Hệ lọc nƣớc siêu sạch có thể sản xuất ra nƣớc sạch loại 1 với nguồn nƣớc đầu vào là nguồn nƣớc sạch uống đƣợc của nhà máy nƣớc sạch, nƣớc cất, nƣớc khử i-on, nƣớc sau elix, rios…
Lĩnh vực ứng dụng:
- Rửa phiến bán dẫn, rửa thấu kính quang học…
- Chuẩn bị pha động cho việc chạy sắc ký khí, máy điện di
- Chuẩn bị dung dịch đêm, dung dịch chuẩn cho máy quang phổ, kính hiển vi.. 3.2.3 Máy đo độ nhám bề mặt Alpha-Step IQ (Trung tâm ITIMS)
3.2.4 Hệ phún xạ cathode (Trung tâm ITIMS)
3.2.5 Hệ bốc bay bằng chùm tia điện tử trong chân không (Viện Vật Lý)
3.2.6 Hệ quay phủ - Spin Coater (Trung tâm ITIMS)
3.2.7 Máy Quang khắc 2 mặt (Trung tâm ITIMS)
3.2.8 Thí nghiệm ăn mòn hoá học ướt (Viện Vật Lý)
3.2.9 Hệ Ăn mòn khô (Trung tâm ITIMS)
3.2.10 Hệ quang học đo kích thước quang trở, bao gồm: kính hiển vi quang học, phần mềm xử lý ảnh, bàn dịch chuyển 2D độ chính xác µm (Viện Vật Lý)
3.2.11 Máy hàn dây vàng (Trung tâm ITIMS)
3.2.12 Kính hiển vi điện tử quét SEM (Viện Khoa học Vật liệu)
3.2.13 Các Thiết bị đo hiệu ứng quang trở
3.2.13.1 Hệ đo đặc trưng I-V
3.2.13.2 Hệ đothông số quang trở: Năng suất phát hiện riêng D*
Bao gồm:
- Nguồn phát xạ hồng ngoại - Bộ điều chế xung
- Máy đơn sắc - Máy phân tích phổ
- Máy đo thời gian đáp ứng
- Máy làm lạnh tuần hoàn sử dụng Ni-tơ lỏng (tích hợp buồng chân không có cửa sổ hồng ngoại 3 – 6 µm; hệ điện tử khuếch đại) để đặt mẫu quang trở.
- Nguồn thiên áp
- Bộ khuếch đại Lock-In - Pico-Ameter Keithly
Chƣơng 4
NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ HỆ ĐO D*