2.7.1. Đo hiệu ứng từ-điện trở của màng
Hiệu ứng từ điện trở nghiên cứu trong khóa luận được thực hiện thông qua khảo sát sự thay đổi điện trở của mẫu dưới tác dụng của từ trường. Trong khóa luận này, hiệu ứng từ - điện trở của màng mỏng được nghiên cứu thông qua phép đo điện trở bằng phương pháp bốn mũi dò tại Phòng thí nghiệm Công nghệ Micro và Nano, Trường Đại học Công nghệ, Đại học Quốc gia Hà Nội. Sơ đồ bố trí 4 mũi dò được minh họa trên hình 2.9.
36
Đầu đo 4 mũi dò: cặp mũi dò 1-4 nối với nguồn dòng một chiều thông qua thiết bị Keithley 6220, thế hiệu ra trên cặp mũi dò 2-3 lấy thế lối ra qua thiết bịđo Keithley 2000.
Hình 2 9. Sơ đồ bố trí bốn mũi dò trên bề mặt màn
Tín hiệu lối ra của Keithley được truyền sang máy tính điện tử thông
qua Card IEEE-488. Toàn bộ quá trình thu thập số liệu của hệ đo được thực hiện dưới sự điều khiển tự động bằng phầm mềm Labview 14.0.
2.7.2. Đo tín hiệu của cảm biến AMR
Hiệu ứng từ điện trở nghiên cứu trong khóa luận được thực hiện thông qua việc khảo sát sự thay đổi hiệu điện thế lối ra (hoặc điện trở) của cảm biến
dưới tác dụng của từ trường. Trong khóa luận, hiệu ứng từ điện trở của cảm biến được nghiên cứu nhờ vào hệ đo được bốtrí như hình 2.10.
37
(a) (b)
Hình 2. 10.(a) Sơ đồ thí nghiệm đo hiệu ứng từ điện trở (b) Thực nghiệm khảo sát sự phụ thuộc thế ra vào từtrường ngoài.
Bốn chân được nối với cảm biến: 2 chân để cấp dòng không đổi bởi nguồn một chiều thông qua thiết bị Keithley 6220, 2 chân còn lại để lấy thế
lối ra qua thiết bị đo Keithley 2000. Tín hiệu lối ra của Keithley được truyền sang máy tính. Toàn bộ quá trình thu thập số liệu của hệ đo được thực hiện dưới sự điều khiển tự động của chương trình phần mềm viết bằng ngôn ngữ
Labview.
Kết quảphép đo được hiển thịra màn hình dưới dạng đồ thị trục tung là hiệu điện thế lối ra của cảm biến V (mv), trục hoành là từ trường ngoài µ0H
(Oe) và được ghi trên ổ cứng máy tính ở dạng tệp số liệu.
2.8. Kết luận
Trong chương 2, chúng tôi đã trình bày các thiết bị dùng để chế tạo cảm biến là thiết bị quay phủ chất cản quang, hệ quang khắc, kính hiển vi, thiết bị phún xạ. Chúng tôi cũng đã trình bày phương pháp đo hiệu ứng từ điện trở và phương pháp đo từ kế mẫu rung để khảo sát tính chất điện và từ của cảm biến. Chúng tôi đã trình bày chi tiết quy trình thực nghiệm và việc chế tạo cảm biếnđơn thanh.
38
CHƢƠNG 3
KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN