Các hệ magnetron thường được chia thành 3 loại như: cân bằng ( hình 3.5.1), khơng cân bằng loại I (hình 3.5.2), khơng cân bằng loại II (3.5.3).
Hình 3.5. Hệ nam châm trong hệ phún xạ magnetron DC
Mặc dù đã được cải thiện từ hệ phún xạ cathode nhưng hệ phún xạ magnetron cân bằng vẫn cĩ cơng suất phún xạ chưa cao ở áp suất cao (10-2torr) vì các đường sức từ khép kín.
Muốn gia tăng sự bắn phá của các hạt lên đế (màng) mà vẫn giữ áp suất làm việc cao, một phương pháp khả dĩ sử dụng được là dùng hệ phún xạ cĩ nam châm khơng cân bằng (hệ phún xạ magnetron khơng cân bằng). Ở đây, thỏi nam châm ở giữa được thay thế bằng thỏi cĩ cường độ yếu hơn để nĩ khơng cĩ khả năng kéo vào tất cả các đường sức từ xuất phát từ thỏi nam châm đặt ở vịng ngồi. Một
sốđường sức từ này sẽ uốn cong hướng lên đế. Tùy vào mức độ mất cân bằng mà hệ được gọi là khơng cân bằng loại I hoặc loại II (hình 3.5).
Hình 3.6. Hiện tượng khuyếch tán lưỡng cực trong hệ phún xạ magnetron
Các điện tử dịch chuyển trên những đường sức từ này khơng bị tác động của từ trường ngang nên sẽ di chuyển hướng vềđế. Kéo theo là chuyển động bám đuơi của các ion dương hình thành hiệu ứng khuếch tán lưỡng cực (điện tử bay trước, ion bay nối đuơi theo sau) (hình 3.6). Do đĩ, việc sử dụng hệ magnetron khơng cân bằng mang lại những kết quả:
- Tăng thơng lượng ion dương, ion âm và điện tửđến đế.
Do đĩ trong luận văn này chúng tơi sử dụng hệ phún xạ magnetron khơng cân bằng loại II.
Phần II
Chương 4