Hệ bốc bay xung điện tử PED gồm 6 bộ phận chính (hình 2.8a):
- Buồng chân không chính (1) (hình 2.8 b): Buồng chân không này được thiết kế có độ kín cao, giữ được chân không và bên trong là khoảng không gian để tiến hành quá trình bốc bay. Các bia vật liệu và đế dùng cho quá trình lắng đọng màng được đặt
trong buồng chính. Hệ bia trong buồng chân không chính gồm 3 bia kích thước 5 cm hoặc 6 bia kích thước 2.5 cm có thể quay quanh một trục cố định của mỗi bia và tham gia chuyển động trong mặt phẳng chứa bia. Đế có thể được gắn với bộ phận gia nhiệt cho phép chế tạo màng ở nhiệt độ cao.
- Buồng đệm (load lock) (2): dùng để đưa mẫu vào hoặc lấy mẫu ra khỏi buồng chân không chính nhưng vẫn đảm bảo chân không cao và độ sạch cho buồng chính. Hai buồng chân không này được ngăn cách bằng một van đệm. Các thao tác thay đổi mẫu được thực hiện thông qua một cánh tay dịch chuyền giữa hai buồng chân không.
- Hệ bơm chân không (3): mỗi buồng chân không có một hệ thống bơm chân không bao gồm một bơm sơ cấp và một bơm turbo phân tử. Các bơm này đều không dùng dầu để tránh hiện tượng nhiễm bẩn do hơi dầu. Với các hệ bơm chân không, các buồng chân không có thể đạt được đến 10-7 Torr.
- Hệ nguồn phát xung điện tử PEBS -20 (4) có độ rộng xung khoảng 100 ns, tần số xung tối đa 15 Hz, cho phép tạo xung điện tử năng lượng cao khoảng 15 KeV. Hình 2.9 là nguồn phát xung điện tử PEBS – 20 sử dụng trong hệ PED.
- Hệ điện tử và máy tính điều khiển (5): cho phép thực hiện điều khiển toàn bộ hệ thống thông qua phần mềm điều khiển chuyên dụng.
- Hệ khí (6): bao gồm các chai khí O2, Ar và N2 dùng cho quá trình tạo màng (hình 2.10).