2.3. ánhăgiá kh n ngănh y khí NO2 c a c m bi n GSăt ngăh p
↑i căđánhăgiáă đ ănh yă kh́ăNO2ăc aăv tăli uăc măbi năt ngăh pă đ căti nă hànhătheoăcácăb căsau:
Chu năb ăd̀ngăkh́ăNO2/N2:ăd̀ngăkh́ăch aăNO2ăv iăhàmăl ngăthayăđ iăt ă12ă ậă40ăppmătrongăd̀ngăkh́ătr ăN2ăđ căđi uăch nhăt ăh ăth ngăvanătr năđi năt ă(H̀nhă
2.8)ăvàăđ cătr ă ăb̀nhăch aăs ă2.
Chu năb ăbu ngăth ănghi măs ă3: tăv tăli uăc măbi năGSăt ngăh pă(s ă5)ă vàăc măbi năth ngăm i 4 (giúpăphátăhi năhàmăl ngăkh́ăNO2ăćătrongăbu ngăth ă nghi măNitrogen Dioxide Detector E2608,ăs ă4)ăvàoăbu ngăth ănghi mă3ă(bu ngă th ănghi măđ ănh yăkh́ăNO2). K tăn iăc măbi nă5ăv iăthi tăb ăghiănh năđi nătr ăc aă c măbi nă(thi t băKeithleyă2400,ăđưăđ căk tăn iăv iămànăh̀nhăhi năth ăgiáătr ăđi nă tr ăc aăcàmăbi nătheoăth iăgian).ăHútăchânăkhôngăbu ngăth ănghi mă3ăđ năkhiăđ tă ápăsu tă10-2ătorr.ăGiaănhi tăbu ngăs ă3ăđ nănhi tăđ ălàmăvi căc năth ănghi măc aăv tă li uăc măbi nă(Tă=ă30,ă100ăvàă150ăC).ăTi năhànhăđoăgiáătr ăđi nătr ăbanăđ uăR0ăc aă
c măbi năGSăt ngă ngă ăcácănhi tăđ ălàmăvi căT.
ánhăgiáăđ ănh yăkh́ăNO2 c aăv tăli uăc măbi n GS: H th ng t đ ngăđ că thi tăl păđ ăghiănh năt́năhi uăđi nătr ăvàăn ngăđ ăNO2ă ăm i chu kì th ănghi mă thơngăquaă3ăb cănh ăsau:ăc p khí NO2/N2 vào bu ngăth ănghi măs ă3ă(b că1) ậ
ng ng c pă vàă l uă kh́ă trongăbu ngă s ă 3ă (b că 2)ă ậ gi i h pă b ngă cáchă hútă chână khôngă(b că3).ăCácăchuăk̀ăđ c l p l i nhi uăl nănh măđánhăgiáăkh ăn ngăh iăph că c aăv tăli uăc măbi năt ngăh p (H̀nhă2.9). Sau khi k tăthúcăquáătr̀nhăth ănghi m,ă kh́ăN2ăđ căđ aăvàoăbu ngăth ănghi mă3ănh măđ tăápăsu tăkh́ăquy n.
Hình 2.8: Mơ hình thí nghi m kh o sát đ nh y khí NO2 c a c m bi n GC. 1-B măs ăc p, 2-Bu ng tr n khí, 3-Bu ng th nghi m, 4-C m bi năth ngăm i, 5- C m bi n graphene.
Hình 2.9: Ph n m m Seneca Data Recorder ghi nh n n ng đ NO2 (40 ppm) đ c phát hi n trên c m bi n th ng m i E2608.
