Hình 17
Hình 17 mô tả cấ
Cantilever hình chữ L. Thanh d Dầm I1 có chiều dài L1, chi chiều rộng W2 và chiều cao H2. Một đầu của dầm I1 được g
Mạch cầu Wheatston điện trở cố định Rref đượ xứng và nằm ở biên của d
T KẾ VÀ MÔ PHỎNG CẢM BIẾN LỰC BA CHI
c ba chiều
17: Cấu trúc hinh học vi cảm biến ba chiều
ấu trúc của vi cảm biến lực ba chiều dạ L. Thanh dầm Cantilever gồm dầm chính I1 và d u dài L1, chiều rộng W1 và chiều cao H1. Dầm I2 có chi
u cao H2.
c gắn cố định, 1 đầu I2 tự do. [2, 5]
u Wheatstonethứ nhất được cấy trên trục của thanh dầm I1 bao g ợc cấy tại phần cố định của ngàm, 2 áp trở
a dầm I1. C BA CHIỀU ạng thanh dầm m chính I1 và dầm phụ I2. m I2 có chiều dài L2, m I1 bao gồm 2 ở được cấy đối
Mạch cầu Wheatstonethứ hai được cấy trên trục của thanh dầm I2 bao gồm 2 điện trở cố định Rref, 2 áp trở được cấy đối xứng và nằm ở biên của dầm I2.
Dưới tác dụng của lực, thanh dầm sẽ bị biến dạng (phụ thuộc vào hướng của lực gây nên biến dạng dầm I1 hay I2) làm cho các áp trở biến dạng theo. Do đặc tính của Silic khi biến dạng các áp trở sẽ thay đổi điện trở, điều này làm mạch cầu Wheatstone mất cân bằng và tạo ra các điện áp Vout ở lối ra.
Hình 18: Các cấu hình cầu wheatstone khi tác dụng các lực theo các phương khác nhau; a) Tác dụng theo phương X; b) Tác dụng theo phương Y; c) Tác dụng lực
theo phương Z; d) Công tắc chuyển mạch cầu Wheatstone