PECVD có cấu trúc nhỏ gọn, độ cứng cao, độ bền điện môi cao, chống ẩm tốt, kháng axit và kiềm trên bề mặt của tấm pin. Trong quá trình này sẽ phát sinh SiH4 và NH3 dư. SiH4 sau khi tự cháy sẽ trở thành SiO4. Do vậy, khí thải phát sinh chủ yếu từ công đoạn này là NH3.
- Căn cứ vào bảng cân bằng vật chất, tải lượng phát thải hơi NH3 từ hoạt động mạ màng nitrua silic là 343,88 tấn/năm tương đương 11.307,08 mg/s (Nhà máy làm việc 02 ca/ngày, 8h/ca, 352 ngày/năm).
- Căn cứ vào bảng cân bằng vật chất, tải lượng phát thải hơi SiH4 từ hoạt động