(Transmission electron microscope TEM) –
Hiển vi truyền qua (TEM) [1] là phơng pháp cho phép sử dụng chùm tia
electron năng lợng cao để quan sát các vật thể rất nhỏ. Độ phóng đại của TEM là 400.000 lần đối với nhiều vật liệu và thậm chí lên đến 15 triệu lần đối với các nguyên tử. Với u thế về độ phóng xạ rất lớn, TEM là công cụ đắc lực trong việc nghiên cứu các vật liệu nano.
N g u ồ n c ấ p e l e c t r o n T h ấ u k í n h h ộ i t ụ M ẫ u ản h M à n h ì n h h i ể n t h ị P h ó n g t o ả n h
Hình 1.9. Sơ đồ nguyên lý hoạt động của kính hiển vi điện tử truyền qua.
Nguyên lý làm việc của máy TEM đợc mô tả nh sau: chùm electron đợc tạo ra từ nguồn sau khi đi qua các thấu kính hội tụ sẽ tập trung lại thành một dòng electron hẹp. Dòng electron này tơng tác với mẫu và một phần sẽ xuyên
qua mẫu. Phần truyền qua đó sẽ đợc hội tụ bằng một thấu kính và tạo ảnh. ảnh
sau đó sẽ đợc truyền đến bộ phận phóng đại. Cuối cùng tín hiệu tơng tác với màn huỳnh quang và sinh ra ánh sáng cho phép ngời dùng quan sát đợc ảnh. Phần tối của ảnh đại diện cho vùng mẫu đã cản trở, chỉ cho một số ít electron xuyên qua (vùng mẫu dày có mật độ cao). Phần sáng của ảnh đại diện cho những vùng mẫu không cản trở, cho nhiều electron truyền qua (vùng này mỏng hoặc có nhiệt độ thấp).
ảnh TEM thu đợc sẽ là hình ảnh mặt cắt ngang của vật thể. ảnh TEM có
thể cung cấp thông tin về hình dạng, cấu trúc, kích thớc của vật liệu nano.
Tuy có u điểm là độ phóng đại và độ phân giải cao nhng TEM không thể hiện đợc tính lập thể của vật liệu. Do vậy, TEM thờng đợc dùng kết hợp với kính hiển vi điện tử quét (SEM) để phát huy u điểm của cả hai phơng pháp này.