II. Design o fa Linear Walking Stage based on Two Types of Piezoelectric Actuators
1. Giới thiệu chung về hệ thống
Định vị chính xác là yêu cầu cấp thiết cho nghiên cứu khoa học và ứng dụng công nghiệp, chẳng hạn như kính hiển vi thăm dị, lắp ráp linh kiện vi mơ, sản xuất mạch tích hợp quy mơ lớn, phẫu thuật vi phẫu và gia cơng siêu chính xác, v.v. Thiết bị truyền động điện áp là một loại thiết bị truyền động phi truyền thống hoạt động bằng hiệu ứng điện áp nghịch đảo của phần tử gốm. Bộ truyền động điện áp có thể tạo ra độ chính xác chuyển động ở mức vi mô / nano và hơn nữa, bậc chuyển động dựa trên bộ truyền động điện áp cũng có thể đảm bảo hành trình chuyển động lớn.
Từ đó, một bậc di chuyển bước tuyến tính hai chân dựa trên bộ truyền động điện áp trượt với cấu trúc chặt sít và khả năng tự khóa được đề xuất để đạt được độ chính xác cao, lực tải lớn và khả năng điều khiển cao. Trong bậc này, lực ma sát giữa bộ dẫn động điện áp trượt và thanh trượt có thể được điều chỉnh bằng cách điều chỉnh lực siết trước, lực này sẽ tác động đáng kể đến lực tải. Lực siết trước của lò xo nén đạt được khả năng tự khóa ổn định. Lực siết trước của cơ cấu kẹp có thể được điều chỉnh tùy ý bằng cơ cấu tải trước được tạo thành lò xo nén tùy theo nhu cầu sử dụng khác nhau. Cơ cấu khuếch đại đòn bẩy bốn thanh song song được thiết kế như một cơ cấu kẹp để khuếch đại độ dịch chuyển của kẹp, giúp cho việc lắp ráp có mức cho phép lớn và đơn giản và dễ dàng. Cơ chế khuếch đại đòn bẩy bốn thanh song song cũng đảm bảo đầu ra dịch chuyển thẳng.