Cácăgiáătr ăđi nătr ăR0, Rj-1ăvàăR’jăt ngă ngăv iăđi nătr ăbanăđ uăc aăv tăli uă c măbi nă ănhi tăđ ălàmăvi căT (t=0 giây),ăđi nătr ă ăđ uăm iăchuăk ăjăvàăđi nătr ă sauăkhiăv tăli uăc măbi năGSăti păxúcăcânăb ngăv iăNO2ă ăchuăk ăjăđ căs ăd ngăđ ă t́nhăđ ănh yăkh́ăNO2 (SNO2)ătheoăph ngătr̀nh (10).ăCh ăs ăph căh iă(RI)ăc aăv tă
B că2 Chuăk ă2
li uăc măbi năGSăsauăchuăk ălàmăvi căth ăjăđ căt́nhătoánăd aăt ăs ăđi nătr ăRjăăvàă đi nătr ăR0 theoăph ngătr̀nhă(2).
(10) (11)
Trongăđ́:
j = Rj-1 ậ R’j bi năthiênăđi n tr ăchu kì j.
Trongăh ngăm cănày,ă nhăh ngăc aănhi tăđ ălàmăvi că(30 ậ 150 C) đ năgiáătr ăđ ă nh yăkh́ăNO2 (SNO2) và ch s ph c h i (RI) c aăc măbi năGSă s ăđ căkh oăsátă nh măl aăch nănhi tăđ ălàmăvi căph̀ăh p (Tw). nhăh ngăc aăn ngăđ ăNO2ă(trongă d̀ngăkh́ătr )ăđ năSNO2ăvàăRIăc aăc măbi năGSăc ngăs ăđ căkh oăsátă ănhi tăđ ăTwă c ngăđ căkh oăsátănh măđánhăgiáăv̀ngăn ngăđ ălàmăvi căc aăv tăli uăc măbi năGSă đưăt ngăh p.
Ch ngă3. K T QU VÀ BÀN LU N 3.1. cătr ngăv t li u graphene
B ng 3.1 mô t k t qu phân tích SEM c a m uăđ SiC và các m u t ng h p
cácăđi u ki n khác nhau. D a vào m u GS1, GS2 và GS4 so v iăđ SiC ta có th th yăkhiăkhơngăćăgiaiăđo n gia nhi t b ngăcáchăt ngănh c ngăđ dòng, b m t xu t hi n nh ngăv̀ngăthayăđ i theo nhi uăh ngăvàăkhôngăđ u. Nguyên nhân có th
làăkhiăđ t ng tăt ngănhi tăđ cao d năđ n s phân b n ngăl ngăkhôngăđ uăđ b gãy các liên k t trong SiC và khi năchoăSiăth ngăhoa.ăTrongăkhiăđ́ăm u GS3 có
v̀ngăthayăđ iăkháăđ ngăđ u.ăKhiăćăgiaiăđo n gia nhi tăbanăđ u có th giúp phân b
n ngăl ng trên b m t t tăh năvàăh n ch khuy t t t n u có. nh SEM ghiănh nă
nh ng vùng có màu s m ch ng t nh ngăvùng nàyăćăđ sâu l năh năh năsoăv i nh ng vùng ćămàuăsáng.ă i u này ph năánhăm tăph năSiătrênăn năwaferăSiCăđưă đ căth ngăhoaălàmăthayăđ iăđ ăsâuăc aăm tăs ăkhuăv cătrênăđ ăSiCăsauăquáătr̀nhăx ă lỦănhi t. K tăqu ăSEMăkh ngăđ nhăb ăm tăGS1-GS4ăr tăkhácăbi tăsoăv iăb ăm tăSiCă vàătrongă4ăm uăđưăt ngăh p,ăv tăli uăGS3ăćăb ăm tăs mămàuăt ngăđ iăđ ngăđ uăsoă v iăcácăm uăc̀năl i.
B ng 3.1: i u ki n thí nghi m và nh SEM c a các m u graphene (graphene sensor, GS)
Tên m u
nh SEM i u ki n thí nghi m
GS1 T ngă c ngă đ dòngă đi năápăvàoăt ă0ămAălênă
45mA trong 3 phút.ă Ng tă d̀ngă đi nă vàă đ ă
ngu iăt ănhiên.
GS2 T ngă c ngă đ dòng
đi n áp vào t 0 mA lên 30 mA trong 2 phút.ă Ng tă d̀ngă đi nă vàă đ ă
ngu iăt ănhiên.
