3. Cho điểm của cán bộ hƣớng dẫn (ghi cả số và chữ):
2.3.2. Phương pháp đánh giá đặc trưng vật liệu
a. SEM
Nhờ khả năng phóng đại, tạo ảnh rõ nét và chi tiết, kinh hiển vi điện tử quét (SEM) cho phép xác định kích thước và hình dạng vật liệu. Phương pháp SEM có thể thu được những ảnh có chất lượng ba chiều cao, có sự rõ nét hơn và không đòi hỏi sự phức tạp trong khâu chuẩn bị mẫu. Tuy nhiên phương pháp này lại cho hình ảnh với độ phóng đại nhỏ hơn TEM. Phương pháp SEM đặc biệt hữu dụng vì nó
cho độ phóng đại có thể thay đổi từ 10 đến 100.000 lần với hình ảnh rõ nét, hiển thị 3 chiều phù hợp cho việc phân tích hình dạng và phân tích cấu trúc.
Hình 2.3. Sơ đồ khối kính hiển vi điện tử quét
Hình 2.4. Sơ đồ nguyên lý của kính hiển vi điện tử quét
Hình 2.4 là sơ đồ đơn giản của thiết bị SEM, chùm electron từ ống phóng được đi qua một vật kính và được lọc thành một dòng hẹp. Vật kính chứa một số
cuộn dây (cuộn lái electron) được cung cấp với điện thế không đổi, cuộn dây tạo nên một điện từ trường tác động lên chùm electron, từ đó chùm electron sẽ quét lên bề mặt mẫu tạo thành một tường quét. Tín hiệu của cuộn lái cũng được chuyển đến ống Katot để điều chỉnh quá trình quét ảnh trên màn hình đồng bộ với quá trình quét electron trên bề mặt mẫu. Khi chùm e đập vào bề mặt mẫu tạo thành một tập hợp các hạt thứ cấp đi tới Katot, tại đây nó được nó được chuyển thành tín hiệu và được khuếch đại. Tín hiệu được gửi tới ống tia Katot và được quét lên màn hình nên ảnh. Độ nét của ảnh được xác định bởi số hạt thứ cấp vào ống tia Katot, số hạt này lại phụ thuộc vào góc bắn ra của electron khỏi bề mặt mẫu, tức là phụ thuộc vào mức độ lồi lõm của bề mặt. Vì thế ảnh thu được sẽ phản ánh diện mạo của bề mặt vật liệu.
b.EDS
Phương pháp đo phổ tán sắc năng lượng tia X - EDS nhằm phân tích thành phần hóa học của vật liệu nhờ việc ghi lại phổ tia X phát ra từ vật liệu khi nó tương tác với các bức xạ.