Thấu kính có kích thước đáy khác nhau

Một phần của tài liệu (LUẬN văn THẠC sĩ) nghiên cứu chế tạo và khảo sát đặc trưng của vi thấu kính trên cơ sở màng micro nano SU 8 ứng dụng trong hệ thống quang MEMS,NEMS (Trang 46 - 48)

Chú ng tôi chế ta ̣o các thấu kính có các bán kính đáy lần lượt là 1, 1,2 và 1,5 mm. Khi cù ng nhỏ cùng mô ̣t khố i lươ ̣ng dung di ̣ch SU-8 là 1 μl, chú ng ta lần lươ ̣t nhâ ̣n đươ ̣c các vi thấu kính có đô ̣ cao khác nhau (Bảng 3-3).

Hình 3-9 Thấu kính bán kính đáy 1 mm.

Hình 3-10 Thấu kính bán kính đáy 1,2 mm.

Hình 3-11 Thấu kính bán kính đáy 1,5 mm.

Hình 3-12 Hình ảnh thực tế sự thay đổi độ cao của các vi thấu kính với cá c bán kính đáy lần lượt là 1,5 mm, 1 mm, 1,2 mm.

Quan sát các kết quả thu đươ ̣c ta thấy rằng khi nhỏ cùng mô ̣t khối lươ ̣ng dung tích thì đố i với các giếng có bán kính đáy càng nhỏ ta sẽ thu đươ ̣c các vi thấu kính có các đô ̣ cao càng lớn. Các thấu kính thu đươ ̣c cong đều, đe ̣p cân bằng, đối xứng nhau. Đă ̣c biê ̣t, Hình 3-11 ta quan sát được chân của vi thấu kính đã chế tạo không đươ ̣c phẳng mà la ̣i lõm xuống. Nguyên nhân ở đây là khi nhỏ dung di ̣ch SU-8 vào giếng nhưng đã không bi ̣ lấp đầy nên hình thành ra hiê ̣n tượng như vâ ̣y. Ngoài ra còn các yếu tố khác ảnh hưởng đến viê ̣c ta ̣o thành các vi thấu kính bao gồ m nhiệt đô ̣ ủ nhiê ̣t, đô ̣ nhớt của dung di ̣ch SU-8.

Bảng 3-3 So sánh các thấu kính có bán kính đáy khác nhau

Vi thấu kính 1 2 3

Bán kính đáy (mm)

1 1,2 1,5

Khố i lượng SU-8 (μl)

1 1 1

Đô ̣ cao thấu kính (mm)

0.375 0.32 0.23

Một phần của tài liệu (LUẬN văn THẠC sĩ) nghiên cứu chế tạo và khảo sát đặc trưng của vi thấu kính trên cơ sở màng micro nano SU 8 ứng dụng trong hệ thống quang MEMS,NEMS (Trang 46 - 48)

Tải bản đầy đủ (PDF)

(56 trang)