CHƯƠNG 1 TỔNG QUAN LÝ THUYẾT
1.4. CƠ SỞ LÝ THUYẾT CÁC PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU
1.4.5.3. Phương pháp quan sát
Kính hiển vi điện tử quét (Scanning Electron Microscope - SEM), là một loại kính hiển vi điện tử có thể tạo ra ảnh với độ phân giải cao của bề mặt mẫu vật rắn bằng cách sử dụng một chùm electron (chùm các điện tử) hẹp quét trên bề mặt mẫu. Việc tạo ảnh của mẫu vật được thực hiện thơng qua việc ghi nhận và phân tích các bức xạ phát ra từ tương tác của chùm electron với bề mặt mẫu vật. Độ phóng đại của SEM nằm trong một dải rộng từ vài chục đến hàng triệu lần và độ phân giải khoảng vài nanomét [7, 67].
Hình 1.9. Sơ đồ khối kính hiển vi điện tử quét (SEM).
Quét trên bề mặt mẫu bằng một chùm tia electron hội tụ rất mảnh (cỡ vài đến vài chục nanomet), tín hiệu sẽ phát ra từ mỗi điểm được quét qua. Tín hiệu này được detector thu nhận và biến đổi thành tín hiệu được khuếch đại và đưa đến điều khiển tia electron của ống hiển thị catốt, nghĩa là điều khiển sự sáng tối của điểm được quét tương ứng ở trên mẫu. Do đó điểm ở trên ống hiển thị catốt tương ứng
R
với điểm được qt trên mẫu và tồn bộ diện tích được qt sẽ tạo ra ảnh trên màn ống hiển thị catốt
Khi electron tương tác với bề mặt mẫu vật, chúng bị tán xạ đàn hồi hoặc không đàn hồi bởi các nguyên tử trong mẫu làm phát xạ các loại electron và sóng điện từ. Sự tạo ảnh trong SEM và các phép phân tích được thực hiện thơng qua việc phân tích các electron phát xạ này. Các electron phát xạ gồm các electron truyền qua, tán xạ ngược, thứ cấp, hấp thụ và Auger. Các sóng điện từ là tia X và huỳnh quang catốt.
Các yếu tố ảnh hưởng đến thông số cơ bản được thực hiện trong SEM hay ảnh hưởng đến chất lượng ảnh SEM gồm: độ sâu trường, nguồn electron, độ phân giải, các kiểu ảnh, chuẩn bị mẫu và những vấn đề khác.
Ứng dụng của SEM trong nghiên cứu ăn mịn: Đối với q trình điện hóa nói chung và ăn mịn kim loại nói riêng, kính hiển vi điện tử qt sẽ cho các thơng tin về hình thái bề mặt, số lượng lỗ, độ nơng sâu của các lỗ và có hay khơng sự hình thành sản phẩm ăn mịn hay màng bảo vệ trên bề mặt kim loại khi kim loại làm việc trong các mơi trường ăn mịn khác nhau....