Phần tử biến dạng đƣợc cấu tạo từ vật liệu nhạy cảm với áp suất nhƣ đồng, thép hay hợp kim nhẹ. Khi áp suất tác dụng nên nó sẽ biến dạng rồi tác động đến thành phần biến đổi của cảm biến. Phần tử này rất đa dạng nhƣ màng, dạng ống, capsule hình 3.5.
Hình 3.5. Các phần tử biến dạng
* Dạng màng (diaphragm):
Có hình dạng nhƣ hình 3.6a màng phẳng và 3.6b màng uốn nếp, màng đƣợc chia làm hai loại tùy theo vật liệu cấu tạo là:
+ Màng dẻo đƣợc chế tạo từ vải tẩm cao su
=f(
tăng.
hình dạng (màng uốn nếp có dải đo rộng hơn màng phẳng) và loại màng
).
* Capsule
Trên hình 3.6c Capsule cấu tạo dạng màng nhăn ở hai phía giúp tăng độ tuyến tính hơn hẳn so với dạng màng (diaphragm)
* Ống Bourdon:
Có hình dạng nhƣ hình 3.6f ống bourdon chữ C(C-shaped bourdon tube), hình 3.6g ống bourdon xoắn, hình 3.6h ống bourdon xoắn ốc(helical bourdon tube), hình 3.6i ống bounrdon xoắn nhiều vòng (spiral bourdon tube). Ống đƣợc chế tạo từ đồng thau, hợp kim nhẹ, thép cacbon, thép gió, bên trong rỗng một đầu cố định đƣa áp suất vào và một đầu tự do bị bịt kín.
Áp suất chất lƣu tác động lên thành ống làm cho ống bị biến dạng, đầu tự do dịch chuyển. của đầu tự do ống,
. :
+ Đồng thau: < 5 MPa
+ Hợp kim nhẹ hoặc thép <1000 MPa >1000 MPa
* Ống Xiphong
Ống hình trụ đƣợc xếp nếp nhƣ hình 3.6d, đƣờn 8 - 100mm, chiều dày thành 0,1 0,3 mm, vật liệu chế tạo là đồng, thép cacbon hoặc thép hợp kim.
, đ ( )
* Dạng ống trụ
Nhƣ hình 3.6e đƣợc chế tạo từ thép hoặc đồng, loại này phần tử chuyển đổi tín hiệu sẽ đƣợc giắn trực tiếp vào mặt trong ống.