GS3 T ngă c ngă đ dòng
đi n áp vào t 0 mA lên 20 mA trong 2 phút, sau
đ́ăt ngălênă45 mA trong 4 phút.ă Ng tă d̀ngă đi nă vàăđ ăngu iăt ănhiên.
GS4 T ngă c ngă đ dòng
đi n áp vào t 0 mA lên 45 mA trong 3 phút, sau
đ́ăgi m xu ng 20 mA trong 2 phút.ăNg tăd̀ngă đi nă vàă đ ă ngu iă t ă
Hình 3.1 và 3.2 mô t k t qu phân tích EDX c a m uăđ SiC và m u GS1.ă K tăqu ăphânăt́chăEDXăchoăth yăthành ph n C và Si trênăđ n n SiCăt ngă ng là 53.9 và 46.0 % mol. M u GS1,ăGS3ăvàăGS4 ghi nh n s t ngăv t thành ph n C v i t l mol c aăCăvàăSi (nC/nSi) l năl t t ngă ng là ~2.8;ă3.3ăvàă2.5.ăK tăqu ănàyă ph năánhăch ăđ ăápăd̀ngăđi năgiaănhi tăđ ăSiCăćă nhăh ngăhàmăl ngăCăt oăthànhă t ăquáătr̀nhăth ngăhoaăSiăvàăcácăSiyCx.ăK tăqu ănàyăph̀ăh păv iăs ăđ ngăđ uăh nă c aăph năb ăm tăb ăbi năd ngă(khuy tăt tăb ăm t)ătrênăm uăGS3ăkhiăsoăsánhăv iăcácă m uăGS1ăvàăGS4.
K t qu phân tích thành ph n nguyên t b ngăph ngăphápăEDXăchoăth y b m t v t li u ch bao g m C và Si. Vi c không phát hi n nguyên t O t phân tích EDX ph n ánh màng graphene không b oxiăh́aătrongăđi u ki n t ng h p, c ngănh ă trongăquáătr̀nh l uătr (H̀nhă3.2).
Hình 3.1: K t qu phân tích EDX m u đ SiC.
Hình 3.2: K t qu phân tích EDX m u GS1, ẢS3 và ẢS4.
Hình 3.3 trình bày k t qu phân tích Raman shift c a m u đ SiC và m u GS1. M u GS1 th hi nă3ăm iădaoăđ ngăđ cătr ngăt i s sóng ~1350 cm-1, 1583 cm-
1 và 2700 cm-1t ngă ngădaoăđ ng c a D band , G band và 2D band (còn g iălàăG’ă
band) c a v t li u graphene [33]. Cácădaoăđ ngăđ cătr ng này khác bi t hoàn tồn v iăcácădaoăđ ng t i s sóng 972 cm-1đ c ghi nh n t đ n n SiC.ă nh D ch xu t hi n trong các m u có l p graphene b m t tr t t . S hi n di n c a các khuy t t t
trong h th ng carbon sp2 d năđ n ph Raman c ngăh ng và vì lý do này, quang ph Raman là m t trong nh ng k thu t nh y c m nh tăđ xácăđ nh các khuy t t t trong l p graphene.
