đo dịch chuyển nhỏ dùng nguyên lý vi sai lõi Ferite 1.4 Cảm biến quang [9,10,12]
Trong thực tế, có rất nhiều loại cảm biến quang dựa trên những nguyên lý khác nhau. Ví dụ như cảm biến dựa trên hiệu ứng quang trở, hiệu ứng quang thế, hiệu ứng quang nhiệt, hiệu ứng nhân quang điện v.v... Trong khn khổ luận văn có hạn, chúng tơi chỉ đề cập đến cảm biến quang dựa trên hiệu ứng quang thế và quang dẫn, thường được sử dụng trong đo lường và thực nghiệm vật lý.
1.4.1 Cảm biến quang dựa trên hiệu ứng quang thế
Hiệu ứng quang thế là hiệu ứng xuất hiện một hiệu điện thế U trên cấu trúc PN của hai vật liệu bán dẫn khi chúng hấp thụ photon do ánh sáng chiếu vào (hình 1.15). Ban đầu, khi chưa bị chiếu sáng và trong trạng thái cân bằng động, tại tiếp giáp PN đã hình thành một hiệu điện thế tiếp xúc Utx do hiện tượng khuếch tán các hạt tải không cơ bản. Khi vùng tiếp xúc (miền nghèo) bị chiếu sáng với năng lượng h Eg , sự hấp thụ này làm electron bị kích thích nhảy từ vùng hóa trị sang vùng dẫn, để lại một lỗ trống, thực chất là tạo ra một cặp điện tử - lỗ trống tự do. Dưới tác động của hiệu điện thế Utx , các hạt tải điện khác dấu sinh ra do bị chiếu sáng bị kéo về hai phía ngược nhau, tạo nên dịng I, dẫn đến bên bán dẫn N tích điện âm, bên bán dẫn P tích điện dương. Dịng I có độ lớn phụ thuộc số cặp điện tử - lỗ trống
phát sinh trong miền nghèo hay phụ thuộc vào quang thông chiếu vào tiếp giáp (I ).