Quan hệ Thông số công nghệ quá trình IAD-Chỉ tiêu chất l−ợng màng mỏng là quan hệ giữa 3 thông số điều khiển quá trình IAD tác động lên 1 chỉ tiêu chất l−ợng của màng mỏng. Ph−ơng pháp nghiên cứu đ−ợc các tác giả [28], [35], [36] sử dụng là ph−ơng pháp “mỗi lần 1 yếu tố”, tức là chỉ thay đổi 1 yếu tố, còn các yếu tố khác đ−ợc duy trì cố định. Qui trình này đ−ợc lặp lại cho từng yếu tố cho đến khi toàn bộ các yếu tố đ−ợc khảo sát. Kết quả khảo sát đ−ợc trình bày d−ới dạng các họ đồ thị.
Ph−ơng pháp “mỗi lần 1 yếu tố”nêu trên có các nh−ợc điểm:
• Số l−ợng thí nghiệm cần tiến hành sẽ rât lớn nếu số yếu tố tác động tăng lên. Nếu có k yếu tố, và mỗi yếu tố chỉ nhận 2 giá trị thì số l−ợng thí nghiệm (số tổ hợp) là 2k. Ví dụ: k=10 thì 2k = 1024.
• Không đ−a ra đ ợc biẻu thức giải tích mô tả quan hệ t− −ơng quan giữa toàn bộ các yếu tố đầu vào với chỉ tiêu đầu ra.
• Không cho phép đánh giá tác động t−ơng hỗ của đồng thời nhiều yếu tố đầu vào lên kết quả đầu ra.
• Rất khó xác định bộ giá trị yếu tố đầu vào để nhận giá trị đầu ra tối −u . Các khó khăn này có thể khắc phục đ−ợc nhờ sử dụng ph−ơng pháp Quy hoạch thực nghiệm. Quy hoạch thực nghiệm, thuật ngữ tiếng Anh là Design of Experiment (viết tắt là DOE), là ph−ơng pháp tổ chức thí nghiệm giúp xây dựng mô hình toán học biểu thị mối quan hệ giữa các yếu tố đầu vào với yếu tố đầu ra (kết quả), và ảnh h−ởng t−ơng tác giữa các yếu tố đầu vào lên yếu tố đầu ra của một quá trình. Quy hoạch thực nghiệm cho phép tìm ra kết quả tối −u với số l−ợng thí nghiệm phải tiến hành là ít nhất.