Daoăđ ng G band là m t quá trình tán x Raman b c m tăliênăquanăđ n các kích thích quang h c ngang và quang h c d c trong m t ph ng gi a vùng
Brillouin.ăDaoăđ ng G band r t nh y c m v i các hi u ng pha t p và bi n d ng trong h th ng sp2 và có th đ c s d ngăđ nghiên c u các bi năđ i trên b m t graphene. Các t p ch t ho că đi n tích b m t trong l p graphene cu i cùng chia
đnh G thành hai đnh, G (1583 cm-1) và D´ (1620 cm-1).ăC ngăđ và chi u r ng
t ngă đ i c a ch đ 2Dă liênă quană đ n thông tin v s l pă trongă cácă ng nă x p graphene. K t qu hình 3.3 cho th y t s c ngăđ ă2DăbandăvàăGăbandăc aăGS1,ă GS3ăvàăGS4ăl năl tălàă0.72,ă0.76ăvàă0.85ăt ngă ngăm tăvàiăl păgrapheneăđưăh̀nhă thànhătrênăn năSiC [34].ăTuyănhiênăm uăGS3ăvàăGS4ăth ăhi năc ngăđ ăDăbandă ăs ă śngă1357ăcm-1ăth păh năr tănhi uăsoăv iăc ngăđ ăDăbandăc aăm uăGS1.ă i uănàyă ph năánhătr tăt ăl păgrapheneăt oăthànhătrênăm uăGS3ăvàăGS4ăt tăh năsoăv iătr tăt ă cácăl păgrapheneăh̀nhăthànhătrênăm uăGS1.ăV iăcácăch ăđ ăgiaănhi tăkhácănhau,ăcácă khuy tăt tătrênămàngăgrapheneăđ căghiănh nălàăr tăkhácănhau.ăM uăGS1ă(đ căt ngă h păkhiăgiaănhi tătr căti păb ngăc păd̀ngăđi nătr căti pă45ămAăvàoăbu ngăph nă ngă vàăgi ă ă45ămAătrongă3ăphút,ăsauăđ́ăng tăd̀ngăvàăđ ăngu iăt ănhiên)ăghiănh nănhi uă khuy tăt tăkhiăt oăthànhăl păgrapheneătrênăđ ăn năSiC.ăKhiăthayăđ iăch ăđ ăgiaănhi t,ă phânăt́chăRamanăshiftăghiănh năc ngăđ ădaoăd ngăDăbandă ă1357ăcm-1ătrênăm uă GS1ălàăcaoănh t;ăđi uănàyăph năánhăm uămàngăm ngăgrapheneăh̀nhăthànhătrênăGS3ă vàăGS4ăćắtăkhuy tăt tăh nătrên m uăGS1.
1000 1500 2000 2500 3000 3500 GS4 GS3 1357 2692 GS1 Int en sity Wavenumber (cm-1) SiC 1583
Hình 3.3: Raman Shift c a đ SiC và các m u GS.
Hình 3.4 và 3.5 l năl t trình bày k t qu phân tích AFM c aăđ SiC và m u GS1.ă g gh c a b m tăđ SiC vào kho ng 0.15 nm; phù h p v i các báo cáo v nh ch păAFMăc aăđ SiC.ă g gh t nh ch p SiC c a v t li uăđ SiC có th
đ c hình thành trong q trình c t gia cơng ch t oăđ SiC. Hình 3.5 th hi n m t s v trí lõm sâu ph n ánh ph n nguyên t Siăđưăb th ngăhoa và m t s v trí nhơ
caoăt ngă ngăc ngăđ c ghi nh n.ă lõmăsâuăđ c ghi nh n v i giá tr th p nh t là vào kho ng -7ănmăvàăđ l i v trí cao nh tăt ngă ng vào kho ng +6 nm. g gh b m tătrungăb̀nhăt ngă ng trên m u GS1 vào kho ng 1.5 nm. K t qu này
t ng ng v i kho ng cách m t s l p graphene đ c hình thành sau quá trình
th ngăhoaăc a Si t đ n n SiC. Moreau [35] đưăghiănh năđ ăg ăgh ăb ăm tăc aăv tă li uăSiCăbanăđ uălàă0.05ănm.ăCh ăs ănàyăt ngălênă0.14ănmăsauăkhiăx ălỦăb ăm tăSiCă
1140 C trongă10ăphút.ăăCác k t qu t phânăt́chăAFMăđưăkh ngăđnh m t ph n v t li uăSiăđưăb th ngăhoaăvàăcó s phát tri n b dày l p carbonătrênăđ n n SiC.
Hình 3.4: nh AFM c a m u đ SiC.
