Phương pháp hiển vi điện tử quét SEM
Phương pháp SEM (Scanning Electron Microscopy) sử dụng chùm tia điện tử để tạo ảnh mẫu nghiên cứu. ảnh đó khi đến màn huỳnh quang có thể đạt độ phóng đại theo yêu cầu. Chùm tia điện tử được tạo ra từ catot qua hai “tụ quang” điện sẽ được hội tụ lên mẫu nghiên cứu. Khi chùm tia điện tử đập vào mẫu sẽ phát ra các chùm điện tử phản xạ và điện tử truyền qua. Các điện tử phản xạ và truyền qua này được đi qua điện thế gia tốc vào phần thu và biến đổi thành một tín hiệu ánh sáng, tín hiệu được khuếch đại, đưa vào mạng lưới điều khiển tạo độ sáng trên màn ảnh. Mỗi điểm trên mẫu cho một điểm tương ứng trên màn. Độ sáng tối trên màn ảnh phụ thuộc vào lượng điện tử phát ra tới bộ thu và phụ thuộc vào hình dạng bề mặt mẫu nghiên cứu.
Phương pháp SEM thường được sử dụng để nghiên cứu bề mặt, kích thước, hình dạng tinh thể của vật liệu.
Kỹ thuật phân tích nguyên tố bằng EDX
EDX (Energy dispersive X-ray analysis) là một kỹ thuật được dùng để phân tích nguyên tố hay phân tích thành phần hóa học của mẫu chất. Kỹ thuật phân tích này dựa trên nguyên lý tương tác giữa từ trường và vật chất. Tia X phát ra từ mẫu chất sẽ va chạm với những phần tử tích điện. Để kích thích sự
phát xạ tia X, dòng năng lượng cao của các phần tử tích điện như là dòng electron hay photon, hay dòng tia X được chiếu tập trung lên mẫu chất.
Trong mẫu chất, mỗi nguyên tử có những electron tồn tại ở những mức năng lượng rời rạc. Những mức năng lượng đó, còn gọi là những lớp electron, bao xung quanh hạt nhân. Khi nhận năng lượng, electron ở lớp vỏ trong sẽ bị tách ra và tạo nên một hố electron. Còn electron ở lớp vỏ ngoài sẽ chui vào hố này. Sự di chuyển đó phát ra một năng lượng và năng lượng này hình thành nên tia X. Số lượng và năng lượng của tia X được phát ra có thể được đo bởi phổ phân tán năng lượng EDX. Vì năng lượng của tia X đặc trưng cho sự khác nhau giữa các mức năng lượng của mỗi nguyên tố, cũng chính là đặc trưng cho cấu trúc nguyên tử của mỗi nguyên tố tạo nên thành phần của mẫu chất được đo.