2 Khe hở khụng khớ
3.2.6. Đầu kích quang điện động
Trên hình 3.17, mơ tả ngun lý hoạt động của đầu kích quang điện động.
Hình 3.17 Nguyên tắc hoạt động của đầu kích quang điện động (phillips) 1. Nguồn sáng, 2. Thấu kính, 3. Vùng kích hoạt (10 tế bào quang điện) biến
đổi theo tần số chuẩn thông qua chuỗi tế bào quang điện, 4. Chuỗi tế bào quang điện (220 diôt), 5. Đế thép, 6. Vùng không phản quang, 7. Vùng phản
Trong phơng pháp này, nhịp đo chuẩn không phải là từ một tia chớp mà từ 220V dây tế bào quang điện sắp xếp bên nhau.
Qua một thấu kính độ phận giải vạch chia của thang đo đợc hình thành trên các tế bào quang điện. Mỗi loạt 10 tế bào quang điện đợc kích thích cùng một lúc ở đầu ra.
Điện áp đầu ra của chúng tỷ lệ với dòng ánh sáng dọi vào vùng tế bào quang điện này. Mặt phân chia các tế bào quang điện (trên phơng diện điện tử) đợc nhận biết bởi các chuỗi tế bào quang điện (photodiodesarray) xếp lệch nhau, mô phỏng về điện tử nh một máy quét quang động (optoscaner)
Dòng tổng cộng của tất cả các tế bào quang điện hình thành tín hiệu đo vị trí về pha của nó tơng quan với tần số quét.
Ưu điểm của hệ thống đo này là ở chỗ, với một khoảng chia vạch đo 635 ∝m, có thể đạt độ phân giải vạch chia là 0.5 ∝m.
Dưới đõy là một số hỡnh ảnh cỏc thiết bị đo cơ điện tử, đo dịch chuyển thẳng và đo dịch chuyển gúc.
Thiết bị đ o dịch c huy ể n thẳng:
* Bộ mó húa tuyến tớnh thu gọn
Cụng dụng là để điều khiển biờn độ và độ lệch điện ỏp cho phộp nội suy với độ chớnh xỏc cao và ngoài ra cũn giản thiểu được ảnh hưởng do nhiễu xạ. Nội suy tớnh hiệu nờn tới 100x. Xử lý tớn hiệu đơn qua bộ nối. Hỗ trợ cho gỏ đặt bởi đốn LED đặt ở đầu nối cũng cú thể sử dụng như
kiểu chõn khụng cao tần.
Kiểu thu gọn nay đẻ lộ ra bộ mó húa tuyến tớnh (linear encoder)
- Kớch thước nhỏ về diện tớch bề
mặt nờn hạn chế miền làm việc
- Dung sai gỏ đặt lớn
- LiX 2x: Khụng nhạy với sự nhiễu
- Tốc độ dịch chuyển lớn
- Được tớch hợp bởi cỏc vi mạch điện tử qua đầu kết nối cú 15 chõn cắm D-sub
- Trờn 100 lần nội suy (trước khi chuyển pha 900)
- Điểm chuẩn (chớnh xỏc và định lại được theo cả hai phương dịch chuyển)
- Điểu chỉnh độ lệch và biờn độ động học
- Cú thể ghi trờn thước tỷ lệ bằng thộp SINGLEFLEX hoặc DOUBLEFLEX
LIX 41: cú thể ghi trờn thước thủy tinh
* Encoder tuyến tớnh được bọc kớn RSF
Kiểu được bọc kớn thớch hợp cho những miền làm việc cú nhiều bụi bẩn. Cỏc rónh đọc được giữ kớn trờn suốt chiều dài để trỏnh khỏi cỏc tỏc động của nhiệt độ và bụi bẩn.
* Encoder tuyến tớnh để hở RSF
Hỡnh 3.19. Encoder tuyến tớnh được bọc kớn RSF Kiểu encoder tuyển tớnh hở được thiết
kế cho sử dụng trờn cỏc mỏy cụng cụ và hệ mỏy nơi mà yờu cầu độ chớnh xỏc đặc biệt cao về giỏ trị đo. Cỏc ứng dụng đặc trưng bao gồm: dụng cụ đo và chế tạo trong trong ngành cụng nghiệp bỏn dẫn, cỏc hệ thống mỏy PCB, cỏc mỏy siờu chớnh xỏc, cỏc mỏy cụng cụ độ chớnh xỏc cao, hệ thống đo trờn mỏy và cỏc bộ so sỏnh, kớnh hiểm vi đo lường, cỏc dụng cụ đo chớnh xỏc khỏc, cỏc bộ dẫn động trực tiếp.
* Sensor đo dịch chuyển tuyến tớnh
Đõy là sensor đo vị trớ tuyến tớnh khụng tiếp xỳc Gemco LPS sử dụng cú bản quyền và đảm bảo kỹ thuật tử giảo, truyền tớn hiệu chớnh xỏc, tồn tại dưới dạng chiếc và được kết nối với vị trớ của mỏy