3.2. K t qu kh o sát các y u t nhăh ng q trình nh y khí
3.2.1. Kh o sát nhăh ng c a nhi tăđ lƠmăvi căđ năkh ăn ngăc măbi nă bi năkhíăNO2ătrênăv tăli uăGS3ăvà GS4 t ngăh p
B ng 3.2: Giá tr đi n tr , đ nh y phát hi n khí NO2 (SNO2) và ch s ph c h i (RI)
c a v t li u c m bi n GS3 m t s nhi t đ làm vi c khác nhau, n ng đ NO2
trong khí N2 là 40 ppm. RIj t ng ng đ ph c h i c a v t li u c m bi n khi k t th́c
chu k j.
Nhi tăđ ălàmăvi că(oC) 30 oC 100 oC 150 oC
R0 () 57.7 47.6 38.6 5.6 4.0 5.3 RI1 (%) 96.3 104.3 100.4 RI2 (%) 95.6 104.0 99.4 RI3 (%) 94.0 103.9 99.1 RI4 (%) - 103.9 98.7 RI5 (%) - 104.0 98.6 RI6 (%) - 103.8 98.4
30 C
Hình 3.6: S thay đ i đi n tr c a c m bi n ẢS3 các chu k làm vi c khác nhau.
N ng đ NO2 40 ppm; nhi t đ làm vi c c a ẢS3 30 C, 100 C và 150 C.
Hình 3.6ăghiănh năs ăthayăđ iăđi nătr ăc aăc măbi năGS3ă ăcácăchuăk ălàmă vi căkhácănhauăv iăn ngăđ NO2 40 ppmăvàănhi tăđ ălàmăvi căc aăGS3ă ă30ăC, 100 Căvàă150ăC. K t qu thí nghi m th ănghi mă 30 oCăchoăth y đi n tr c m bi n gi m khi xu t hi n khí NO2,ătuyănhiênăđ ng bi u di năđiăxu ng có góc tù khá l n
vàăkhôngăđ u nhau dù cùng n ngăđ khí. Khi gi i h păđ ph c h i c m bi n,ăđi n tr khôngăđ c tr v giá tr banăđ u và giáătr ăđi nătr ăkhiăk tăthúcăm iăchuătr̀nhă gi măkhiăt ngăs chu k làmăvi c.ăK tăqu ăRIă ă30ăCăph năánhă~96%ăđi nătr ăc aă h ăđ căph căh iă ăchuăk ăth ă1vàăch ăkho ngă94%ăRIă ăchuăk ăth ă3.ă ănh yăc aă c măbi năGS3ăv iăNO2ă ă30ăCălàă5.6%ă K tăqu ănày cho th y c măbi năGS3ăćăkh ă n ngăphátăhi năkh́ăNO2ătuyănhiênăkh ăn ngăph căh iăc aăGS3ăsauăm iăchuăk ăth ă nghi măgi mă1%.ă
100 oC và 150 oC,ăđi n tr c aăGS3ăkhiăti păxúcăv i 40 ppm NO2 gi m r t nhanh chóngă(đ ăd căb că1ătrongăchuătr̀nhălàmăvi căc aăc măbi năr tăl n),ăđápă ng
yêuăc uăphátăhi nănhanhăkh́ăNO2 trongăth nghi mătrênă1ăchuăk ălàmăvi căc aăv tă li uăc măbi n. Cácăv̀ngăđáyăđ u nhauăđưđ căghiănh nă(b că2ătrongăchuătr̀nhălàmă vi căc aăc măbi n). S150oC = 5.30% > S100oC = 4.00% cho th y khiănhi tăđ ălàmăvi că là 150oC,ăđ ănh yăkh́ăNO2ăc aăc măbi năGS3ăt tăh năsoăv iă ăch ăđ ălàmăvi că100
oC. Giaiăđo năgi iăh pă(b că3ătrongăchuăk ălàmăvi căc aăc măbi n)ătrênăc măbi nă GS3ă ă100ăCăt ngăđ iă năđ nhăv ăđi nătr ă ăđ uăm iăchuăk ăc ngănh ăh ăs ăph că h iăRI (B ngă3.2). ănhi tăđ ălàmăvi că150 C,ăh ăs ăph căh iăRIăc aăc măbi năGS3ă gi mănh (RI = 98,4ă%)ăsauă6ăchuăk ăth ănghi m.
