KẾT LUẬN
Với việc thực hiện luận văn này, tôi đã có những kiến thức khá chi tiết về vi cảm biến lực3 chiều áp trở đồng thời có cách nhìn khá toàn diện về vi cảm biến lực đa chiều, hoàn thiện mục tiêu bước đầu tìm hiểu về vi cảm biến.
Luận văn tập trung tìm hiểu và thiết kế một cấu trúc vi cảm biến lực đa chiều áp trở dựa trên việc tìm hiểu cấu trúc thanh dầm, cấu trúc áp trở và mô hình hệ thống vi cảm biến lực; luận văn cũng đã bước đầu mô phỏng được vi cảm biến lực trong trường hợp khảo sát ứng suất phân bố trên thanh dầm. Kết hợp với những tìm hiểu trong thời gian tới, có thể tìm hiểu việc chế tạo vi cảm biến.
Tiếng Việt
1. Hoàng Minh Công, Giáo trình cảm biến công nghiệp, NXB Xây Dựng, 2007
Tiếng Anh
2. C. Smith, “Piezoresistance effect in germanium and silicon,” Physical Rev., vol. 94,
no. 1, pp. 42 - 49, 1962.
3. D. V. Dao, T. Toriyama, J. Wells, and S. Sugiyama, “Silicon piezoresistive six-
degreeof freedom force-moment micro sensor,” Sensors and Materials, vol. 15, no. 7, pp.
113 - 135, 2003.
4. Gabrielson, “Mechanical-thermal noise in micromachined acoustic and vibration
sensors,” IEEE Transactions on Electron Devices, vol. 40, no. 3, p. 903 - 909, 1993.
5. J. Wei, “Silicon mems for detection of liquid and solid fronts,” Ph.D. dissertation, Delft University of Technology, 2010.
6. S. D. Senturia, Microsystem Design. Kluwer Academic Publishers, 2001.
7. T. C. Duc, J. F. Creemer, and P. M. Sarro, “Piezoresistive cantilever beam for force
sensing in two dimensions,” IEEE Sensors Journal, vol. 7, pp. 96 - 104, 2007.
8. T. D. Tan, “Design, simulation, fabrication and performance analysis of a piezoresistivemicro accelerometer,” Ph.D. dissertation, VNU - University of Engineering and Technology, 2008.
9. T. C. Duc, G. K. Lau, J. F. Creemer, and P. M. Sarro, “Electrothermal microgripper
with large jaw displacement and integrated force sensors,” J. Microelectromech.Syst.,
vol. 15, no. 6, p. 1546 - 1555, 2008.
10. V. Varadan, K. J. Vinoy, and S. Gopalakrishnan, Smart Material Systems and
MEMS: Design and Development Methodologies. John Wiley & Sons Ltd, 2006.
11. Y.Sun, B.J.Nelson, D.P.Potasek, and E. Enikov, “A bulk microfabricated multi-axis
capacitive cellular force sensor using transverse comb drives,” J. Micromech. Micro-
eng., vol. 12, no. 6, pp. 832 - 840, 2002.
12. Y. Shen, N. Xi, K. Lai, and W. J. Li, “A novel pvdf microforce/force rate sensor
for practical applications in micromanipulation,” Sensor Review, vol. 24, no. 3, pp.
274 - 283, 2004.