4. Mô phỏng vi cảm biến lực ba chiều
4.2 Cấu hình dọc (Tác dụng lực theo phương Z)
4.2.1 Áp trở không sử dụng cấu trúc tập trung ứng suất
Khi đặt một lực theo trục Z lên đầu bên phải, ứng suất phân bố trên thanh dầm được thể hiện trên hình 30.
Hình 30: Tác dụng lực lên thanh dầm cảm biến theo phương Z
Đồ thị phân bố ứng suất trên vị trí của hai điện trở trên thanh dầm được thể hiện trên hình 31.
Hình 31: Phân bố ứng suất trên áp trở không sử dụng cấu trúc tập trung áp lực khi chịu tác dụng của lực theo phương Z
4.2.2 Cấu trúc tập trung áp lực dạng Elipe
Biểu đồ phân bố ứng suất trên áp trở RL1 và RL2 được thể hiện trên hình 32. Ta thấy cấu trúc hình ellipe cho thay đổi ứng suất tại cạnh các lỗ.
Hình 32: Phân bố ứng suất trên cảm biến khi tác dụng theo phương Z trong cấu trúc tập trung áp lực Ellipe
4.2.3 Cấu trúc tập trung ứng suất dạng tròn
Biểu đồ phân bố ứng suất trên áp trở RL1 và RL2 được thể hiện trên hình 33. Ta thấy cấu trúc hình tròn cho thay đổi ứng suất tại cạnh các lỗ.
Hình 33: Phân bố ứng suất trên cảm biến khi tác dụng theo phương Z trong cấu trúc tập trung áp lực dạng trụ
4.2.4 Cấu trúc tập trung áp lực dạng chữ nhật
Biểu đồ phân bố ứng suất trên áp trở RL1 và RL2 được thể hiện trên hình 34. Ta thấy cấu trúc hình chữ nhật cho thay đổi ứng suất tại cạnh các lỗ.
Hình 34: Phân bố ứng suất trên cảm biến khi tác dụng theo phương Z trong cấu trúc tập trung áp lực dạng chữ nhật
Tổng ứng suất tại 50 điểm phân bố đều theo chiều dài cảm biến được cho trong bảng sau: Cấu trúc tập trung áp lực Không sử dụng cấu trúc tập trung áp lực Cấu trúc tập trung áp lực Ellipe Cấu trúc tập trung áp lực hình trụ Cấu trúc tập trung áp lực dạng chữ nhật