5.1 Phòng sạch được chia ra làm ba phòng nhỏ:
1.9 Phòng sạch
1) Phòng xám (grey room): hay còn gọi là service room, là nơi tập trung các thiết bị như máy bơm chân không (vacuum pump), hệ nước siêu sạch (DI water), lị oxi hố/khuếch tán (furnace 1), lị ơxi hố số chất lượng cao (furnace 2), hệ lắng đọng hoá học tạo màng ở áp suất thấp (LPCVD), hệ thống nước làm lạnh, khí N2, ....
2) Phòng trắng (white room): là nơi chứa các thiết bị đo đạc khác như hệ đo độ dầy màng mỏng (ellipsometer), hệ xác định bề sâu khuếch tán (junction depth)
3) Phịng vàng (yellow room): là nơi có độ sạch lớn nhất trong phịng sạch.
Phần lớn các quy trình cơng nghệ khi chế tạo sensor được thực hiện trong phịng này. Phịng bố trí 01 tủ cơng nghệ được trang bị quạt hút công suất lớn đảm bảo an
toàn cho người làm cùng với các dụng cụ phụ trợ khác cho q trình cơng nghệ cũng được trang bị đầy đủ. Bên cạnh đó chúng ta có máy quang khắc (photolithographer) để phục vụ cho các q trình quang khắc, kính hiển vi quang học (microscope) để kiểm tra chất lượng của mỗi bước công nghệ được thực hiện. Hệ thống máy rửa dùng siêu âm đảm bảo cho các dụng cụ thí nghiệm ln sạch sẽ, các lị sấy lập trình được, hệ quay ly tâm, hệ thiết bị phục vụ cho việc chế tạo vật liệu Sil-Gel làm nguồn khuếch tán, vật liệu phát quang và các vật liệu khác.
5.2 Hệ thống điều hóa khơng khí cho phịng sạch
Trong những năm gần đây nhu cầu cho thiết kế phòng sạch ngày càng tăng. Do yêu cầu của sản phẩm công nghệ cao như sản xuất máy tính,sản xuất chíp,các bo mạch, cơng nghệ chất bán dẫn…hay những loại thuốc trong dược phẩm,các thiết bị y tế, phòng mổ trong bệnh viện.Tất cả những phòng này đòi hỏi phải kiểm sốt nồng độ hạt bụi,các loại chất ơ nhiễm ở một mức cho phép. Vậy hệ thống điều hịa khơng khí cho phịng sạch khác với điều hịa khơng bình thường (cao ốc văn phịng…) ở những điểm nào.
Như vậy đối với phòng sạch thường giải quyết năm vấn đề chính là nhiệt độ(temperature),độ ẩm(humidity), áp suất phòng (Room Pressurization),độ sạch(Cleanliness) và vấn đề nhiễm chéo(cross-contamination). Trong thiết kế điều hịa khơng khí bình thường chỉ giải quyết hai vấn đề chính là nhiệt độ và độ ẩm,thực tế thì vấn đề độ ẩm thường khơng đạt theo như yêu cầu thiết kế.Nhưng trong phịng sạch thì ngồi nhiệt độ thì độ ẩm trong phịng u cầu khắt khe hơn rất nhiều.
Những điểm khác nhau chính giữa phịng sạch và ĐHKK thông thường là 1. Áp suất phòng (Room Pressurization)
Nhiệm vụ chủ yếu là ngăn ngừa khơng cho khơng khí,hạt bụi,chất nhiễm trùng…từ phòng,khu vực dơ hơn sang phòng,khu vực sạch hơn.Nguyên tắc di chuyển căn bản của khơng khí là từ nơi có áp suất cao tới nơi có áp suất thấp.Như vậy phịng có cấp độ sạch hơn thì có áp cao hơn và ngược lại.Để kiểm sốt áp suất phịng thì thường có đồng hồ đo áp suất ,khi áp phòng vượt quá sẽ tự động tràn ra ngồi thơng qua cửa gió xì(Pass-Through Grilles)Thường thì những phịng nào có u cầu cao mới gắn miệng gió xì. Việc tạo áp trong phịng khi thiết kế phải quan tâm tới cột áp của quạt và chênh lệch giữa lương gió cấp và hồi trong phịng sạch. Trong thiết kế nhà máy dược phẩm theo tiêu chuẩn WHO-GMP(World Health
Organization-Good Manufacturing Practice)thì cấp áp suất lần lượt là +(15Pa), + +(30Pa),+++(45Pa).