H̀nhă 3.6ă môă t ă đi nă tr ă c aă v tă li uă GS3ă gi mă khiă ti pă xúcă v iă kh́ă NO2ă (n ngăđ ă40ăppm)ă ăcácăch ăđ ănhi tăđ ălàmăvi căkhácănhauăph năánhăp-typeăc aă lo iăv tăli uăGS3.ăK tăqu ănàyăph̀ăh păv iăm tăs ăbáoăcáoăv ăv tăli uăp-typeăc aă
l p màng m ngăgrapheneăd̀ngăc măbi năkh́ăNO2 [28, 30, 36-37].
B ng 3.3: Giá tr đi n tr , đ nh y phát hi n khí NO2 (SNO2) và ch s ph c h i (RI) c a v t li u c m bi n GS4 m t s nhi t đ làm vi c khác nhau, n ng đ NO2
trong khí N2 là 40 ppm. RIj t ng ng đ ph c h i c a v t li u c m bi n khi k t th́c chu k j.
Nhi tăđ ălàmăvi că(oC) 30 oC 100 oC 150 oC
R0 () 130.4 107.3 88.40 3.8 4.5 6.80 RI1 (%) 97.9 99.7 100.50 RI2 (%) 97.1 99.4 99.70 RI3 (%) 96.67 99.03 99.07 RI4 (%) - - 98.55
30 C
Hình 3.7: S thay đ i đi n tr c a c m bi n ẢS4 các chu k làm vi c khác nhau.
N ng đ NO2 40 ppm; nhi t đ làm vi c c a ẢS4 30 C, 100 C và 150 C.
Hình 3.7 ghiănh năs ăthayăđ iăđi nătr ăc aăc măbi năGS4ă ăcácăchuăk ălàmă vi căkhácănhauăv iăn ngăđ NO2 40 ppmăvàănhi tăđ ălàmăvi căc aăGS4ă ă30ăC, 100 Căvàă150ăC. K t qu thí nghi m Hình 3.7 cho th y 30 oC,ăđi n tr c m bi n gi m khi xu t hi n khí NO2,ătuyănhiênăđ ng bi u di n s ăthayăđ iăđi nătr ătrongă quáătr̀nhăti păxúcăv iăNO2 điăxu ng có đ ăd căth pă(soăv iăm uăGS3)ăgóc tù khá l năvàăkhôngăđ u nhau dù cùng n ngăđ khí. Khi gi i h păđ ph c h i c m bi n,
đi n tr khôngăđ c tr v giá tr banăđ u và tr i qua nhi u chu kì th̀ăgiáătr ăđi nătr ă t iăm iăđ uăchuăk ăm i gi m r tăđángăk ăsoăv iăR0 (th hi n qua các giá tr RI gi m
kho ng 0.7% qua m iăchuăk̀).ă i uăđ́ăchoăth y nhi tăđ phòng, v t li u GS4 ćăđ
nh y khí NO2ăkhơngăcaoăvàăkh n ngăph c h i kháăth p.
100 oC và 150 oC,ăđi n tr gi m r tănhanhăch́ng,ăđápă ng ngay l p t c tín hi u xu t hi n NO2.ăCácăv̀ngăđáyăđ u nhau ăcùng n ngăđ khí kh o sát. S150oC = 6.8% > S100oC = 4.5% cho th y 150 oC th hi n tín hi u t tăh nă 100 oC. Tuy
nhiên, gi i h p ph c h i c m bi n 100 oC và 150 oC cho giá tr đi n tr ngày càng gi m d n (ch s RI gi m qua m i chu kì, l năl tăt ngă ng v i 100 oC và 150 oC là ~0.4% và ~0.7%)
H̀nhă3.6ăvàă3.7ăchoăth yăđi nătr ăc aăv tăli uăGS4ăcaoăg pă~2ăl năsoăv iăđi nă tr ăc aăv tăli uăGS3ăt ngă ngă ăc ă3ăch ăđ ănhi tăđ ălàmăvi că(30,ă100ăvàă150ăC)ă ph năánhăkh ăn ngăd năđi năc aăv tăli uăGS3ăt tăh năsoăv iăv tăli uăGS4.ăK tăqu ă nàyăph̀ăh păv iăm căđ ăđ ngăđ uăkháăcaoăc aăb ăm tăm uăGS3ăsoăv iăb ăm tăm uă
GS4 thơngăquaă nhăch păSEM (B ngă3.1).ăK tăqu ănàyăhồnăph̀ăh păv iăk tăqu ă phânăt́chăthànhăph nănguyênăt ăt ăEDXăkhiăt ăs ănC/nSiălàă3.3ătrênăb ăm tăm uăGS3ă caoăg pă1.3ăl năsoăv iăgiáătr ăt ăs ănC/nSi (2.5) đ căghiănh nătrênăGS4.
3.2.2. Kh o sát nhăh ng n ngăđ khí NO2
B ng 3.4: Giá tr đi n tr , đ nh y phát hi n khí NO2 (SNO2) và ch s ph c h i (RI) c a v t li u c m bi n ẢS3 nhi t đ làm vi c 150 oC, n ng đ NO2 trong khí N2
khác nhau. RIj t ng ng đ ph c h i c a v t li u c m bi n khi k t th́c chu k j. N ngăđ NO2 (ppm) trong
d̀ngăkh́ăN2 40 18 12 Ro () 38.6 37.7 37.7 5.3 4.8 4.5 RI1 (%) 100.4 101.3 100.9 RI2 (%) 99.4 100.9 100.8 RI3 (%) 99.1 100.8 100.8 RI4 (%) 98.7 100.7 100.4 RI5 (%) 98.6 100.6 100.4 RI6 (%) 98.4 100.4 100.3
40 ppm
Hình 3.8: S thay đ i đi n tr c a c m bi n ẢS3 các chu k làm vi c khác nhau. Nhi t đ làm vi c c a ẢS3 150 C. N ng đ NO2 40 ppm, 18 ppm và 12 ppm.
Hình 3.8 ghi nh năs ăthayăđ iăđi nătr ăc aăc măbi năGS3ă ăcácăchuăk ălàmă vi căkhácănhau.ăNhi tăđ ălàmăvi căc aăGS3ă ă150ăC. N ngăđ NO2 40 ppm, 18 ppm và 12 ppm. K t qu cho th y khi gi i h p 150 oC trong th iăgianăt ngăđ i (chúng tôi th c hi n 1 ti ng), 3 giá tr đi n tr R0 g nănh ănhau (38.6; 37.7 và 37.7
), cho th yăđ ph c h i c m bi n graphene t t nhi tăđ cao. nh y SNO2 là 5.3; 4.8 và 4.5% l năl t t ng ng v i n ngăđ NO2 40, 18 và 12 ppm ph năánh n ng
đ khí NO2 có nhăh ng đ n kh n ngănh y khí c a c m bi n GS3.
3.2.3. So sánh v i cơng trình khác B ng 3.5: So sánh k t qu kh o sát c a nghiên c u v i cơng trình khác Tên m u Nhi tăđ làm vi c (C) N ng đ NO2 kh o sát nh y kh́ăt ng đ i S (%) RI (%) Th i gian h i ph c (giây) Tài li u tham kh o GS3 100 40 ppm 4.0 104.3 120 Cơng trình này GS3 100 18 ppm 4.8 100.4 120 GS4 100 40 ppm 4.5 99.7 120 C m bi n graphene t ng h pătrênăđ n n
SiC,ăđ căđ t trong chén nung Ta và trong Ar 1200- 1600C 100 1 ppb 3.1 98 6000