4. GỐM TỪ TÍNH
5.5.3. Nitrit Gốm sứ (Si3N4, AlN, BN)
Hình 3. CerbecT bóng silicon nitride từ Norton Cerbec
Trong khi silicon nitride được bắt đầu thấy sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn như một nhiệt mở rộng , ăn mòn cao thay thế kháng thấp cho nhôm, sử dụng truyền thống của mình trong ngành công nghiệp bán dẫn dưới các hình thức vòng bi gốm (xem hình 3).Những quả bóng gốm cung cấp một số tính năng trên ổ bi tiêu chuẩn trong các hình thức bôi trơn ít, ma sát thấp, cách điện và chống ăn mòn tốt, điện trở silicon nitride và hằng số điện môi là tương tự như của alumina, nhưng vật liệu đó có thể còn mạnh hơn do vi mô của nó.
Việc sử dụng các nitride nhôm làm vật liệu đã được kiểm soát chặt chẽ các tính chất điện là rất quan trọng cho các ứng dụng như bàn cặp điện (ESC). dẫn nhiệt cao và thực hiện tốt việc mở rộng nhiệt của nó để làm cho silicon nitride nhôm trở thành vật liệu mong muốn để sử dụng trong ESC, trong đó cung cấp fixturing cho wafer silicon trong môi trường chân không mà không cần dùng kẹp cơ khí. Trong việc tạo ra một nitride puck nhôm, một loại bột tinh khiết cao lại một lần nữa thu được và xử lý, trải qua các quá trình khác nhau được sử dụng để chế tạo điện cực nhúng là phương pháp phổ biến nhất.
Ngành công nghiệp chế biến bán dẫn được sử dụng chủ yếu trong các lò khuếch tán trong đó một BN wafer được sử dụng để chủ động tấm silicon dope. C cũng được sử dụng như một chất cách điện trong các thiết bị cấy ghép ion.Trong số các tính chất nổi trội nhất của nó là điện môi cao, dẫn nhiệt. Không giống như các thành phần gốm sứ khác, boron nitride có thành phần rắn tất cả được gia công trực tiếp từ một nitrided phôi ép nóng lớn đã được tổng hợp từ nguyên liệu B2O3.