2. Độ sạch (Cleanliness)
Độ sạch của phòng đường quyết định bởi hai yếu tố là số lần trao đổi gió hay bội số tuần hồn (Air Changes per Hour) và Phin lọc.
1.10 Phin lọc
Thơng thường đối với điều hịa khơng khí cho cao ốc văn phịng có thể từ 2 tới 10 lần.Nhưng trong phịng sạch thì số lần trao đổi gió lên tới 20 lần,đặc biệt trong phịng sạch cho sản xuất chíp lên tới 100 lần.Tăng số lần trao đổi gió để làm giảm nồng độ hạt bụi,chất ơ nhiễm sinh ra trong phịng.Do vậy kết cấu phòng sạch khác với những cao ốc văn phòng.Với các phịng có u cầu cấp độ sạch khác nhau thì số lần trao đổi gió cũng khác nhau.Ví dụ trong nhà máy sản xuất dược phẩm khu vực thay đồ có cấp độ sạch E (cấp màu đen) có áp phịng là +(15Pa),số lần trao đổi gió là 10 ,trong khi phịng pha chế có cấp độ sạch C có áp phịng ++(30Pa),số lần trao đổi gió là 20, phin lọc cấp H12. Phin lọc có nhiệm vụ là lọc bỏ những hạt bụi của khơng khí trước khi vào phịng.Tùy theo u cầu của các loại phòng sạch mà sử dụng phin lọc cho phù hợp. Thông thường với các phịng trong nhà máy dược thì sử dụng loại lọc hiệu suất cao HEPA(High Efficiency Particle Air).Vị trí bộ lọc có thể gắn ngay tại AHU hoặc từng phịng. Hình bộ lọc HEPA
3. Nhiễm chéo (Cross-Contamination)
Để hiểu rõ về nhiễm chéo ta định nghĩa về tạp nhiễm.Tạp nhiễm là sự nhiễm (đưa vào) không mong muốn các tạp chất có bản chất hóa học hoặc vi sinh vật,hoặc tiểu phân lạ vào trong hoặc lên trên một nguyên liệu ban đầu hoặc thành phẩm trung gian trong quá trình sản xuất,lấy mẫu,đóng gói,bảo quản và vận chuyển. Như vậy nhiễm chéo là việc tạp nhiễm của một nguyên liệu ban đầu ,sản
phẩm trung gian,hoặc thành phẩm với một nguyên liệu ban đầu hay sản phẩm khác trong quá trình sản xuất. Việc nhiễm chéo có cả ngun nhân bên ngồi và bên trong.Dưới đây là tổng hợp các nhân tố chính nhiễm chéo trong nhà máy dược.
Vấn đề nhiễm chéo khá phức tạp đối với các phòng trong nhà máy dược cũng như phòng mổ trong bệnh viện.Các phịng sạch cho cơng nghệ cao thì ít hơn rất nhiều do chỉ sản xuất 1 loại sản phẩm trong một khu lớn.
Thực tế thì các nhà máy dược Việt Nam sản xuất quá nhiều loại thuốc khác nhau trong cùng một phòng nên yêu cầu cấp độ sạch rất cao và vấn đề nhiễm chéo trở nên khó kiểm sốt.Việc giải quyết nhiễm chéo là giải quyết 10 vấn đề trên,công thêm việc tạo áp trong phịng.
III. Kết luận
Mơ hình hình thức (Formal model)
• Cịn gọi là CNHPM phịng sạch (Cleanroom SE)
• Tập hợp các cơng cụ nhằm đặc tả tốn học phần mềm máy tính từ khâu định nghĩa, phát triển đến kiểm chứng
• Giúp kỹ sư phần mềm phát hiện và sửa các lỗi khó
• Thường dùng trong phát triển SW cần độ an tồn rất cao (y tế, hàng khơng, . . .)
Mơ hình hình thức: Điểm yếu?
• Cần nhiều thời gian và cơng sức để phát triển
• Phí đào tạo cao vì ít người có nền căn bản cho áp dụng mơ hình hình thức • Khó sử dụng rộng rãi vì cần kiến thức toán và kỹ năng của khách hàng